半导体激光装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN1992454A

    公开(公告)日:2007-07-04

    申请号:CN200610110844.7

    申请日:2006-08-15

    Abstract: 本发明公开了半导体激光装置及其制造方法。目的在于:能够在形成在同一衬底上的多波长半导体激光装置中,再现性良好地获得可高温动作且具有低噪音特性的自振动型激光。在红外激光区域中,在衬底10上依次叠层有下侧覆盖层12、活性层13、第一上侧覆盖层14、蚀刻停止层15、以及成为脊部的第二上侧覆盖层16。在红色激光区域中,在衬底10上依次叠层有下侧覆盖层22、活性层23、第一上侧覆盖层24、蚀刻停止层25、以及成为脊部的第二上侧覆盖层26。红外激光的蚀刻停止层15的厚度与红色激光的蚀刻停止层25的厚度不同。

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