防静电部件以及其制造方法

    公开(公告)号:CN101548347A

    公开(公告)日:2009-09-30

    申请号:CN200880000859.5

    申请日:2008-06-19

    Abstract: 一种防静电部件及其制造方法,其中,使用电阻率较小的材料将设置在氧化铝基板(1)的上表面的一对第一电极(2)构成为膜厚较厚的状态,且将位于上述一对第一电极(2)之间的、由熔点较高的材料构成的第二电极(3)设置为膜厚较薄的状态,并且在该第二电极(3)上形成间隙(4)。能够使构成引出电极的第一电极(2)的发热以及损坏减少,且能够较窄且高精度地形成第二电极(3)的间隙宽度。由此,提供一种对静电的反复施加具有耐受性且防静电部件承受的峰值电压较低、静电放电抑制特性稳定的防静电部件。

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