曝光装置及曝光方法
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN105204303B

    公开(公告)日:2018-03-20

    申请号:CN201510583920.5

    申请日:2006-06-28

    Abstract: 本发明提供一种曝光装置与方法,其利用通过投射光学系统投射图案像对衬底曝光,并且包括衬底夹具,保持衬底;检测装置,检测出用来相对于投射光学系统将衬底表面做定位的修正量;驱动装置,基于修正量驱动衬底夹具。检测装置包括投射系统,通过第一反射面,从倾斜方向对衬底夹具上的衬底表面投射光束;受光系统,包括第二反射面,接收被衬底表面反射的光束;控制系统,基于受光系统的输出导出修正量;偏光变换构件,配置在光束光路中从第一到第二反射面的光路中。偏光变换构件对光束偏光成分的偏光方向做变换,使相对第一反射面的P偏光变成相对第二反射面的S偏光,而相对第一反射面的S偏光变成相对第二反射面的P偏光。

    电子部件及其制造方法
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104465078B

    公开(公告)日:2018-01-02

    申请号:CN201410475098.6

    申请日:2014-09-17

    Abstract: 本发明提供一种电子部件及其制造方法。外部电极(120)具备包括烧结金属的烧结体层(121)、由具有电绝缘性的材料构成的绝缘层(122)以及包含Sn的Sn含有层(123)。在坯体(110)中从各端面上开始横跨至少一个主面上而设置烧结体层(121)以覆盖坯体(110)的各端面。绝缘层(122)以在与坯体(110)的侧面正交的方向上延伸的方式而被直接设置在坯体(110)的各端面侧的烧结体层(121),构成外部电极(120)的表面的一部分。Sn含有层(123)被设置成覆盖被绝缘层(122)覆盖的部分以外的烧结体层(121),构成外部电极(120)的表面的另一部分。因此能够抑制因焊料带的热收缩引起的伸张应力而导致在坯体中产生裂缝。

    位置检测装置、曝光装置及曝光方法

    公开(公告)号:CN103728848B

    公开(公告)日:2017-06-30

    申请号:CN201310661731.6

    申请日:2006-06-28

    Abstract: 本发明提供一种位置检测装置,具备从相对于受检面倾斜的方向向受检面上投射光束的投射系统、接收由受检面反射的光束的受光系统,及基于利用受光系统的光束的受光结果,检测出关于与受检面交差的方向的受检面的位置的检测部。位置检测装置还包括:反射面,配置于在投射系统的光束的光路和在受光系统的光束的光路的至少其中之一,用以反射上述光束;及补偿部材,对因为上述光束在上述反射面被反射而上述光束中的偏光方向彼此相异的第一偏光成分和第二偏光成分之间发生的相对位置错移进行补偿的方式,配置在光束的光路上。

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