氮化物系半导体元件及其制造方法

    公开(公告)号:CN101981713B

    公开(公告)日:2013-11-20

    申请号:CN201080001306.9

    申请日:2010-03-09

    Abstract: 氮化物系半导体发光元件(100)具备:以m面(12)为表面的GaN系基板(10)、在GaN系基板(10)的m面(12)上形成的半导体层叠构造(20)、在半导体层叠构造(20)上形成的电极(30)。电极(30)包括由从由Pt、Mo以及Pd构成的群中选择的金属和Mg构成的Mg合金层(32),Mg合金层(32)与半导体层叠构造(20)中的p型半导体区域的表面接触。

Patent Agency Ranking