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公开(公告)号：CN1689137A
公开(公告)日：2005-10-26
申请号：CN03814141.8
申请日：2003-07-02
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01J65/04
CPC classification number: H01J65/048
Abstract: 发光管(101)的最大直径为大于等于60mm小于等于90mm，发光管(101)的管壁负荷为大于等于0.07W/cm2小于等于0.11W/cm2，在具有凹入单元(102)的灯泡形无电极放电灯中，具有使凹入单元(102)的直径Dc与凹入单元(102)顶上和发光管101的顶部的间隔Δh的关系满足Δh≤1.15×Dc+1.25[mm]的构成。
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公开(公告)号：CN1630928A
公开(公告)日：2005-06-22
申请号：CN01818480.4
申请日：2001-09-04
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: C23C14/345 , C23C14/0036 , C23C14/34 , H01J9/20 , H01J61/35 , H01K1/325 , H01K3/005
Abstract: 一种薄膜的制造方法，在灯泡或放电灯等光源的外壳表面上形成光学薄膜时，在旋转椭圆体形状的基体上形成界面或表面粗糙少的薄膜。在成膜装置的真空室(4)内，在以旋转轴为中心进行自转的旋转椭圆体基体(2)上按照溅射法形成薄膜时，通过气体压力为0.04～5.0Pa，或作为溅射气体，使用Ar气体和N2气体的混合气体，按Ar气体为100时N2气体为1～6来设定其分压比，或使用Ar气体和O2气体的混合气体，按Ar气体为100时O2气体为6来设定其分压比，薄膜形成开始时的输入功率在整个溅射处理中最大，或者在覆盖体基体上施加负偏压，从而使薄膜的截面或表面的粗糙少，减小膜厚分布。
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公开(公告)号：CN100350550C
公开(公告)日：2007-11-21
申请号：CN03814141.8
申请日：2003-07-02
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01J65/04
CPC classification number: H01J65/048
Abstract: 发光管(101)的最大直径为大于等于60mm小于等于90mm，发光管(101)的管壁负荷为大于等于0.07W/cm2小于等于0.11W/cm2，在具有凹入单元(102)的灯泡形无电极放电灯中，具有使凹入单元(102)的直径Dc与凹入单元(102)顶上和发光管101的顶部的间隔Δh的关系满足Δh≤1.15×Dc+1.25[mm]的构成。
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公开(公告)号：CN100334684C
公开(公告)日：2007-08-29
申请号：CN00106537.8
申请日：2000-04-07
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: C23C14/505 , H01J9/20 , H01K3/005 , Y10T428/131 , Y10T428/2991 , Y10T428/8305
Abstract: 提供一种薄膜形成方法，即使象各种蒸镀法和溅射法的成膜方法那样，使用只利用从特定方向飞来的成膜粒子的成膜方法，也可以在包含旋转椭圆体形状的被镀体衬底上形成均匀膜厚的薄膜。一种利用从成膜源沿一定方向飞来的成膜粒子在包括旋转椭圆体形状的衬底上形成薄膜的薄膜制造方法，以旋转椭圆体形状的旋转轴为中心，使衬底以一定的角速度旋转，进行自旋运动，同时，以旋转轴上的旋转椭圆体形状的2焦点间的中点附近为中心，进行使衬底以一定周期在同一面内旋转振动的摇摆运动，从而在衬底上形成薄膜。由此，即使是包括旋转椭圆体形状的衬底，也能够在衬底的外周方向和自旋运动的旋转轴方向上形成均匀的薄膜。
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公开(公告)号：CN1277457A
公开(公告)日：2000-12-20
申请号：CN00106537.8
申请日：2000-04-07
Applicant: 松下电器产业株式会社 , 松下电子工业株式会社
CPC classification number: C23C14/505 , H01J9/20 , H01K3/005 , Y10T428/131 , Y10T428/2991 , Y10T428/8305
Abstract: 提供一种薄膜形成方法,即使象各种蒸镀法和溅射法的成膜方法那样,使用只利用从特定方向飞来的成膜粒子的成膜方法,也可以在包含旋转椭圆体形状的被镀体衬底上形成均匀膜厚的薄膜。一种利用从成膜源沿一定方向飞来的成膜粒子在包括旋转椭圆体形状的衬底上形成薄膜的薄膜制造方法,以旋转椭圆体形状的旋转轴为中心,使衬底以一定的角速度旋转,进行自旋运动,同时,以旋转轴上的旋转椭圆体形状的2焦点间的中点附近为中心,进行使衬底以一定周期在同一面内旋转振动的摇摆运动,从而在衬底上形成薄膜。由此,即使是包括旋转椭圆体形状的衬底,也能够在衬底的外周方向和自旋运动的旋转轴方向上形成均匀的薄膜。
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公开(公告)号：CN3531062D
公开(公告)日：2006-05-24
申请号：CN200530019895.5
申请日：2005-07-19
Applicant: 松下电器产业株式会社
Abstract: 1.右视图与左视图对称，省略右视图。
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