公开(公告)号：CN113188470A

公开(公告)日：2021-07-30

申请号：CN202110448029.6

申请日：2015-07-24

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： A·T·祖德伟格 ,  J·奎达克尔斯 ,  H·维斯切

IPC: G01B11/24 ,  G01B11/02

Abstract: 本发明涉及使用多传感器光学轮廓仪来测量测试表面的高度图的方法。该方法包括：通过设置于光学轮廓仪的具有相对长的工作距离和/或大的视野的预映射传感器来测量测试表面的粗糙高度图；将粗糙高度图存储在存储器中；将粗糙高度图细分为多个部分，以适合于设置于光学轮廓仪的相对高分辨率的光学轮廓仪传感器的视野；计算高分辨率的光学轮廓仪传感器相对于测试表面的相应X、Y和Z位置；使用所计算出的X、Y和Z位置计算高分辨率的光学轮廓仪传感器相对于测试表面在X、Y和Z方向上的轨迹；根据所述轨迹在X、Y和Z方向上使高分辨率的光学轮廓仪传感器相对于测试表面移动；以及使用高分辨率的光学轮廓仪传感器来测量高精度高度图。

公开(公告)号：CN105318845A

公开(公告)日：2016-02-10

申请号：CN201510441041.9

申请日：2015-07-24

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： A·T·祖德伟格 ,  J·奎达克尔斯 ,  H·维斯切

IPC: G01B11/24 ,  G01B11/02

CPC classification number: G06T11/206 ,  G01B11/2441 ,  G01B11/245 ,  G01B2210/52

Abstract: 本发明涉及使用多传感器光学轮廓仪来测量测试表面的高精度高度图的方法。该方法包括：通过设置于光学轮廓仪的具有相对长的工作距离和/或大的视野的预映射传感器来测量测试表面的粗糙高度图；将粗糙高度图存储在存储器中；将粗糙高度图细分为多个部分，以适合于设置于光学轮廓仪的相对高分辨率的光学轮廓仪传感器的视野；计算高分辨率的光学轮廓仪传感器相对于测试表面的相应X、Y和Z位置；使用所计算出的X、Y和Z位置计算高分辨率的光学轮廓仪传感器相对于测试表面在X、Y和Z方向上的轨迹；根据所述轨迹在X、Y和Z方向上使高分辨率的光学轮廓仪传感器相对于测试表面移动；以及使用高分辨率的光学轮廓仪传感器来测量高精度高度图。