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公开(公告)号：CN1268537C
公开(公告)日：2006-08-09
申请号：CN02818130.1
申请日：2002-09-05
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: G02B6/358 , B81B3/0037 , B81B2201/045 , B81B2203/0109 , B81B2203/053 , G02B6/3514 , G02B6/3546 , G02B6/357 , G02B6/3572 , G02B6/3584 , G02B2006/12104
Abstract: 活动部分(21)通过挠性部分(27a和27b)固定到基底(11)，并且可以相对于基底(11)上下移动。基底(11)还用作固定电极。活动部分(21)具有第二电极部分(23a和23b)，这些电极通过施加在其与基底(11)上的电压在其与基底(11)之间产生静电力，还具有一条设置在磁场中的电流路径(25)，当电流流经此电流路径时产生罗伦兹力。在活动部分(21)上设置从光路向前和向后移动的反射镜(12)。结果，可以扩大活动部分的活动范围，并且可以无需施加高压以及牺牲小尺寸就可以降低功耗。
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公开(公告)号：CN1392951A
公开(公告)日：2003-01-22
申请号：CN01802962.0
申请日：2001-09-03
Applicant: 株式会社尼康
IPC: G01J1/02 , G01J5/40 , H01L27/148
CPC classification number: B81B3/0081 , B81B2201/0278 , B81B2201/042 , B81B2203/0109 , G01J5/40 , H01L27/14812 , H01L27/14818 , H01L27/14875
Abstract: 一种热位移元件包括一基片，和一个被支撑在基片上的被支撑的部件。被支撑部件包括第一和第二位移部分，表现出高热阻的热分离部分，以及接收辐射并将其转换为热的辐射吸收部分。第一和第二位移部分的每一个至少具有不同膨胀系数的不同材料并彼此叠置的两层。第一位移部分不通过热分离部分而与基片机械上连续。辐射吸收部分和第二位移部分通过热分离部分和第一位移部分机械上与基片连续。第二位移部分与辐射吸收部分热连接。一种辐射检测装置包括一个热位移元件以及位移读部件，它固定在热位移元件的第二位移部分并用来获得对应于第二位移部分中位移的预定变化。
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公开(公告)号：CN104380172A
公开(公告)日：2015-02-25
申请号：CN201380032513.4
申请日：2013-06-19
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: G02B26/0841 , G03F7/70058 , G03F7/70116
Abstract: 本发明涉及一种空间光调制器，包括：基板；固定电极，设置于基板的表面上；连结部，一端与表面相连结；可动部，与连结部的另一端相连结，通过连结部的弹性形变而相对于基板摆动；支柱部，一端与可动部相接合，沿基板的厚度方向延伸，与可动部一体摆动；反射部件，与支柱部的另一端相接合，具有与可动部及支柱部一体摆动的反射面；可动电极，设置于反射部件的面向固定电极的面上；导体层，具有比可动电极的膜厚大的膜厚，设置在支柱部上，将可动部与可动电极之间电接合。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100376918C
公开(公告)日：2008-03-26
申请号：CN02826035.X
申请日：2002-12-12
CPC classification number: G02B6/3596 , G02B6/3512 , G02B6/3546 , G02B6/357 , G02B6/3582 , G02B6/3584 , H04Q11/0005 , H04Q2011/003 , H04Q2011/0039 , H04Q2011/0058
Abstract: 光导衬底2具有反射镜接收凹槽24和光导。光导根据反射镜31相对于凹槽24的前进和后退把进入到输入口中的光束导向到选定的输出口。致动器衬底4具有反射镜31和致动器，该致动器将反射镜31置于朝向衬底4拉入反射镜的状态或反射镜从衬底4伸出的状态。光导衬底2和致动器衬底4利用校准标记对齐并以间隔件3夹置其间地结合，使得当朝向衬底4拉入反射镜31时反射镜31从凹槽24中退出，并当反射镜31从衬底4伸出时反射镜31前进到凹槽24中。这种对齐在朝向衬底4拉入所有反射镜31的状态下进行。
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公开(公告)号：CN104380172B
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201380032513.4
申请日：2013-06-19
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: G02B26/0841 , G03F7/70058 , G03F7/70116
Abstract: 本发明涉及一种空间光调制器，包括：基板；固定电极，设置于基板的表面上；连结部，一端与表面相连结；可动部，与连结部的另一端相连结，通过连结部的弹性形变而相对于基板摆动；支柱部，一端与可动部相接合，沿基板的厚度方向延伸，与可动部一体摆动；反射部件，与支柱部的另一端相接合，具有与可动部及支柱部一体摆动的反射面；可动电极，设置于反射部件的面向固定电极的面上；导体层，具有比可动电极的膜厚大的膜厚，设置在支柱部上，将可动部与可动电极之间电接合。
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公开(公告)号：CN1642849A
公开(公告)日：2005-07-20
申请号：CN03807301.3
申请日：2003-03-26
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: G02B6/3566 , G02B6/3512 , G02B6/3546 , G02B6/357 , G02B6/3584 , G02B6/3596 , G02B26/0833 , G02B26/0841
Abstract: 活动部分由具有悬臂结构的桥接部分13构成，悬臂结构的固定端经腿部12固定。桥接部分13有两个串联连接在固定端和自由端之间的桥接构件14和15。固定端一侧上的桥接构件14为板簧部分。自由端一侧上的桥接构件15为一种拥有刚性的刚性部分。桥接构件14在桥接部分13不受力的状态下向与衬底11相反的一侧弯曲。反射镜2设置在桥接构件15的自由端一侧上。结果，可以获得能以较小的驱动力操纵的微致动器。
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公开(公告)号：CN1608223A
公开(公告)日：2005-04-20
申请号：CN02826035.X
申请日：2002-12-12
CPC classification number: G02B6/3596 , G02B6/3512 , G02B6/3546 , G02B6/357 , G02B6/3582 , G02B6/3584 , H04Q11/0005 , H04Q2011/003 , H04Q2011/0039 , H04Q2011/0058
Abstract: 光导衬底2具有反射镜接收凹槽24和光导。光导根据反射镜31相对于凹槽24的前进和后退把进入到输入口中的光束导向到选定的输出口。致动器衬底4具有反射镜31和致动器，该致动器将反射镜31置于朝向衬底4拉入反射镜的状态或反射镜从衬底4伸出的状态。光导衬底2和致动器衬底4利用校准标记对齐并以间隔件3夹置其间地结合，使得当朝向衬底4拉入反射镜31时反射镜31从凹槽24中退出，并当反射镜31从衬底4伸出时反射镜31前进到凹槽24中。这种对齐在朝向衬底4拉入所有反射镜31的状态下进行。
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公开(公告)号：CN1555339A
公开(公告)日：2004-12-15
申请号：CN02818130.1
申请日：2002-09-05
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: G02B6/358 , B81B3/0037 , B81B2201/045 , B81B2203/0109 , B81B2203/053 , G02B6/3514 , G02B6/3546 , G02B6/357 , G02B6/3572 , G02B6/3584 , G02B2006/12104
Abstract: 活动部分(21)通过挠性部分(27a和27b)固定到基底(11)，并且可以相对于基底(11)上下移动。基底(11)还用作固定电极。活动部分(21)具有第二电极部分(23a和23b)，这些电极通过施加在其与基底(11)上的电压在其与基底(11)之间产生静电力，还具有一条设置在磁场中的电流路径(25)，当电流流经此电流路径时产生罗伦兹力。在活动部分(21)上设置从光路向前和向后移动的反射镜(12)。结果，可以扩大活动部分的活动范围，并且可以无需施加高压以及牺牲小尺寸就可以降低功耗。
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