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公开(公告)号：CN104380172B
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201380032513.4
申请日：2013-06-19
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: G02B26/0841 , G03F7/70058 , G03F7/70116
Abstract: 本发明涉及一种空间光调制器，包括：基板；固定电极，设置于基板的表面上；连结部，一端与表面相连结；可动部，与连结部的另一端相连结，通过连结部的弹性形变而相对于基板摆动；支柱部，一端与可动部相接合，沿基板的厚度方向延伸，与可动部一体摆动；反射部件，与支柱部的另一端相接合，具有与可动部及支柱部一体摆动的反射面；可动电极，设置于反射部件的面向固定电极的面上；导体层，具有比可动电极的膜厚大的膜厚，设置在支柱部上，将可动部与可动电极之间电接合。
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公开(公告)号：CN100400411C
公开(公告)日：2008-07-09
申请号：CN200380101228.X
申请日：2003-10-08
CPC classification number: G02B6/358 , G02B6/3516 , G02B6/3546 , G02B6/357 , G02B6/3572 , G02B6/3584 , G02B26/0858 , H02K33/18 , H02K41/0354
Abstract: 可动板(21)通过弹性部(27a、27b)被固定在基板(11)上，并且可以相对于基板(11)上下移动。基板(11)兼用作固定电极。可动板(21)具有：可以通过和基板(11)之间的电压而与基板(11)之间产生静电力的第二电极部(23a、23b)；以及被配置在磁场内通过通电产生洛伦兹力的电流路径(25)。进入及退出光路的反射镜(12)被设置在可动板(21)上。控制部，将可动板(21)从静电力增大的下侧位置向上侧位置移动时，对上述电流进行控制，以使在可动板(21)从中间位置向上侧位置移动的期间，向下生成上述洛伦兹力，且其逐渐减小。这样一来，不会产生高电压、不会对小型化产生破坏，可以扩大可动部的可动范围，且降低电力消耗，并且可以提高长期运转时的可靠性。
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公开(公告)号：CN1608223A
公开(公告)日：2005-04-20
申请号：CN02826035.X
申请日：2002-12-12
CPC classification number: G02B6/3596 , G02B6/3512 , G02B6/3546 , G02B6/357 , G02B6/3582 , G02B6/3584 , H04Q11/0005 , H04Q2011/003 , H04Q2011/0039 , H04Q2011/0058
Abstract: 光导衬底2具有反射镜接收凹槽24和光导。光导根据反射镜31相对于凹槽24的前进和后退把进入到输入口中的光束导向到选定的输出口。致动器衬底4具有反射镜31和致动器，该致动器将反射镜31置于朝向衬底4拉入反射镜的状态或反射镜从衬底4伸出的状态。光导衬底2和致动器衬底4利用校准标记对齐并以间隔件3夹置其间地结合，使得当朝向衬底4拉入反射镜31时反射镜31从凹槽24中退出，并当反射镜31从衬底4伸出时反射镜31前进到凹槽24中。这种对齐在朝向衬底4拉入所有反射镜31的状态下进行。
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公开(公告)号：CN1555339A
公开(公告)日：2004-12-15
申请号：CN02818130.1
申请日：2002-09-05
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: G02B6/358 , B81B3/0037 , B81B2201/045 , B81B2203/0109 , B81B2203/053 , G02B6/3514 , G02B6/3546 , G02B6/357 , G02B6/3572 , G02B6/3584 , G02B2006/12104
Abstract: 活动部分(21)通过挠性部分(27a和27b)固定到基底(11)，并且可以相对于基底(11)上下移动。基底(11)还用作固定电极。活动部分(21)具有第二电极部分(23a和23b)，这些电极通过施加在其与基底(11)上的电压在其与基底(11)之间产生静电力，还具有一条设置在磁场中的电流路径(25)，当电流流经此电流路径时产生罗伦兹力。在活动部分(21)上设置从光路向前和向后移动的反射镜(12)。结果，可以扩大活动部分的活动范围，并且可以无需施加高压以及牺牲小尺寸就可以降低功耗。
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公开(公告)号：CN1268537C
公开(公告)日：2006-08-09
申请号：CN02818130.1
申请日：2002-09-05
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: G02B6/358 , B81B3/0037 , B81B2201/045 , B81B2203/0109 , B81B2203/053 , G02B6/3514 , G02B6/3546 , G02B6/357 , G02B6/3572 , G02B6/3584 , G02B2006/12104
Abstract: 活动部分(21)通过挠性部分(27a和27b)固定到基底(11)，并且可以相对于基底(11)上下移动。基底(11)还用作固定电极。活动部分(21)具有第二电极部分(23a和23b)，这些电极通过施加在其与基底(11)上的电压在其与基底(11)之间产生静电力，还具有一条设置在磁场中的电流路径(25)，当电流流经此电流路径时产生罗伦兹力。在活动部分(21)上设置从光路向前和向后移动的反射镜(12)。结果，可以扩大活动部分的活动范围，并且可以无需施加高压以及牺牲小尺寸就可以降低功耗。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101868908A
公开(公告)日：2010-10-20
申请号：CN200880112494.5
申请日：2008-09-02
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 本发明提供一种振动促动器，其具备：弹性体、使弹性体离心旋转振动的机电转换部、在离心旋转振动的波腹处与弹性体接触而接受驱动力进行旋转的旋转体，旋转体在旋转的旋转轴的延伸方向的一定的位置与弹性体接触。也可以在上述振动促动器中，弹性体具有配置在弹性体中包括离心旋转振动的波腹的区域的弹性体接触部，旋转体具有在旋转体中与弹性体接触部接触而接受驱动力的旋转体接触部，弹性体接触部及旋转体接触部的一方包括在相对于旋转轴倾斜的同时与弹性体接触部及旋转体接触部的另一方接触的接触面。
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公开(公告)号：CN104380172A
公开(公告)日：2015-02-25
申请号：CN201380032513.4
申请日：2013-06-19
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: G02B26/0841 , G03F7/70058 , G03F7/70116
Abstract: 本发明涉及一种空间光调制器，包括：基板；固定电极，设置于基板的表面上；连结部，一端与表面相连结；可动部，与连结部的另一端相连结，通过连结部的弹性形变而相对于基板摆动；支柱部，一端与可动部相接合，沿基板的厚度方向延伸，与可动部一体摆动；反射部件，与支柱部的另一端相接合，具有与可动部及支柱部一体摆动的反射面；可动电极，设置于反射部件的面向固定电极的面上；导体层，具有比可动电极的膜厚大的膜厚，设置在支柱部上，将可动部与可动电极之间电接合。
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公开(公告)号：CN100376918C
公开(公告)日：2008-03-26
申请号：CN02826035.X
申请日：2002-12-12
CPC classification number: G02B6/3596 , G02B6/3512 , G02B6/3546 , G02B6/357 , G02B6/3582 , G02B6/3584 , H04Q11/0005 , H04Q2011/003 , H04Q2011/0039 , H04Q2011/0058
Abstract: 光导衬底2具有反射镜接收凹槽24和光导。光导根据反射镜31相对于凹槽24的前进和后退把进入到输入口中的光束导向到选定的输出口。致动器衬底4具有反射镜31和致动器，该致动器将反射镜31置于朝向衬底4拉入反射镜的状态或反射镜从衬底4伸出的状态。光导衬底2和致动器衬底4利用校准标记对齐并以间隔件3夹置其间地结合，使得当朝向衬底4拉入反射镜31时反射镜31从凹槽24中退出，并当反射镜31从衬底4伸出时反射镜31前进到凹槽24中。这种对齐在朝向衬底4拉入所有反射镜31的状态下进行。
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公开(公告)号：CN1294441C
公开(公告)日：2007-01-10
申请号：CN03807355.2
申请日：2003-03-27
Applicant: NTT电子股份有限公司 , 株式会社尼康
CPC classification number: G02B6/3572 , G02B6/3514 , G02B6/353 , G02B6/3548 , G02B6/3566 , G02B6/3584 , G02B6/3596
Abstract: 一种光学装置，将插入板保持在具有电气布线的板状的插入板保持装置中，将板状磁铁固定地位于面向插入板保持装置的一个表面，插入板保持装置的该表面是与插入板保持装置面向光波导的另一表面相反的表面，磁铁被设置成使得磁场施加到至少一部分所述电气布线上，在此状态下控制电气布线中的电流，通过基于所述电流和与所述插入板分开形成的所述磁场的相互作用的洛伦兹力，移动所述插入板保持装置，从而驱动所述插入板在光波导中设置的狭缝中上下动作，向该狭缝插入或从中拔出，从而切换信号光的光路或进行光束的光量的调整。
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公开(公告)号：CN1703369A
公开(公告)日：2005-11-30
申请号：CN200380101228.X
申请日：2003-10-08
CPC classification number: G02B6/358 , G02B6/3516 , G02B6/3546 , G02B6/357 , G02B6/3572 , G02B6/3584 , G02B26/0858 , H02K33/18 , H02K41/0354
Abstract: 可动板(21)通过弹性部(27a、27b)被固定在基板(11)上，并且可以相对于基板(11)上下移动。基板(11)兼用作固定电极。可动板(21)具有：可以通过和基板(11)之间的电压而与基板(11)之间产生静电力的第二电极部(23a、23b)；以及被配置在磁场内通过通电产生洛伦兹力的电流路径(25)。进入及退出光路的反射镜(12)被设置在可动板(21)上。控制部，将可动板(21)从静电力增大的下侧位置向上侧位置移动时，对上述电流进行控制，以使在可动板(21)从中间位置向上侧位置移动的期间，向下生成上述洛伦兹力，且其逐渐减小。这样一来，不会产生高电压、不会对小型化产生破坏，可以扩大可动部的可动范围，且降低电力消耗，并且可以提高长期运转时的可靠性。
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