公开(公告)号：CN107004555B

公开(公告)日：2019-04-16

申请号：CN201580063022.5

申请日：2015-11-26

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 奥村大河 ,  大岛卓 ,  大南佑介 ,  庄子美南 ,  久田明子 ,  米山明男

IPC: H01J37/20 ,  G01N23/04 ,  H01J37/147 ,  H01J37/22 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28

Abstract: 通过带电粒子显微镜装置简便地实施由光学显微镜所观察到的试样的三维内部构造观察，并且通过透射带电粒子图像准确地测量试样内部构造的三维位置关系、密度分布。具有试样台旋转部，其可以将试样台(500)表面与一次带电粒子束的光轴所形成的角的角度倾斜为不垂直的角度(θ)的状态来使该试样台(500)旋转，试样台(500)被构成为包括检测在试样的内部散射或透射后的带电粒子的检测元件，通过在使试样台旋转部旋转到多个不同的角度(φ)的状态下向试样照射一次带电粒子束，来取得与各角度(φ)相对应的所述试样的透射带电粒子图像。

公开(公告)号：CN108885961B

公开(公告)日：2020-05-01

申请号：CN201680084076.4

申请日：2016-03-29

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大岛卓 ,  峰邑浩行 ,  安斋由美子 ,  圆山百代 ,  小濑洋一 ,  扬村寿英

IPC: H01J37/073

Abstract: 为了提供一种能够迅速且容易地进行环形照明、广域照射、希望的干涉模式与正常照明之间的切换或者得到良好的S/N的电子显微镜，具有：光电阴极(101)，其使用负的电子亲和力；激发光学系统，其用于激发光电阴极；以及电子光学系统，其通过经由激发光学系统照射的激发光(12)将从光电阴极产生的电子束(13)照射到试样上，激发光学系统包括激发光的光源装置(107)和光调制单元(108)，该光调制单元(108)配置在激发光的光路中并对激发光进行空间相位调制。

公开(公告)号：CN105144336B

公开(公告)日：2017-05-03

申请号：CN201480023185.6

申请日：2014-04-14

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 今井悠太 ,  大岛卓 ,  森下英郎

IPC: H01J37/073 ,  H01J27/26 ,  H01J37/06 ,  H01J37/063 ,  H01J37/08 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/073 ,  H01J27/02 ,  H01J27/26 ,  H01J29/481 ,  H01J37/06 ,  H01J37/063 ,  H01J37/08 ,  H01J37/145 ,  H01J37/20 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/062 ,  H01J2237/06341 ,  H01J2237/06375 ,  H01J2237/0802 ,  H01J2237/1508 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/2801

Abstract: 本申请的目的是提供仅使用静电透镜的比较小型而像差小的带电粒子枪，并提供在大电流下也具有高亮度的场发射型带电粒子枪。带电粒子枪具有：带电粒子源；加速电极，其使从带电粒子源发射的带电粒子加速；控制电极，其配置在比加速电极靠近带电粒子源侧且具有比加速电极的开口直径大的开口直径；以及控制部，其根据施加于加速电极的电位对施加于控制电极的电位进行控制。

公开(公告)号：CN105144336A

公开(公告)日：2015-12-09

申请号：CN201480023185.6

申请日：2014-04-14

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 今井悠太 ,  大岛卓 ,  森下英郎

IPC: H01J37/073 ,  H01J27/26 ,  H01J37/06 ,  H01J37/063 ,  H01J37/08 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/073 ,  H01J27/02 ,  H01J27/26 ,  H01J29/481 ,  H01J37/06 ,  H01J37/063 ,  H01J37/08 ,  H01J37/145 ,  H01J37/20 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/062 ,  H01J2237/06341 ,  H01J2237/06375 ,  H01J2237/0802 ,  H01J2237/1508 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/2801

Abstract: 本申请的目的是提供仅使用静电透镜的比较小型而像差小的带电粒子枪，并提供在大电流下也具有高亮度的场发射型带电粒子枪。带电粒子枪具有：带电粒子源；加速电极，其使从带电粒子源发射的带电粒子加速；控制电极，其配置在比加速电极靠近带电粒子源侧且具有比加速电极的开口直径大的开口直径；以及控制部，其根据施加于加速电极的电位对施加于控制电极的电位进行控制。

公开(公告)号：CN103765544A

公开(公告)日：2014-04-30

申请号：CN201280041417.1

申请日：2012-09-24

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 片桐创一 ,  大岛卓 ,  伊东祐博

IPC: H01J1/304 ,  H01J37/06 ,  H01J37/073

CPC classification number: H01J37/073 ,  H01J1/16 ,  H01J1/3044 ,  H01J9/025 ,  H01J9/04 ,  H01J37/06 ,  H01J2237/06316 ,  H01J2237/06341

Abstract: 为了延长场致发射型电子源的寿命，当增加扩散补偿源(1)即氧化锆的容积或重量时，存在容易对扩散补偿源(1)自身或钨针(2)带来损伤这样的课题。作为进一步的课题，还考虑为了避免上述课题而通过薄膜来形成扩散补偿源(1)的情况，但难以稳定得到超过8000小时的实用的寿命。本发明提供一种不会产生扩散补偿源(1)的缺损或破裂，且通过少量的扩散补偿源(1)的增量就能够延长寿命的场致发射型电子源，清楚可知能够稳定得到超过8000小时的实用的寿命。

公开(公告)号：CN104798172A

公开(公告)日：2015-07-22

申请号：CN201380060806.3

申请日：2013-11-26

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大南佑介 ,  大岛卓 ,  伊东佑博

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/22 ,  H01J37/244

CPC classification number: H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J37/228 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2003 ,  H01J2237/2004 ,  H01J2237/2006 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/20235 ,  H01J2237/2445 ,  H01J2237/24455 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/2608 ,  H01J2237/2801

Abstract: 本发明涉及的带电粒子束装置将从带电粒子束显微镜(601)发出的一次带电粒子束，照射于构成试样台(600)的至少一部分的发光部件(500)上配置的试样(6)，通过发光部件(500)检测透射或散射试样(6)内部的带电粒子，从而取得带电粒子显微镜图像，同时将试样(6)配置于试样台(600)的状态下利用光学显微镜(602)取得光学显微镜图像。

公开(公告)号：CN104584182A

公开(公告)日：2015-04-29

申请号：CN201380043429.2

申请日：2013-08-09

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 今村伸 ,  大岛卓 ,  小濑洋一 ,  平根贤一

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/063 ,  H01J2237/2443 ,  H01J2237/2445 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/2801

Abstract: 在具备闪烁器(7)和光导件(8)的电子显微镜中，闪烁器(7)具有比光导件(8)的折射率大的折射率，与光导件(8)接合的端面(72)由向外侧呈凸状的曲面形成。并且，闪烁器(7)由用组成式(Ln1－xCex)3M5O12表示的Y－Al－O系陶瓷烧结体形成，其中，Ln表示选自Y、Gd、La及Lu中的至少一种元素，M表示选自Al及Ga中的至少一种元素。

公开(公告)号：CN103733299A

公开(公告)日：2014-04-16

申请号：CN201280039396.X

申请日：2012-05-28

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 森下英郎 ,  大岛卓 ,  波田野道夫 ,  伊东祐博

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/04 ,  H01J37/244 ,  H01J2237/2443 ,  H01J2237/2444 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/2804 ,  H01J2237/2806

Abstract: 本发明提供一种扫描电子显微镜，为了提供即便是低探针电流也能辨别检测反射电子和二次电子的低加速的扫描电子显微镜而具备：电子枪(29)、光阑(26)、样品台(3)、用于将电子束(31)会聚于样品(2)上的电子光学系统(4-1)、偏转部件(10)、二次电子检测器(8)、反射电子检测器(9)、和处于电子枪(29)与样品(2)之间的位置处的筒状的电子输送部件(5)，反射电子检测器(9)设置在电子输送部件(5)的内部、且与二次电子检测器(8)以及偏转部件(10)相比更靠电子枪(29)的远方侧，反射电子检测器(9)的感受面(9-1)在电气上被布线成与电子输送部件(5)相同电位。

公开(公告)号：CN112106166A

公开(公告)日：2020-12-18

申请号：CN201880093381.9

申请日：2018-05-21

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大岛卓 ,  峰邑浩行 ,  盐泽学 ,  森下英郎

IPC: H01J1/34 ,  H01J37/073

Abstract: 在光激发电子源中，在以透过具有特定的厚度和折射率的透明基板为前提设计成最适合的聚光透镜中，若透明基板不同，就不能使激发光的焦点良好地形成在光电膜上。因此，在光电阴极(1)与聚光透镜(2)之间，配置在激发光的波长下具有与光电阴极的基板的折射率相等的折射率的光球面像差校正板(21)。或者，设置使向聚光透镜照射的平行光发散或会聚的光球面像差校正器(20)。由此，可抑制电子束的闪耀，能实现光激发电子源的高亮度化。

公开(公告)号：CN109804450B

公开(公告)日：2020-12-01

申请号：CN201680089774.3

申请日：2016-10-13

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 糟谷圭吾 ,  荒井纪明 ,  楠敏明 ,  大岛卓 ,  桥诘富博 ,  酒井佑辅

IPC: H01J37/073 ,  H01J1/30 ,  H01J9/02

Abstract: 即使在对CFE电子源使用CeB6并进行低加速观察的情况下，也能够提供一种稳定地获得高空间分辨率的电子束装置。在具备CFE电子源(929)的电子束装置中，CFE电子源的电子束(931)的发射部是Ce的六硼化物或者比Ce重的镧系元素金属的六硼化物，六硼化物从{310}面发射电子束，{310}面的镧系元素金属的原子数比由{310}面的六个硼构成的硼分子数多。