公开(公告)号：CN102041479B

公开(公告)日：2013-08-28

申请号：CN201010522145.X

申请日：2010-10-22

Applicant: 株式会社神户制钢所 ,  株式会社钢臂功科研

Inventor： 松本克史 ,  岩崎祐纪 ,  高木敏晃 ,  长尾护 ,  莳野秀忠 ,  小林宣裕 ,  奥野博行 ,  钉宫敏洋 ,  后藤裕史

IPC: C23C14/34 ,  C23C14/14 ,  C22C21/00

Abstract: 本发明提供一种技术，其在使用Al-(Ni、Co)-(La、Nd)系合金或Al-(Ni、Co)-(La、Nd)-(Cu、Ge)系合金作为溅射靶时，能够降低飞溅、特别是初期飞溅的发生。本发明涉及一种Al基合金溅射靶，其含有从由Ni和Co构成的A组中选出的至少一种，和从由La和Nd构成的B组中选出的至少一种，测量在与所述溅射靶的轧制面垂直的截面中、与轧制方向平行的面中的轧制方向的晶粒直径时，平均晶粒直径为500μm以下，并且最大晶粒直径为1500μm以下。

公开(公告)号：CN103173718A

公开(公告)日：2013-06-26

申请号：CN201210562375.8

申请日：2012-12-21

Applicant: 株式会社神户制钢所 ,  株式会社钢臂功科研

Inventor： 前田刚彰 ,  奥野博行

IPC: C23C14/08 ,  C23C14/34

Abstract: 本发明提供一种作为氧化铝的代替膜有用、且与氧化铝相比，成膜速度高、生产率优异的新技术。本发明的氧化铝薄膜的特征在于，含有Ta。上述氧化铝薄膜优选通过溅射法进行成膜。

公开(公告)号：CN101691657A

公开(公告)日：2010-04-07

申请号：CN200910132939.2

申请日：2009-03-31

Applicant: 株式会社钢臂功科研 ,  株式会社神户制钢所

Inventor： 高木胜寿 ,  岩崎祐纪 ,  得平雅也 ,  后藤裕史 ,  三木绫 ,  奥野博行 ,  越智元隆 ,  岸智弥

IPC: C23C14/34 ,  C23C14/14 ,  C22C21/00 ,  C22C21/12 ,  C22C1/02 ,  C22F1/04 ,  C22F1/057

CPC classification number: C23C14/3414 ,  C22C21/00 ,  C22F1/04

Abstract: 本发明提供一种能减少溅射靶在使用初始阶段产生的飞溅，由此防止配线膜等中产生的缺陷，提高FPD的成品率和动作性能的Al-(Ni，Co)-(Cu，Ge)-(La，Gd，Nd)系合金溅射靶及其制造方法。本发明涉及构成分别含有选自A组(Ni，Co)中的至少一种、选自B组(Cu，Ge)中的至少一种和选自C组(La，Gd，Nd)中的至少一种的Al-(Ni，Co)-(Cu，Ge)-(La，Gd，Nd)系合金溅射靶，并且其维氏硬度(HV)为35以上的Al-基合金溅射靶。

公开(公告)号：CN103173718B

公开(公告)日：2015-09-30

申请号：CN201210562375.8

申请日：2012-12-21

Applicant: 株式会社神户制钢所 ,  株式会社钢臂功科研

Inventor： 前田刚彰 ,  奥野博行

IPC: C23C14/08 ,  C23C14/34

Abstract: 本发明提供一种作为氧化铝的代替膜有用、且与氧化铝相比，成膜速度高、生产率优异的新技术。本发明的氧化铝薄膜的特征在于，含有Ta。上述氧化铝薄膜优选通过溅射法进行成膜。

公开(公告)号：CN101691657B

公开(公告)日：2012-07-25

申请号：CN200910132939.2

申请日：2009-03-31

Applicant: 株式会社钢臂功科研 ,  株式会社神户制钢所

Inventor： 高木胜寿 ,  岩崎祐纪 ,  得平雅也 ,  后藤裕史 ,  三木绫 ,  奥野博行 ,  越智元隆 ,  岸智弥

IPC: C23C14/34 ,  C23C14/14 ,  C22C21/00 ,  C22C21/12 ,  C22C1/02 ,  C22F1/04 ,  C22F1/057

CPC classification number: C23C14/3414 ,  C22C21/00 ,  C22F1/04

Abstract: 本发明提供一种能减少溅射靶在使用初始阶段产生的飞溅，由此防止配线膜等中产生的缺陷，提高FPD的成品率和动作性能的Al-(Ni，Co)-(Cu，Ge)-(La，Gd，Nd)系合金溅射靶及其制造方法。本发明涉及构成分别含有选自A组(Ni，Co)中的至少一种、选自B组(Cu，Ge)中的至少一种和选自C组(La，Gd，Nd)中的至少一种的Al-(Ni，Co)-(Cu，Ge)-(La，Gd，Nd)系合金溅射靶，并且其维氏硬度(HV)为35以上的Al-基合金溅射靶。

公开(公告)号：CN102041479A

公开(公告)日：2011-05-04

申请号：CN201010522145.X

申请日：2010-10-22

Applicant: 株式会社神户制钢所 ,  株式会社钢臂功科研

Inventor： 松本克史 ,  岩崎祐纪 ,  高木敏晃 ,  长尾护 ,  莳野秀忠 ,  小林宣裕 ,  奥野博行 ,  钉宫敏洋 ,  后藤裕史

IPC: C23C14/34 ,  C23C14/14 ,  C22C21/00

Abstract: 本发明提供一种技术，其在使用Al-(Ni、Co)-(La、Nd)系合金或Al-(Ni、Co)-(La、Nd)-(Cu、Ge)系合金作为溅射靶时，能够降低飞溅、特别是初期飞溅的发生。本发明涉及一种Al基合金溅射靶，其含有从由Ni和Co构成的A组中选出的至少一种，和从由La和Nd构成的B组中选出的至少一种，测量在与所述溅射靶的轧制面垂直的截面中、与轧制方向平行的面中的轧制方向的晶粒直径时，平均晶粒直径为500μm以下，并且最大晶粒直径为1500μm以下。

公开(公告)号：CN105579939A

公开(公告)日：2016-05-11

申请号：CN201480052590.0

申请日：2014-09-22

Applicant: 株式会社神户制钢所 ,  株式会社钢臂功科研

Inventor： 后藤裕史 ,  越智元隆 ,  志田阳子 ,  奥野博行

IPC: G06F3/041 ,  B32B9/00 ,  H01B5/14

CPC classification number: G06F3/044 ,  B32B15/20 ,  B32B2307/412 ,  B32B2457/00 ,  B32B2457/202 ,  C23C14/0036 ,  C23C14/0641 ,  C23C14/165 ,  G02F1/13338 ,  G02F1/13439 ,  G06F2203/04103

Abstract: 本发明的电极具有从透明基板的相反侧(表面侧)开始依次为由透明导电膜构成的第1层、由Mo的氮化物或Mo合金的氮化物中的至少一种构成的第2层、以及由反射率为40％以上、透射率为10％以下的金属膜构成的第3层的层叠结构。

公开(公告)号：CN110023531A

公开(公告)日：2019-07-16

申请号：CN201780073416.8

申请日：2017-10-26

Applicant: 株式会社钢臂功科研

Inventor： 奥野博行 ,  松村仁実

IPC: C23C14/34 ,  C22C21/00

Abstract: 一种铝合金溅镀靶材，其特征在于：包含合计为0.01原子％～0.04原子％的选自由Ni、Cr、Fe、Co及Cu所组成的群组中的至少一种元素、以及合计为0.01原子％～0.06原子％的选自La以外的稀土元素的至少一种元素，且剩余部分为Al及不可避免的杂质。

公开(公告)号：CN109312448A

公开(公告)日：2019-02-05

申请号：CN201780033719.7

申请日：2017-05-16

Applicant: 株式会社钢臂功科研

Inventor： 吉田慎太郎 ,  奥野博行

IPC: C23C14/34 ,  C22C21/12 ,  C23C14/14 ,  H01L51/50 ,  H05B33/26

CPC classification number: C22C21/12 ,  C23C14/14 ,  C23C14/34 ,  H01L51/50 ,  H05B33/26

Abstract: 本发明涉及一种铝合金溅射靶材，其含有超过6原子％、17原子％以下的Cu，剩余部分包含Al及不可避免的杂质。根据本发明可提供一种有助于成膜速率的提高，且靶材的制造性优异的铝合金溅射靶材。

公开(公告)号：CN108431291A

公开(公告)日：2018-08-21

申请号：CN201680069937.1

申请日：2016-10-28

Applicant: 株式会社钢臂功科研

Inventor： 吉田慎太郎 ,  奥野博行 ,  中井淳一

IPC: C23C14/14 ,  C22C21/00 ,  C22C21/12 ,  C23C14/34 ,  G02B5/08

Abstract: 提供一种通过将构成紫外线反射膜的稀土类元素、Cu和其余的Al的量、以及稀土类元素与Cu的比率控制在规定的范围，从而波长254nm的紫外线的反射率为85％以上的紫外线反射膜。一种紫外线反射膜，其含有一种或两种以上的稀土类元素：0.2at％以上且3.0at％以下，和Cu：0.2at％以上且6.0at％以下中的任意一者，余量由Al和不可避免的杂质构成，满足下述(1)式，波长254nm的紫外线的反射率为85％以上。X+0.5Y＜3.5…(1)[X是稀土类元素的量[at％]，Y是Cu的量[at％]。]。