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公开(公告)号：CN117928791A
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202410096099.3
申请日：2024-01-24
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明涉及压力传感器的技术领域，尤其涉及一种单晶金刚石压敏芯片及其制备方法和高温压力传感器，压敏芯片包括衬底、压敏电阻、压敏薄膜、第一保护镀层和欧姆接触电极，衬底为单晶金刚石，衬底一侧开设有背腔，背腔的面积小于衬底的面积；衬底远离背腔的一侧设置有压敏电阻、压敏薄膜和第一保护镀层，第一保护镀层覆盖衬底远离背腔的一侧，所述第一保护镀层与背腔中心平行对应的区域蚀刻形成压敏薄膜，压敏薄膜周向设置有多个端部，每个端部嵌设有一组压敏电阻；欧姆接触电极位于第一保护镀层远离衬底的一侧，且串联若干组压敏电阻。本发明以单晶金刚石材料制备压敏芯片和高温压力传感器，可提高高温压力传感器的耐高温性能和检测灵敏度，该传感器相较于传统的高温压力传感器能承受更高的工作温度，封装结构均为耐高温陶瓷材料，具备在高温、高辐照环境下的工作能力。
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公开(公告)号：CN119753619A
公开(公告)日：2025-04-04
申请号：CN202411722915.3
申请日：2024-11-28
Applicant: 武汉大学
IPC: C23C16/27 , C23C16/48 , C23C16/52 , C23C16/56 , G06N20/00 , G06F18/27 , G06F123/02 , G06N3/0442 , G06N3/084
Abstract: 本发明提出了一种基于激光沉积的金刚石膜玻璃基板制备装置及方法，属于激光沉积领域，选取玻璃材料制备基板，并配置金刚石膜前驱体气体混合物；将基板设置在真空环境中，向真空环境内输送配置好的金刚石膜前驱体气体混合物，在基板表面实施激光沉积，使基板上均匀覆盖金刚石膜；对基板上沉积获得的金刚石膜进行退火和表面特性检测。本发明采用精确配置的前驱体气体混合物辅助真空环境下的激光沉积，减少了杂质和缺陷的产生，并通过控制激光参数与环境条件，优化了金刚石膜的生长过程，提高了基板的热膨胀性与稳定性。
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公开(公告)号：CN117928791B
公开(公告)日：2024-08-13
申请号：CN202410096099.3
申请日：2024-01-24
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明涉及压力传感器的技术领域，尤其涉及一种单晶金刚石压敏芯片及其制备方法和高温压力传感器，压敏芯片包括衬底、压敏电阻、压敏薄膜、第一保护镀层和欧姆接触电极，衬底为单晶金刚石，衬底一侧开设有背腔，背腔的面积小于衬底的面积；衬底远离背腔的一侧设置有压敏电阻、压敏薄膜和第一保护镀层，第一保护镀层覆盖衬底远离背腔的一侧，所述第一保护镀层与背腔中心平行对应的区域蚀刻形成压敏薄膜，压敏薄膜周向设置有多个端部，每个端部嵌设有一组压敏电阻；欧姆接触电极位于第一保护镀层远离衬底的一侧，且串联若干组压敏电阻。本发明以单晶金刚石材料制备压敏芯片和高温压力传感器，可提高高温压力传感器的耐高温性能和检测灵敏度，该传感器相较于传统的高温压力传感器能承受更高的工作温度，封装结构均为耐高温陶瓷材料，具备在高温、高辐照环境下的工作能力。
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