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公开(公告)号：CN110093641A
公开(公告)日：2019-08-06
申请号：CN201910326158.0
申请日：2019-04-23
Applicant: 河南理工大学
Abstract: 本发明专利公开一种微结构无掩膜电沉积方法及系统，该系统包括电源、X-Y-Z三轴运动平台、夹持架、置于X-Y-Z三轴运动平台的X-Y平台上的导电基底、通过夹持架固定于X-Y-Z三轴运动平台的Z轴上的毛细玻璃管、固定于夹持架上且位于毛细玻璃管的正上方的精密微移动单元和下部分同轴线地置于毛细玻璃管中，且上端位于毛细玻璃管的上方并与精密微移动单元固定连接的超细直线状阳极。基于该系统，首先在导电基底上的弯月面限制范围内电沉积出第一层金属层，然后以第一层金属层为基底，在其上的弯月面限制范围内继续电沉积第二层金属层……如此持续进行，直至达到加工要求。本发明结构简单，操作容易，成本低，能得到较高质量的金属微结构。
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公开(公告)号：CN109778290A
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201910254824.4
申请日：2019-04-01
Applicant: 河南理工大学
IPC: C25D17/12
Abstract: 本发明公开了一种可溶性阳极机构，属于电沉积领域。该机构包括呈薄壁圆筒状的搅拌桨、同中心轴线地置于搅拌桨内部的棒状阳极、对称地安设于搅拌桨两端的端头、阳极套、设有内环的端套、设有中心通孔的支撑轴、导电柱、固定架、蜗轮和蜗杆；所述的支撑轴可转动地置于端头的内部且二者的旋转中心线重合；所述的端套螺纹配合联接地套接在端头上，且外凸台凸入内环的内部；所述的棒状阳极与所述的支撑轴的两端头固定对接在一起；所述的导电柱置于中心通孔内且与棒状阳极紧密接触。本发明提高了加工效率，极大地改善了沉积层厚度的均匀性和可控性，从而提高了产品的质量。
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公开(公告)号：CN111647935B
公开(公告)日：2023-08-01
申请号：CN201910158272.7
申请日：2019-03-04
Applicant: 河南理工大学
Abstract: 本发明专利公开了一种用于多线阳极并行布置的扫描式电沉积加工方法及装置。该装置包括固定板、搅拌桨、直线状阳极、阴极基底和电沉积电源，其特征在于：它还包括设有横梁和侧梁的搅拌桨安装架和触碰装置。两根侧梁分别位于横梁的两端且都与横梁垂直，侧梁设有前导向槽和后导向槽。3~5个片状的搅拌桨等间隔地且相互平行地安设在搅拌桨安装架上。基于该装置，先调整极间距和所有直线状阳极的极限运动位置，然后通入电解液后接通电沉积电源，进行匀速直线往复扫描式电沉积加工，直到沉积层达到所要求的厚度时，停止电沉积。本发明在保持极好厚度分布均匀性的基础上能大幅度地提高沉积速度和生产效率，边缘效应更小，边缘处偏厚现象基本消除，且易于实施。
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公开(公告)号：CN108588803B
公开(公告)日：2020-06-12
申请号：CN201810453008.1
申请日：2018-05-14
Applicant: 河南理工大学
Abstract: 本发明专利公开了一种电沉积装置，属于电沉积领域。该装置包括电解液循环过滤单元、电解液槽、电沉积电源、阴极基底、电解液，它还包括横截面为长方形的直线状阳极和搅拌桨；所述的直线状阳极安设于搅拌桨的底部且直线状阳极的表面与搅拌桨的底面平齐；所述的搅拌桨的底面与阴极基底的表面平行且间距可调；所述的搅拌桨可作往复直线运动；所述的电解液的液面高于搅拌桨的底面1~2mm。本发明提高了沉积层厚度的均匀性和可控性，从而提高了产品质量。
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公开(公告)号：CN108588803A
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：CN201810453008.1
申请日：2018-05-14
Applicant: 河南理工大学
Abstract: 本发明公开了一种电沉积装置，属于电沉积领域。该装置包括电解液循环过滤单元、电解液槽、电沉积电源、阴极基底、电解液，它还包括横截面为长方形的直线状阳极和搅拌桨；所述的直线状阳极安设于搅拌桨的底部且直线状阳极的表面与搅拌桨的底面平齐；所述的搅拌桨的底面与阴极基底的表面平行且间距可调；所述的搅拌桨可作往复直线运动；所述的电解液的液面高于搅拌桨的底面1~2mm。本发明提高了沉积层厚度的均匀性和可控性，从而提高了产品质量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111826693B
公开(公告)日：2025-02-28
申请号：CN201910310746.5
申请日：2019-04-18
Applicant: 河南理工大学
Abstract: 本发明公开了一种多线阳极循环传动式扫描式电沉积加工装置，包括安装杆、可拆卸地固定于安装杆上的搅拌桨、直线状阳极和阴极基底，还包括传送单元和调平架。传送单元包括传送带、主动轮和从动轮，传送带张紧地固定在主动轮和从动轮上。调平架中部设有搅拌桨通行孔，其两边框设有一组相互平行且相对安装的等长的滑槽。安装杆两端设有导块。导块与滑槽为过渡配合联接。安装杆为3个以上，等间距且相互平行地可转动地安设在传送带上。调平架位于传送单元的正下方，阴极基底位于调平架的正下方。此装置工作时，处于带电工作状态（向阴极基底沉积金属）的直线状阳极至少3根，且能连续不断地进行，没有空档加工时间，生产效率大幅提高。
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公开(公告)号：CN111850618A
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN202010918748.5
申请日：2020-09-04
Applicant: 河南理工大学 , 南通美精微电子有限公司
Abstract: 本发明公开了一种电铸制造超薄金属网栅的阳极结构和方法，属于电沉积加工领域。该阳极结构包括搅拌桨、嵌设于搅拌桨底部平面中心处的直线状超微阳极、紧密贴附于搅拌桨和直线状超微阳极外侧的柔性电绝缘层，其特征在于：柔性电绝缘层的贴附在搅拌桨底端平面上的部分设有等间距分布的通透窄缝，其将直线状超微阳极分为若干个超微阳极阵列，使单个超微阳极下输出的电流高度集中化和局域化。两个加工方向上的扫描沉积依次循环交替进行，进而使得不同方向上的多条平行带状金属层交叉堆叠形成类编织状金属网栅结构。本发明通过调整窄缝的宽度和间距来实现对金属网栅尺寸的调控，并通过协同控制阳极运行速度和电流密度来实现金属网栅的高品质高效制造。
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公开(公告)号：CN111826693A
公开(公告)日：2020-10-27
申请号：CN201910310746.5
申请日：2019-04-18
Applicant: 河南理工大学
Abstract: 本发明公开了一种多线阳极循环传动式扫描式电沉积加工装置，包括安装杆、可拆卸地固定于安装杆上的搅拌桨、直线状阳极和阴极基底，还包括传送单元和调平架。传送单元包括传送带、主动轮和从动轮，传送带张紧地固定在主动轮和从动轮上。调平架中部设有搅拌桨通行孔，其两边框设有一组相互平行且相对安装的等长的滑槽。安装杆两端设有导块。导块与滑槽为过渡配合联接。安装杆为3个以上，等间距且相互平行地可转动地安设在传送带上。调平架位于传送单元的正下方，阴极基底位于调平架的正下方。此装置工作时，处于带电工作状态（向阴极基底沉积金属）的直线状阳极至少3根，且能连续不断地进行，没有空档加工时间，生产效率大幅提高。
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公开(公告)号：CN111676503A
公开(公告)日：2020-09-18
申请号：CN202010662088.9
申请日：2020-07-10
Applicant: 河南理工大学
Abstract: 本发明公开了一种滚动搅拌式线状微阳极电沉积装置，包括阴极基底、阳极桨、直线状微阳极、电沉积电源和电解液，其特征在于：它还包括滚动桨。阳极桨底部设置有凹槽。滚动桨包括圆形旋转杆和包裹圆形旋转杆的柔性毛刷。滚动桨可转动地固定于凹槽内，直线状微阳极置于2个滚动桨中间。滚动桨的旋转轴线与直线状微阳极平行。柔性毛刷与阴极基底轻微接触。此装置沉积定域性更好，加工精度更高，沉积速度更快，加工效率更高，电沉积件质量更好。
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公开(公告)号：CN109778290B
公开(公告)日：2023-09-26
申请号：CN201910254824.4
申请日：2019-04-01
Applicant: 河南理工大学
IPC: C25D17/12
Abstract: 本发明公开了一种可溶性阳极机构，属于电沉积领域。该机构包括呈薄壁圆筒状的搅拌桨、同中心轴线地置于搅拌桨内部的棒状阳极、对称地安设于搅拌桨两端的端头、阳极套、设有内环的端套、设有中心通孔的支撑轴、导电柱、固定架、蜗轮和蜗杆；所述的支撑轴可转动地置于端头的内部且二者的旋转中心线重合；所述的端套螺纹配合联接地套接在端头上，且外凸台凸入内环的内部；所述的棒状阳极与所述的支撑轴的两端头固定对接在一起；所述的导电柱置于中心通孔内且与棒状阳极紧密接触。本发明提高了加工效率，极大地改善了沉积层厚度的均匀性和可控性，从而提高了产品的质量。
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