公开(公告)号：CN101405845A

公开(公告)日：2009-04-08

申请号：CN200780010345.3

申请日：2007-03-23

Applicant: 积水化学工业株式会社

Inventor： 日野守 ,  今井克广 ,  竹内裕人 ,  中森勇一 ,  高桥英则 ,  屋代进

IPC: H01L21/3065 ,  C23C16/455 ,  B01J19/08 ,  H05H1/24

CPC classification number: H01J37/32825 ,  H01J37/32009 ,  H01J37/3277 ,  H05H1/2406 ,  H05H2001/2412

Abstract: 本发明在被处理物为大型的情况下，也能够以简单的结构进行表面处理。用第一单元11L和第二单元11R构成表面处理装置1的处理头10。在这些单元11中，用于喷出处理气体的喷出口34沿第一方向延伸。第一方向与使被处理物移动的第二方向正交。两个单元11配置为相互在第一方向错开，且在第二方向错开。两个单元11的喷出口34之间在从第二方向观察的情况下重叠。

公开(公告)号：CN101405845B

公开(公告)日：2010-11-03

申请号：CN200780010345.3

申请日：2007-03-23

Applicant: 积水化学工业株式会社

Inventor： 日野守 ,  今井克广 ,  竹内裕人 ,  中森勇一 ,  高桥英则 ,  屋代进

IPC: H01L21/3065 ,  C23C16/455 ,  B01J19/08 ,  H05H1/24

CPC classification number: H01J37/32825 ,  H01J37/32009 ,  H01J37/3277 ,  H05H1/2406 ,  H05H2001/2412

Abstract: 本发明在被处理物为大型的情况下，也能够以简单的结构进行表面处理。用第一单元11L和第二单元11R构成表面处理装置1的处理头10。在这些单元11中，用于喷出处理气体的喷出口34沿第一方向延伸。第一方向与使被处理物移动的第二方向正交。两个单元11配置为相互在第一方向错开，且在第二方向错开。两个单元11的喷出口34之间在从第二方向观察的情况下重叠。