公开(公告)号：CN1826843A

公开(公告)日：2006-08-30

申请号：CN200480020800.4

申请日：2004-07-22

Applicant: 积水化学工业株式会社

Inventor： 上原刚 ,  大野毅之 ,  势造一志 ,  竹内裕人 ,  小宫广实 ,  伊藤巧 ,  太田宜卫

IPC: H05H1/24 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/31

Abstract: 为了解决电极的库仑力所导致的弯曲量并在用于具有较大区域的工件的等离子处理装置中获得均匀的表面处理。本发明提供的等离子处理装置的电极结构(30X)包括左右延伸的一对电极排(31X、32X)并在前后方向上彼此相对。各电极排包括侧向以并排关系安置的多个电极部件(31A－32C)。侧向安置在基本相同的位置中的两个电极排的电极部件具有相反的极性并在其间形成排间部分间隙(33p)。彼此相邻的电极部件设置成具有彼此相反的极性。

公开(公告)号：CN1833473A

公开(公告)日：2006-09-13

申请号：CN200480022737.8

申请日：2004-08-04

Applicant: 积水化学工业株式会社

Inventor： 高妻诚 ,  小宫广实

IPC: H05H1/24 ,  H05H1/46 ,  H01L21/205 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/304 ,  C23C16/505

Abstract: 在等离子处理中，按照得到稳定的放电和较高的输出效率的方式设定给电极之间供电的供电频率的范围。在等离子处理装置中，设置有由对电源电压进行升压的变压器(22)的二次线圈(22b)，和相互对置的一对电极(11)、(12)组成的电极电路(1)。在电极(11)、(12)的至少一方的对置面上设置有固体电介质(13)。电极电路(1)，由二次线圈的漏电感和电极的电容组成LC串联共振电路。将给电极电路(1)供电的供电频率，设定在非放电时的共振频率，与将电极之间的空间(10p)看作导体时的共振频率之间。

公开(公告)号：CN100425105C

公开(公告)日：2008-10-08

申请号：CN200480022737.8

申请日：2004-08-04

Applicant: 积水化学工业株式会社

Inventor： 高妻诚 ,  小宫广实

IPC: H05H1/24 ,  H05H1/46 ,  H01L21/205 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/304 ,  C23C16/505

Abstract: 在等离子处理中，按照得到稳定的放电和较高的输出效率的方式设定给电极之间供电的供电频率的范围。在等离子处理装置中，设置有由对电源电压进行升压的变压器(22)的二次线圈(22b)，和相互对置的一对电极(11)、(12)组成的电极电路(1)。在电极(11)、(12)的至少一方的对置面上设置有固体电介质(13)。电极电路(1)，由二次线圈的漏电感和电极的电容组成LC串联共振电路。将给电极电路(1)供电的供电频率，设定在非放电时的共振频率，与将电极之间的空间(10p)看作导体时的共振频率之间。