公开(公告)号：CN1474882A

公开(公告)日：2004-02-11

申请号：CN01818852.4

申请日：2001-11-14

Applicant: 积水化学工业株式会社

Inventor： 屋良卓也 ,  汤浅基和 ,  本间孝治 ,  高妻诚

IPC: C23C16/54 ,  H01L21/205 ,  H01L21/31 ,  H01L21/302

CPC classification number: C23C16/45595 ,  C23C16/4409 ,  C23C16/4412 ,  C23C16/50 ,  C23C16/515 ,  C23C16/545 ,  G21C3/08 ,  H01J37/32357 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/32449 ,  H01J2237/188 ,  H05H1/2406 ,  H05H2001/2412 ,  H05H2240/10 ,  Y02E30/40

Abstract: 提供一种常压等离子处理方法及其装置，是在大气压附近压力下，在一对相对电极的至少一个相对面上设置固体电介质，在该一对相对电极之间导入处理气体并在电极间施加电场，使得到的等离子体与被处理物体接触处理被处理物体的方法，其特征在于从该等离子体与被处理物体接触的处理部附近排出处理过的气体，利用气体气氛调整机构使该处理部附近保持在特定的气体气氛下。

公开(公告)号：CN100425105C

公开(公告)日：2008-10-08

申请号：CN200480022737.8

申请日：2004-08-04

Applicant: 积水化学工业株式会社

Inventor： 高妻诚 ,  小宫广实

IPC: H05H1/24 ,  H05H1/46 ,  H01L21/205 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/304 ,  C23C16/505

Abstract: 在等离子处理中，按照得到稳定的放电和较高的输出效率的方式设定给电极之间供电的供电频率的范围。在等离子处理装置中，设置有由对电源电压进行升压的变压器(22)的二次线圈(22b)，和相互对置的一对电极(11)、(12)组成的电极电路(1)。在电极(11)、(12)的至少一方的对置面上设置有固体电介质(13)。电极电路(1)，由二次线圈的漏电感和电极的电容组成LC串联共振电路。将给电极电路(1)供电的供电频率，设定在非放电时的共振频率，与将电极之间的空间(10p)看作导体时的共振频率之间。

公开(公告)号：CN1317423C

公开(公告)日：2007-05-23

申请号：CN01818852.4

申请日：2001-11-14

Applicant: 积水化学工业株式会社

Inventor： 屋良卓也 ,  汤浅基和 ,  本间孝治 ,  高妻诚

IPC: C23C16/54 ,  H01L21/205 ,  H01L21/31 ,  H01L21/302

CPC classification number: C23C16/45595 ,  C23C16/4409 ,  C23C16/4412 ,  C23C16/50 ,  C23C16/515 ,  C23C16/545 ,  G21C3/08 ,  H01J37/32357 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/32449 ,  H01J2237/188 ,  H05H1/2406 ,  H05H2001/2412 ,  H05H2240/10 ,  Y02E30/40

Abstract: 提供一种常压等离子处理方法及其装置，是在大气压附近压力下，在一对相对电极的至少一个相对面上设置固体电介质，在该一对相对电极之间导入处理气体并在电极间施加电场，使得到的等离子体与被处理物体接触处理被处理物体的方法，其特征在于从该等离子体与被处理物体接触的处理部附近排出处理过的气体，利用气体气氛调整机构使该处理部附近保持在特定的气体气氛下。

公开(公告)号：CN1833473A

公开(公告)日：2006-09-13

申请号：CN200480022737.8

申请日：2004-08-04

Applicant: 积水化学工业株式会社

Inventor： 高妻诚 ,  小宫广实

IPC: H05H1/24 ,  H05H1/46 ,  H01L21/205 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/304 ,  C23C16/505

Abstract: 在等离子处理中，按照得到稳定的放电和较高的输出效率的方式设定给电极之间供电的供电频率的范围。在等离子处理装置中，设置有由对电源电压进行升压的变压器(22)的二次线圈(22b)，和相互对置的一对电极(11)、(12)组成的电极电路(1)。在电极(11)、(12)的至少一方的对置面上设置有固体电介质(13)。电极电路(1)，由二次线圈的漏电感和电极的电容组成LC串联共振电路。将给电极电路(1)供电的供电频率，设定在非放电时的共振频率，与将电极之间的空间(10p)看作导体时的共振频率之间。