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公开(公告)号：CN106486595B
公开(公告)日：2020-06-23
申请号：CN201610740490.8
申请日：2016-08-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L41/187 , H01L41/09 , B41J2/045
Abstract: 一种压电元件，具备第1电极，利用溶液法形成于上述第1电极上且由含有钾、钠及铌的钙钛矿型结构的复合氧化物构成的压电体层，以及设置在上述压电体层上的第2电极，上述压电体层在通过θ‑2θ测定得到的X射线衍射图案中具有来自（200）面的峰和来自（002）面的峰。
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公开(公告)号：CN108068458A
公开(公告)日：2018-05-25
申请号：CN201711114556.3
申请日：2017-11-13
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/045
Abstract: 本发明提供一种能够很容易地实施取向控制以及组成控制，并且使用了由具有优异的压电特性的KNN类复合氧化物构成的压电薄膜材料的压电元件以及压电元件应用装置。压电元件具备第一电极、第二电极、以及被配置在第一电极与第二电极之间的压电体层，压电体层为，包含钾、钠、铌，且包含优选取向为(100)面的钙钛矿型复合氧化物的薄膜，在钙钛矿型复合氧化物的结晶结构中包含具有氧八面体的基本晶格结构和氧八面体倾斜了的超晶格结构。
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公开(公告)号：CN107112412A
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201480084297.2
申请日：2014-12-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L41/187 , C04B35/00 , H01L41/39
CPC classification number: H01L41/187 , C04B35/462 , C04B35/4682 , C04B35/475 , C04B35/495 , C04B35/62218 , C04B2235/3201 , C04B2235/3203 , C04B2235/3208 , C04B2235/3213 , C04B2235/3232 , C04B2235/3234 , C04B2235/3244 , C04B2235/3251 , C04B2235/3255 , C04B2235/3262 , C04B2235/3268 , C04B2235/3272 , C04B2235/3274 , C04B2235/3293 , C04B2235/3298 , C04B2235/44 , C04B2235/449 , C04B2235/76 , C04B2235/768 , H01L41/0474 , H01L41/39
Abstract: 一种压电材料，含有第1成分、第2成分和第3成分，其中，第1成分在单独组成时为菱方晶系，居里温度为Tc1且由具有钙钛矿型结构的非铅系的复合氧化物构成，第2成分在单独组成时为菱方晶系以外的晶体，居里温度Tc2比上述Tc1高且由具有钙钛矿型结构的非铅系的复合氧化物构成，第3成分在单独组成时为菱方晶系，居里温度Tc3为上述Tc2以上，由具有钙钛矿型结构且与上述第1成分不同的非铅系的复合氧化物构成，将上述第3成分相对于上述第1成分和上述第3成分的合计的摩尔比设为α，α×Tc3+(1－α)×Tc1＝Tc4时，|Tc4－Tc2|为50℃以下。
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公开(公告)号：CN104943379B
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201510130104.9
申请日：2015-03-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 一色铁也
IPC: B41J2/045
CPC classification number: H01L41/0815 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , H01L41/0973 , H01L41/1878 , H01L41/318
Abstract: 本发明提供能一种够实现位移的提高的压电元件。所述压电元件具备第1电极(60)、压电体层(70)和第2电极(80)，在第1电极(60)与压电体层(70)之间形成有以压电体层70相对于特定的晶面优先取向的方式进行控制的晶种层(65)，晶种层(65)由至少含有Bi、Sr、Fe和Ti的钙钛矿结构的复合氧化物构成，上述晶种层中的上述Bi、上述Sr、上述Fe和上述Ti的元素比满足下述式(1)，Bi：Sr：Fe：Ti＝x·(1－y)：y：1－z：z···(1)(1.0≤x＜1.3，0＜y＜0.4，0.4≤z≤0.6)。
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公开(公告)号：CN106229405A
公开(公告)日：2016-12-14
申请号：CN201610191495.X
申请日：2016-03-30
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L41/08 , H01L41/18 , H01L41/187 , B41J2/045
CPC classification number: H01L41/04 , B41J2/14201 , B41J2/14233 , B41J2002/14241 , B41J2202/03 , H01L41/0805 , H01L41/18 , H01L41/1873 , H01L41/318 , B41J2/0452
Abstract: 本发明提供一种实现了压电特性的提高和漏电流的抑制中的至少一方的压电元件及压电元件应用设备。压电元件(300)具备：第1电极由包含钾、钠、铌的钙钛矿型结构的复合氧化物构成的压电体层(70)；设置在上述压电体层(70)上的第2电极(80)，将上述压电体层(70)以10万倍拍摄截面SEM图像并在横向的测定值成为1273nm的条件下进行评价时，在该压电体层(70)中含有2个以上的空隙(75)，各空隙的在膜厚方向成为最大的直径中，最大值与最小值之差为14nm以下且上述最大值为24nm以下。(60)；通过溶液法在上述第1电极(60)上形成的
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106206929A
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201610357775.3
申请日：2016-05-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供了压电设备、探测器、电子设备及超声波图像装置，该压电设备(57)具备：弹性膜(58)，至少部分形成绝缘性的表面区域(65)，至少在表面区域(65)具有非晶质结构或随机取向；压电体(63)，设置在所述弹性膜(58)上，具有与弹性膜(58)接触的第一面(63a)以及相反侧的第二面(63b)，俯视时在对应于表面区域(65)的取向区域(74)进行(100)择优取向；第一电极二电极(62)，设置在压电体(63)的第二面(63b)，俯视时与取向区域(74)相对应地在与第一电极(61)之间形成间隙(64)。(61)，设置在压电体(63)的第二面(63b)；以及第
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公开(公告)号：CN104943379A
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201510130104.9
申请日：2015-03-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 一色铁也
IPC: B41J2/045
CPC classification number: H01L41/0815 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , H01L41/0973 , H01L41/1878 , H01L41/318
Abstract: 本发明提供能一种够实现位移的提高的压电元件。所述压电元件具备第1电极(60)、压电体层(70)和第2电极(80)，在第1电极(60)与压电体层(70)之间形成有以压电体层70相对于特定的晶面优先取向的方式进行控制的晶种层(65)，晶种层(65)由至少含有Bi、Sr、Fe和Ti的钙钛矿结构的复合氧化物构成，上述晶种层中的上述Bi、上述Sr、上述Fe和上述Ti的元素比满足下述式(1)，Bi：Sr：Fe：Ti＝x·(1－y)：y：1－z：z···(1)(1.0≤x＜1.3，0＜y＜0.4，0.4≤z≤0.6)。
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公开(公告)号：CN104250098A
公开(公告)日：2014-12-31
申请号：CN201410119623.0
申请日：2014-03-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: C04B35/462 , C04B35/495 , H01L41/187 , B41J2/045
CPC classification number: H01L41/16 , B41J2/045 , B41J2/14233 , C04B35/475 , C04B35/495 , C04B2235/3201 , C04B2235/3203 , C04B2235/3208 , C04B2235/3224 , C04B2235/3227 , C04B2235/3232 , C04B2235/3234 , C04B2235/3251 , C04B2235/3255 , C04B2235/3298 , C04B2235/76 , C04B2235/765 , C04B2235/768 , G10K9/122 , H01L41/047 , H01L41/08 , H01L41/0973 , H01L41/187 , H01L41/1873 , H01L41/1878 , H02N2/001 , H02N2/181
Abstract: 本发明提供一种压电材料及使用它的压电元件、液体喷射头、液体喷射装置、超声波传感器、压电电机以及发电装置，该压电材料降低环境负担，在宽的使用环境温度范围内压电特性、介电特性高，并且居里温度也高。其含有：第1成分，由为菱面体晶且居里温度为Tc1的具有钙钛矿型结构的复合氧化物构成，第2成分，由为菱面体晶以外的晶体且居里温度为Tc2的具有钙钛矿型结构的复合氧化物构成；上述Tc1与上述Tc2之差的绝对值｜Tc1-Tc2｜为50℃以下。
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公开(公告)号：CN104249561A
公开(公告)日：2014-12-31
申请号：CN201410119238.6
申请日：2014-03-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/045
CPC classification number: H01L41/183 , B41J2/055 , B41J2/14201 , B41J2/14233 , B41J2002/14241 , B41J2202/03 , C04B35/4682 , C04B35/495 , C04B2235/3201 , C04B2235/3203 , C04B2235/3213 , C04B2235/3215 , C04B2235/3236 , C04B2235/3244 , C04B2235/3249 , C04B2235/3255 , C04B2235/3262 , C04B2235/3274 , C04B2235/3293 , C04B2235/3298 , C04B2235/441 , C04B2235/768 , C04B2237/76 , C04B2237/765 , G01H11/08 , H01L41/047 , H01L41/187 , H01L41/1871 , H01L41/1873 , H01L41/1878 , H02N2/001 , H02N2/186
Abstract: 提供压电材料以及使用它的压电元件、液体喷射头、液体喷射装置、超声波传感器、压电电机以及发电装置，其减少环境负担，在宽的使用环境温度范围内压电特性、介电特性高，居里温度也高。含有：第1成分，由为菱面体晶且居里温度Tc1的钙钛矿型结构复合氧化物构成；第2成分，由为菱面体晶以外的晶体且居里温度Tc2的钙钛矿型结构复合氧化物构成；第3成分，由为菱面体晶但与上述第1成分不同且居里温度Tc3的钙钛矿型结构复合氧化物构成，Tc2比Tc1高，Tc3为Tc2以上，（0.1×Tc1＋0.9×Tc2）的值为280℃以下。
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公开(公告)号：CN108068458B
公开(公告)日：2020-12-08
申请号：CN201711114556.3
申请日：2017-11-13
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/045
Abstract: 本发明提供一种能够很容易地实施取向控制以及组成控制，并且使用了由具有优异的压电特性的KNN类复合氧化物构成的压电薄膜材料的压电元件以及压电元件应用装置。压电元件具备第一电极、第二电极、以及被配置在第一电极与第二电极之间的压电体层，压电体层为，包含钾、钠、铌，且包含优选取向为(100)面的钙钛矿型复合氧化物的薄膜，在钙钛矿型复合氧化物的结晶结构中包含具有氧八面体的基本晶格结构和氧八面体倾斜了的超晶格结构。
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