公开(公告)号：CN101753862A

公开(公告)日：2010-06-23

申请号：CN200910253624.3

申请日：2009-12-03

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： 荻野明子

IPC: H04N5/335 ,  H04N5/225 ,  H01L21/82 ,  H01L27/146 ,  G03F7/00

CPC classification number: G01J1/44 ,  G01J1/02 ,  G01J1/0209 ,  G01J1/04 ,  G01J1/0407 ,  G01J1/0411 ,  G01J1/0422 ,  H01L27/14621 ,  H01L27/14625 ,  H01L27/14685

Abstract: 一种制造固态成像装置的方法，包括下述步骤：在基板上形成的光电转换部分，所述光电转换部分在受光面上接收光并光电转换在受光面上接收的光，从而产生信号电荷；在受光面上形成把光引导到受光面的光波导；和在光波导上形成使光着色并使着色后的光射向光波导的滤色器，其中在形成滤色器时，通过对包含染料的光敏树脂膜进行曝光处理，随后进行显影处理，由光敏树脂膜形成滤色器，在形成光波导时，形成光波导的核心部分，以致核心部分吸收当进行曝光处理时照射在光敏树脂膜上的曝光光线。本发明还涉及照相机。

公开(公告)号：CN101753862B

公开(公告)日：2012-08-22

申请号：CN200910253624.3

申请日：2009-12-03

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： 荻野明子

IPC: H04N5/335 ,  H04N5/225 ,  H01L27/146 ,  G03F7/00

CPC classification number: G01J1/44 ,  G01J1/02 ,  G01J1/0209 ,  G01J1/04 ,  G01J1/0407 ,  G01J1/0411 ,  G01J1/0422 ,  H01L27/14621 ,  H01L27/14625 ,  H01L27/14685

Abstract: 一种制造固态成像装置的方法，包括下述步骤：在基板上形成的光电转换部分，所述光电转换部分在受光面上接收光并光电转换在受光面上接收的光，从而产生信号电荷；在受光面上形成把光引导到受光面的光波导；和在光波导上形成使光着色并使着色后的光射向光波导的滤色器，其中在形成滤色器时，通过对包含染料的光敏树脂膜进行曝光处理，随后进行显影处理，由光敏树脂膜形成滤色器，在形成光波导时，形成光波导的核心部分，以致核心部分吸收当进行曝光处理时照射在光敏树脂膜上的曝光光线。

公开(公告)号：CN101752396B

公开(公告)日：2012-06-20

申请号：CN200910253424.8

申请日：2009-12-10

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： 平野荣树 ,  荻野明子 ,  西木户健树 ,  杉浦岩 ,  味沢治彦 ,  吉原郁夫

IPC: H01L27/146 ,  H04N5/335

CPC classification number: H01L27/14625 ,  H01L27/14618 ,  H01L27/14621 ,  H01L27/14627 ,  H01L27/14632 ,  H01L27/14636 ,  H01L27/14645 ,  H01L29/0619 ,  H01L29/0623 ,  H01L2224/05 ,  Y10S148/07

Abstract: 本发明提供了固态成像器件及其制造方法、电子设备、以及半导体器件。固态成像器件包括：光电二极管，其针对像素区域中的每个像素分隔形成，其中，多个像素被集成在半导体衬底的光接收表面上；绝缘膜，其形成在半导体衬底上，以覆盖光电二极管；凹部，其针对每个像素形成在光电二极管的上部中的绝缘膜中；硅氧烷树脂的第一光透射层，其在像素区域中被形成为填充凹部并构造光学波导；第二光透射层，其在像素区域中被形成为针对每个像素构造片上透镜；以及保护环，其被形成为围绕像素区域的外周，以将外划片区域和包含像素区域的内区域分隔。

公开(公告)号：CN101752396A

公开(公告)日：2010-06-23

申请号：CN200910253424.8

申请日：2009-12-10

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： 平野荣树 ,  荻野明子 ,  西木户健树 ,  杉浦岩 ,  味沢治彦 ,  吉原郁夫

IPC: H01L27/146 ,  H01L21/82 ,  H01L21/78 ,  H01L23/28 ,  H04N5/335

CPC classification number: H01L27/14625 ,  H01L27/14618 ,  H01L27/14621 ,  H01L27/14627 ,  H01L27/14632 ,  H01L27/14636 ,  H01L27/14645 ,  H01L29/0619 ,  H01L29/0623 ,  H01L2224/05 ,  Y10S148/07

Abstract: 本发明提供了固态成像器件及其制造方法、电子设备、以及半导体器件。固态成像器件包括：光电二极管，其针对像素区域中的每个像素分隔形成，其中，多个像素被集成在半导体衬底的光接收表面上；绝缘膜，其形成在半导体衬底上，以覆盖光电二极管；凹部，其针对每个像素形成在光电二极管的上部中的绝缘膜中；硅氧烷树脂的第一光透射层，其在像素区域中被形成为填充凹部并构造光学波导；第二光透射层，其在像素区域中被形成为针对每个像素构造片上透镜；以及保护环，其被形成为围绕像素区域的外周，以将外划片区域和包含像素区域的内区域分隔。