公开(公告)号：CN107408589A

公开(公告)日：2017-11-28

申请号：CN201680004837.0

申请日：2016-01-05

Applicant: 纽约州立大学研究基金会

Inventor： 道格拉斯·酷宝赫 ,  托马斯·亚当 ,  杰拉尔德·L·莱克

IPC: H01L31/0232 ,  H01L31/028 ,  G02B6/12 ,  G02B6/13 ,  G02B6/132 ,  G02B6/134 ,  G02B6/136 ,  H01L27/146

CPC classification number: G02B6/13 ,  G02B6/12002 ,  G02B6/132 ,  G02B6/1347 ,  G02B6/136 ,  G02B6/43 ,  G02B2006/121 ,  G02B2006/12104 ,  G02B2006/12123 ,  G02B2006/12169 ,  H01L21/02381 ,  H01L21/0245 ,  H01L21/02505 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/02573 ,  H01L21/0262 ,  H01L21/02639 ,  H01L21/2033 ,  H01L21/2053 ,  H01L27/14625 ,  H01L27/14629 ,  H01L31/022408 ,  H01L31/0232 ,  H01L31/02327 ,  H01L31/028 ,  H01L31/105 ,  H01L31/1808 ,  Y02E10/52 ,  Y02E10/547 ,  G02B6/131

Abstract: 光子器件结构在一个方面可包括通过将适于传播光能的波导材料图案化形成的一个或多个波导。这种波导材料可包括硅(单晶硅、多晶硅、或非晶线硅)和氮化硅的一种或多种。