公开(公告)号：CN114295256A

公开(公告)日：2022-04-08

申请号：CN202111580991.1

申请日：2021-12-22

Applicant: 苏州航凯微电子技术有限公司

Inventor： 盖广洪 ,  白鹤

IPC: G01L1/10 ,  H01L41/113 ,  H01L41/22

Abstract: 本发明公开了一种基于FBAR结构的压力传感器，涉及传感器技术领域，包括基底，基底顶部开设有凹槽，基底表面覆盖有绝缘层；绝缘层与基底顶部凹槽包围形成空气腔室；绝缘层上覆盖有支撑层，支撑层上设置有压电振荡堆；基底底部还开设有背部凹槽；还包括封装盖帽，封装盖帽键合安装于基底顶部；封装盖帽底部设置有容纳压电层和顶电极的凹槽；封装盖帽上还开设有上下贯穿的通孔，通孔内壁覆盖有金属种子层，通孔内还填充有通孔金属。本发明还公开了上述压力传感器的制备方法。本发明传感器可通过对基底的背部凹槽施加压力，引起基底正面压电振荡堆的形变，从而改变压电振荡堆的输出频率，实现了机械信号转换为电信号。

公开(公告)号：CN114659681A

公开(公告)日：2022-06-24

申请号：CN202210116869.7

申请日：2022-02-07

Applicant: 苏州航凯微电子技术有限公司

Inventor： 盖广洪 ,  白鹤

IPC: G01L1/22 ,  G01L9/04 ,  G01L19/04

Abstract: 本发明公开了一种高温力传感器，涉及传感器技术领域，包括弹性体、薄膜敏感组件和测温组件；所述弹性体中间段呈方形柱状，所述薄膜敏感组件设置有四组，分别安装于弹性体中间段的四个面上；所述壳体固定套接于弹性体上，所述薄膜敏感组件位于壳体内；所述测温组件安装于弹性体内；所述薄膜敏感组件包括由内向外的过渡层、绝缘膜、应变电阻膜和钝化保护膜。本发明还公开了高温力传感器的生产方法。本发明在高温力传感器的基础上，集成了测温功能，实现了力和温度的一体化测量；由于沉积了高温敏感层，利用了恒弹合金和钯电阻合金的高温稳定效应，因此本发明力传感器的温度灵敏度精度提高了一个数量级，相应的提高了传感器的精度。

公开(公告)号：CN216565093U

公开(公告)日：2022-05-17

申请号：CN202123230540.3

申请日：2021-12-21

Applicant: 苏州航凯微电子技术有限公司

Inventor： 盖广洪 ,  白鹤

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/56 ,  H03H9/58

Abstract: 本实用新型公开了一种薄膜体声波谐振器，涉及谐振器领域，包括衬底，所述衬底上表面刻蚀或腐蚀形成台阶，所述衬底表面覆盖有支撑层；所述衬底上非台阶处还刻蚀或腐蚀有凹槽；所述支撑层上设置有压电三明治结构，所述压电三明治结构从下到上依次包括底电极、压电层和顶电极，所述压电层延伸至凹槽内。本实用新型利用衬底本身作为牺牲层材料，更好的利用了衬底表面粗糙度小的优点；同时，无需利用其它材料作为牺牲层，避免使用研磨、抛光等工艺，简化了制作工艺；通过在衬底上设置的凹槽，减小相邻谐振器的高度差，更好地实现电极的连接。