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公开(公告)号：CN116754793A
公开(公告)日：2023-09-15
申请号：CN202310694249.6
申请日：2023-06-13
Applicant: 苏州航凯微电子技术有限公司
Abstract: 本发明公开了一种小型化的压电加速度传感器芯片，包括壳体、质量块、压电感应片、引出导线、支撑层和绝缘基座，所述支撑层分别设置于所述绝缘基座两端，所述压电感应片的两端分别固定于所述支撑层上，所述压电感应片两端分别设置有绝缘层，所述质量块位于所述压电感应片上表面。传感器压电感应片采用氮化铝压电陶瓷膜片，压电陶瓷膜片在受到加速度载荷时发生微压电效应，输出信号电压与加速度近似成线性函数关系，当被测加速度超过一定载荷后，或者测量频率达到传感器特征频率时，压电陶瓷膜片与绝缘基座发生接触，有效地保护了压电加速度传感器芯片免受损坏，此外，氮化铝压电陶瓷具有固有频率高、响应快、长期稳定性好等优点。
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公开(公告)号：CN114659681A
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN202210116869.7
申请日：2022-02-07
Applicant: 苏州航凯微电子技术有限公司
Abstract: 本发明公开了一种高温力传感器，涉及传感器技术领域，包括弹性体、薄膜敏感组件和测温组件；所述弹性体中间段呈方形柱状，所述薄膜敏感组件设置有四组，分别安装于弹性体中间段的四个面上；所述壳体固定套接于弹性体上，所述薄膜敏感组件位于壳体内；所述测温组件安装于弹性体内；所述薄膜敏感组件包括由内向外的过渡层、绝缘膜、应变电阻膜和钝化保护膜。本发明还公开了高温力传感器的生产方法。本发明在高温力传感器的基础上，集成了测温功能，实现了力和温度的一体化测量；由于沉积了高温敏感层，利用了恒弹合金和钯电阻合金的高温稳定效应，因此本发明力传感器的温度灵敏度精度提高了一个数量级，相应的提高了传感器的精度。
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公开(公告)号：CN117629492A
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN202311609789.6
申请日：2023-11-29
Applicant: 苏州航凯微电子技术有限公司
Abstract: 本发明公开了一种基于MEMS工艺的硅压阻式六维力传感器及其制备方法，包括MEMS裸芯、商用ASIC及金属外壳；所述MEMS裸芯包括敏感检测层、底盖及顶盖；所述敏感检测层包括质量块和敏感梁，所述质量块和敏感梁连接，所述质量块外侧均匀设置有四个敏感梁，所述质量块和四个敏感梁构成正交十字型结构；所述敏感梁远离质量块一端设置为缓冲梁。本发明，MEMS硅基压阻式六维力传感器使用质量块‑敏感梁结构，具有结构简单，MEMS工艺容易实现，制造成本低，成品率高的优势。
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公开(公告)号：CN117233423A
公开(公告)日：2023-12-15
申请号：CN202311148844.6
申请日：2023-09-07
Applicant: 苏州航凯微电子技术有限公司
Abstract: 本发明公开了一种基于ASIC阈值可任意调控的MEMS三轴惯性开关，包括三轴MEMS加速度传感器、ASIC调理芯片、MCU外部集成电路和可调阈值电阻；三轴MEMS加速度传感器：被配置为在冲击的惯性作用下，反应出各个方向上的加速度值；ASIC调理芯片：被配置为放大加速度传感器的输出信号，同时与比较电压作比较，输出高低电平；MCU外部集成电路：被配置为判断输出信号是否为高电平，若为高电平，则触发引信装置，反之则不触发；可调阈值电阻：被配置为调整比较电压的大小，从而调整了MEMS惯性开关的阈值。本发明，提高了频响、阈值上限和抗过载能力；然后接ASIC调理芯片，提升系统的精度；通过改变阈值电阻，来调整MEMS惯性开关的阈值，提高了后期的工作效率。
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公开(公告)号：CN119383879B
公开(公告)日：2025-04-25
申请号：CN202411964120.3
申请日：2024-12-30
Applicant: 苏州航凯微电子技术有限公司
IPC: H05K5/02 , B23P19/04 , H01R13/04 , H01R13/10 , H01R24/00 , H01R43/26 , H05K7/18 , G01D5/00 , G01D11/00
Abstract: 本发明提供了一种触觉传感器及其装配方法，其包括：装配组件，装配组件包括装配主体、滑轨及第一卡接机构，任意滑轨沿第一方向延伸，装配主体上设有母头插接孔；本体，本体包括柔性挤压部、滑座、端子公头及第二卡接机构，柔性挤压部固连于滑座，滑座上设有滑槽，滑槽沿滑轨移动，端子公头连接于滑座，第二卡接机构可与第一卡接机构相互抵接。本发明可大幅简化常规装配技术中的繁琐过程，同时，母头插接孔能够与端子公头相互配合以实现信号的稳定传输，由此提高本传感器的使用稳定性及精确性。相比于现有常规传感器来说，本申请兼具拆装灵活、便于操作、对接精准、作业过程稳定以及实用范围广泛等显著优势。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119388448B
公开(公告)日：2025-04-18
申请号：CN202510005653.7
申请日：2025-01-03
Applicant: 苏州航凯微电子技术有限公司
IPC: B25J9/16
Abstract: 本发明涉及机械手控制技术领域，尤其是指一种多维力触觉自适应抓取的灵巧手控制系统及控制方法，所述控制系统包括上位机、灵巧手总控制器模块、以及为灵巧手的每根手指独立配置的手指控制器模块、三维力触觉传感器模块及执行器模块；其中，灵巧手总控制器接收上位机指令，生成各手指对应的控制指令；三维力触觉传感器监测手指与物体的接触数据；手指控制器基于控制指令、接触数据和执行器状态反馈，计算不同时间点伺服电机的目标位置，并生成第三控制指令；执行器模块接收指令后，调整伺服电机位置，确保灵巧手按预定轨迹和力度完成自适应抓取。本发明能够根据不同情况自适应调整灵巧手的抓取力度和速度，确保抓取动作的准确性和稳定性。
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公开(公告)号：CN119124434A
公开(公告)日：2024-12-13
申请号：CN202411233206.9
申请日：2024-09-04
Applicant: 苏州航凯微电子技术有限公司
Abstract: 本发明公开了一种结构解耦的电容式MEMS六维力传感器芯片及其制备工艺，包括顶部极板、第一外框和底部极板，所述第一外框位于顶部极板的外侧；所述顶部极板包括上电极和硅柱，所述硅柱分布在上电极的中部；所述底部极板包括基体、下电极、锚点和焊盘，所述锚点分布在下电极的中部，且锚点的位置与硅柱的位置相对应。本发明，具有全维度物理结构解耦，小体积，灵敏度高，受温度影响小，易制造的优势，适用于机械手指尖，微型医疗机器人等安装及工作空间小，温度湿度急剧变化的恶劣工作环境中。
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公开(公告)号：CN114295256A
公开(公告)日：2022-04-08
申请号：CN202111580991.1
申请日：2021-12-22
Applicant: 苏州航凯微电子技术有限公司
IPC: G01L1/10 , H01L41/113 , H01L41/22
Abstract: 本发明公开了一种基于FBAR结构的压力传感器，涉及传感器技术领域，包括基底，基底顶部开设有凹槽，基底表面覆盖有绝缘层；绝缘层与基底顶部凹槽包围形成空气腔室；绝缘层上覆盖有支撑层，支撑层上设置有压电振荡堆；基底底部还开设有背部凹槽；还包括封装盖帽，封装盖帽键合安装于基底顶部；封装盖帽底部设置有容纳压电层和顶电极的凹槽；封装盖帽上还开设有上下贯穿的通孔，通孔内壁覆盖有金属种子层，通孔内还填充有通孔金属。本发明还公开了上述压力传感器的制备方法。本发明传感器可通过对基底的背部凹槽施加压力，引起基底正面压电振荡堆的形变，从而改变压电振荡堆的输出频率，实现了机械信号转换为电信号。
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公开(公告)号：CN119388448A
公开(公告)日：2025-02-07
申请号：CN202510005653.7
申请日：2025-01-03
Applicant: 苏州航凯微电子技术有限公司
IPC: B25J9/16
Abstract: 本发明涉及机械手控制技术领域，尤其是指一种多维力触觉自适应抓取的灵巧手控制系统及控制方法，所述控制系统包括上位机、灵巧手总控制器模块、以及为灵巧手的每根手指独立配置的手指控制器模块、三维力触觉传感器模块及执行器模块；其中，灵巧手总控制器接收上位机指令，生成各手指对应的控制指令；三维力触觉传感器监测手指与物体的接触数据；手指控制器基于控制指令、接触数据和执行器状态反馈，计算不同时间点伺服电机的目标位置，并生成第三控制指令；执行器模块接收指令后，调整伺服电机位置，确保灵巧手按预定轨迹和力度完成自适应抓取。本发明能够根据不同情况自适应调整灵巧手的抓取力度和速度，确保抓取动作的准确性和稳定性。
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公开(公告)号：CN119383879A
公开(公告)日：2025-01-28
申请号：CN202411964120.3
申请日：2024-12-30
Applicant: 苏州航凯微电子技术有限公司
IPC: H05K5/02 , B23P19/04 , H01R13/04 , H01R13/10 , H01R24/00 , H01R43/26 , H05K7/18 , G01D5/00 , G01D11/00
Abstract: 本发明提供了一种触觉传感器及其装配方法，其包括：装配组件，装配组件包括装配主体、滑轨及第一卡接机构，任意滑轨沿第一方向延伸，装配主体上设有母头插接孔；本体，本体包括柔性挤压部、滑座、端子公头及第二卡接机构，柔性挤压部固连于滑座，滑座上设有滑槽，滑槽沿滑轨移动，端子公头连接于滑座，第二卡接机构可与第一卡接机构相互抵接。本发明可大幅简化常规装配技术中的繁琐过程，同时，母头插接孔能够与端子公头相互配合以实现信号的稳定传输，由此提高本传感器的使用稳定性及精确性。相比于现有常规传感器来说，本申请兼具拆装灵活、便于操作、对接精准、作业过程稳定以及实用范围广泛等显著优势。
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