一种抛光垫材料及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN119871213A

    公开(公告)日:2025-04-25

    申请号:CN202510118294.6

    申请日:2025-01-24

    Applicant: 衢州学院

    Abstract: 本发明涉及化学机械抛光加工领域,具体涉及一种抛光垫材料及其制备方法和应用。主要是在凝固成型时利用适宜浓度的N,N‑二甲基甲酰胺溶液来促进聚氨酯链的有序排列,浸渍布的适宜含水量可以确保聚氨酯的均匀凝固成型。本发明通过控制浸渍布的含水量和凝固成型时N,N‑二甲基甲酰胺溶液的浓度,使得抛光垫材料可以形成较为稳定均一的微孔结构,以减少软质抛光垫材料抛光后的晶圆硅片的表面缺陷,解决了现有的抛光垫材料研磨后硅片表面缺陷较多的技术问题。

    一种连续流反应合成3-甲基吲哚的方法

    公开(公告)号:CN107033061B

    公开(公告)日:2019-07-05

    申请号:CN201710240012.5

    申请日:2017-04-13

    Applicant: 衢州学院

    Abstract: 本发明提供了一种连续流反应合成3‑甲基吲哚的方法,所述合成的方法为:将苯肼溶液、丙醛溶液各自通过计量泵混合打入反应模块I中,停留时间为3~20min,反应温度25~75℃,反应生成苯腙,之后当含有苯腙的反应液流出反应模块I时,启动连接ZnCl2溶液的计量泵,使ZnCl2溶液和含有苯腙的反应液混合进入预热至150~200℃的反应模块II,停留时间为4~10min,之后流出反应模块II的反应液经冷却管进入收集装置进行后处理,得到产物3‑甲基吲哚;本发明反应速度快,副反应少,传热传质效率高,反应选择性高,纯度高,收率高且后处理方便,同时可以通过再萃取的方式回收套用昂贵的离子液体。

    一种氟硅烷改性纳米纤维素的制备方法及获得的改性纤维素

    公开(公告)号:CN109851680A

    公开(公告)日:2019-06-07

    申请号:CN201910058537.6

    申请日:2019-01-22

    Applicant: 衢州学院

    Abstract: 本发明提供一种氟硅烷改性纳米纤维素的制备方法,具体方法如下过程:1)将纳米纤维素、醇溶剂混合超声分散后,加入至带有搅拌器、温度计、冷凝装置的反应器中,搅拌升温至反应温度;2)然后加入适量水,再滴加含氟硅烷,滴加结束后保温反应;3)反应结束后冷却至30℃以下,对反应产物进行离心分离、并用醇重复洗涤三次;4)冷冻干燥得到含氟硅烷改性纳米纤维素产品。采用上述方法可以得到式(1)所示的氟硅烷改性纳米纤维素。本发明的制备方法简单高效,合成路线环保无污染,由该方法获得的改性产品具有良好的疏水疏油性、且分散均一、与有机系的界面相容性好,在纺织、造纸、涂料等诸多领域具有潜在的推广应用前景。

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