公开(公告)号：CN118256868A

公开(公告)日：2024-06-28

申请号：CN202410363410.6

申请日：2024-03-28

Applicant: 郑州大学 ,  中原关键金属实验室

Inventor： 刘苗 ,  李景辉 ,  孙本双 ,  何季麟 ,  刘洋 ,  王成铎 ,  陈杰 ,  王之君 ,  扈百直 ,  曾学云

IPC: C23C14/08 ,  C04B35/453 ,  C04B35/622 ,  C23C14/35 ,  C23C14/54 ,  C30B29/22 ,  C30B23/00 ,  H01B5/14 ,  H01B13/00

Abstract: 本发明实施例公开了稀土掺杂AZO多晶薄膜材料及其制备方法；多晶薄膜材料由稀土、氧化铝对氧化锌进行共掺杂得到，其中，稀土的含量为0.1～5wt.％，氧化铝的含量为2wt.％，氧化锌的含量为93～98wt.％；多晶薄膜材料的厚度为50～500nm，可见光透过率为85～95％，电阻率为1×10‑4～9×10‑4Ω·cm；制备方法包括步骤：S1、稀土粉体、氧化铝粉体与氧化锌粉体混合，得到混合粉体；S2、混合粉体压制、烧结得到靶材；S3、以得到的靶材为溅射靶材，在衬底上沉积得到系统掺杂AZO多晶薄膜材料。AZO多晶薄膜材料性能优异，且稳定性好，可以媲美ITO材料，满足光伏电池、薄膜显示器等领域的应用要求；且制备方法简单，工艺参数易于调控，适合工业化生产。