高功函数金属氧化物靶材及其制备方法

    公开(公告)号:CN119430867A

    公开(公告)日:2025-02-14

    申请号:CN202411700165.X

    申请日:2024-11-26

    Abstract: 本发明公开了高功函数金属氧化物靶材及其制备方法。该制备方法包括:将高功函数金属氧化物粉体、氧化铟粉体、氧化锌粉体按设定质量比混合为混合粉体;将混合粉体设置在去离子水中,并加入分散剂,调制成浆料;将浆料进行高能砂磨,且在砂磨结束前加入粘结剂;将浆料喷雾造粒,得到球形造粒粉;将球形造粒粉模压成型、冷等静压,得到靶材素坯;将靶材素坯进行脱脂烧结一体化处理,得到高功函数金属氧化物靶材。本发明实施例公开的高功函数金属氧化物靶材,晶粒尺寸小,分布均匀,靶材密度高,电学性能优良,可用于制备柔性OLED阳极层薄膜材料,简化器件结构,降本增效。

    一种高密度铟锡锌氧化物溅射靶材的制备方法

    公开(公告)号:CN119143498A

    公开(公告)日:2024-12-17

    申请号:CN202411292424.X

    申请日:2024-09-14

    Abstract: 本发明公开了一种高密度铟锡锌氧化物溅射靶材的制备方法,包括以下步骤:S1、将氧化铟粉末、氧化锡粉末和氧化锌粉末混合,得到混合粉体;然后将所得混合粉体与分散剂、粘结剂、去离子水混合,得到ITZO浆料;再对ITZO浆料依次进行球磨、砂磨,得到ITZO浆料分散体;S2、将所得ITZO浆料分散体进行压力注浆成型,干燥、脱脂,得到溅射靶材干素坯;S3、将溅射靶材干素坯采用台阶变温法烧结,得到铟锡锌氧化物溅射靶材。本发明制得的铟锡锌氧化物溅射靶材的致密度可达99.8%以上;其中,通过调控烧结工艺参数,可实现ITZO溅射靶材的晶粒可控,通过注浆成型法可制备大尺寸的溅射靶材素坯,且操作简便,节约成本。

    一种纳米氢氧化镁制备方法
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119263317A

    公开(公告)日:2025-01-07

    申请号:CN202411593924.7

    申请日:2024-11-08

    Applicant: 郑州大学

    Abstract: 本发明属于镁化合物技术领域,具体涉及一种纳米氢氧化镁制备方法。本发明提供的纳米氢氧化镁制备方法包括以下步骤:将离子液体和镁源混合制成配合物溶液,在配合物溶液中加入氢氧化物进行均相沉淀反应得到悬浊液,悬浊液经过过滤、洗涤、干燥后得到纳米氢氧化镁,所述离子液体选自1‑丁基‑3‑甲基咪唑丙烯酸盐、1‑丁基‑3‑甲基咪唑甘氨酸盐和N‑甲基咪唑丙烯酸盐中的一种。离子液体的丙烯酸、甘氨酸阴离子更易与金属配位,起到镁离子控制释放和空间阻隔作用,离子液体配位反应、氢键作用、静电作用调控反应结晶,实现氢氧化镁粒径大小与粒度分布的可控,且离子液体中的阳离子基团能够进一步防止纳米氢氧化镁颗粒间的聚集。

    一种联合破碎ITO废靶回收利用的方法及装置

    公开(公告)号:CN118834065A

    公开(公告)日:2024-10-25

    申请号:CN202410807595.5

    申请日:2024-06-21

    Applicant: 郑州大学

    Abstract: 本发明公开了一种联合破碎ITO废靶回收利用的方法,包括以下步骤:将溅射剩余的ITO废靶进行表面超声清洗,将清洗干净后的废ITO靶材进行纳米化处理,第一步:用鄂式破碎机将块状的ITO废靶粉碎成毫米级小颗粒;第二步:用超微气流磨将小颗粒的ITO废靶进一步粉碎成亚微米级颗粒;第三步:用砂磨机将微米级粉末与一定质量的水,分散剂,混合为固含量为50‑75%的浆料后进一步细化成纳米级颗粒。将第三步后的浆料经过烘干的粉末与设定比例的水,分散剂,粘结剂混合,得到固含量大于80%的ITO浆料,经过压力注浆得到ITO素坯,在经过干燥处理、脱脂和烧结处理得到平均晶粒尺寸为2‑10μm,相对密度大于99.5%,电阻率小于0.15mΩ·cm的ITO溅射靶材。

    镧系稀土掺杂氧化铟锌纳米粉体的制备方法

    公开(公告)号:CN116002749B

    公开(公告)日:2024-06-28

    申请号:CN202310048494.X

    申请日:2023-01-31

    Applicant: 郑州大学

    Abstract: 本发明公开了一种镧系稀土掺杂氧化铟锌纳米粉体的制备方法。该方法包括:分别配置设定浓度的镧系稀土盐水溶液、铟盐水溶液、锌盐水溶液和沉淀剂水溶液;将铟盐水溶液倒入反应器中;在搅拌条件下,滴加沉淀剂水溶液,当pH值达到3~5时,将镧系稀土盐水溶液加入反应器,滴加沉淀剂水溶液,当pH值达到6~8时,将锌盐水溶液加入反应器,滴加沉淀剂水溶液,当pH值达到9~11时,停止滴加沉淀剂水溶液,得到含镧系稀土掺杂的铟锌胶状沉淀的溶液;将含有镧系稀土掺杂的铟锌胶状沉淀的溶液升温搅拌熟化、冷却静置、分离洗涤,得到镧系稀土掺杂氧化铟锌的前驱体;将镧系稀土掺杂氧化铟锌的前驱体干燥、高温煅烧,得到镧系稀土掺杂氧化铟锌纳米粉体。

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