公开(公告)号：CN103493193A

公开(公告)日：2014-01-01

申请号：CN201280018577.4

申请日：2012-04-05

Applicant: 龙云株式会社

Inventor： 山辺浩 ,  小幡仁 ,  山添胜广 ,  西岛芳树 ,  坂田功介 ,  今井慎一 ,  月本浩明 ,  松川启一

IPC: H01L21/677 ,  B25J15/06 ,  B25J15/08

CPC classification number: H01L21/6838 ,  B25J9/042 ,  B25J11/0095 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/67781

Abstract: 提供一种紧凑且访问性优异的晶圆更换装置。本发明的晶圆更换装置具备第一柄（10）及第二柄（20）、第一升降单元（30）、壳体（40）、水平移动单元（50）、以及第二升降单元（60）。第一柄（10）及第二柄（20）以左右分割形状形成为大致线对称，并对晶圆（100）进行支承。第一升降单元（30）使第二柄（20）升降。壳体（40）内置有第一升降单元（30），并且将第一柄（10）支承为高度位置不变且将第二柄（20）支承为能够升降。水平移动单元（50）使壳体（40）水平移动。第二升降单元（60）使壳体（40）升降。