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公开(公告)号：CN1916603B
公开(公告)日：2010-11-24
申请号：CN200510091733.1
申请日：2005-08-15
Applicant: ASML荷兰有限公司
Inventor： A·J·登博夫 , A·J·布里克 , Y·J·L·M·范多梅伦 , M·杜萨 , A·G·M·基尔斯 , P·F·鲁尔曼恩 , H·P·M·佩勒曼斯 , M·范德沙尔 , C·D·格劳斯特拉 , M·G·M·范克拉亚
CPC classification number: G01N21/8806 , G03F7/70341 , G03F7/70633 , G03F7/7065 , G03F9/7034
Abstract: 一种通过在一高数值孔径透镜的光瞳面中测量一角分解光谱从而确定基底特性的设备与方法，所述角分解光谱是由反射离开所述基底的辐射形成的。所述特性可依角度和波长而变化，并可包括横向磁和横向电偏振光的强度及其相对相位差。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1892439B
公开(公告)日：2010-12-08
申请号：CN200610100135.0
申请日：2006-06-29
Applicant: ASML荷兰有限公司
Inventor： H·P·M·佩勒曼斯 , A·J·登博夫 , W·M·科尔贝杰 , H·范德兰
CPC classification number: G03F7/70616
Abstract: 一种用于测量基片上的显微结构的参数的度量装置，该装置包括设置成可产生测量光束的超连续光谱光源、设置成可将该测量光束导引到该基片上的光学系统以及用于探测被该结构反射和/或衍射的辐射的传感器。
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公开(公告)号：CN1916603A
公开(公告)日：2007-02-21
申请号：CN200510091733.1
申请日：2005-08-15
Applicant: ASML荷兰有限公司
Inventor： A·J·登博夫 , A·J·布里克 , Y·J·L·M·范多梅伦 , M·杜萨 , A·G·M·基尔斯 , P·F·鲁尔曼恩 , H·P·M·佩勒曼斯 , M·范德沙尔 , C·D·格劳斯特拉 , M·G·M·范克拉亚
CPC classification number: G01N21/8806 , G03F7/70341 , G03F7/70633 , G03F7/7065 , G03F9/7034
Abstract: 一种通过在一高数值孔径透镜的光瞳面中测量一角分解光谱从而确定基底特性的设备与方法，所述角分解光谱是由反射离开所述基底的辐射形成的。所述特性可依角度和波长而变化，并可包括横向磁和横向电偏振光的强度及其相对相位差。
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公开(公告)号：CN1892439A
公开(公告)日：2007-01-10
申请号：CN200610100135.0
申请日：2006-06-29
Applicant: ASML荷兰有限公司
Inventor： H·P·M·佩勒曼斯 , A·J·登博夫 , W·M·科尔贝杰 , H·范德兰
CPC classification number: G03F7/70616
Abstract: 一种用于测量基片上的显微结构的参数的度量装置，该装置包括设置成可产生测量光束的超连续光谱光源、设置成可将该测量光束导引到该基片上的光学系统以及用于探测被该结构反射和/或衍射的辐射的传感器。
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公开(公告)号：CN100510962C
公开(公告)日：2009-07-08
申请号：CN200310121700.8
申请日：2003-12-15
Applicant: ASML荷兰有限公司
CPC classification number: G03F9/7003 , G03F9/7049 , G03F9/7076
Abstract: 本发明公开一种光刻装置，包括用于相对构图部件(MA)对准基底台(WT)上基底(W)的对准子系统(21)。该对准结构(10)包括可检测为捕获位置或检验位置的非周期特征(15)，使用对准子系统(21)中的参考光栅(26)。非周期特征(15)可能会在对准子系统(21)的检测信号中产生相位效果，或者产生幅值效应。
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公开(公告)号：CN1510519A
公开(公告)日：2004-07-07
申请号：CN200310121700.8
申请日：2003-12-15
Applicant: ASML荷兰有限公司
CPC classification number: G03F9/7003 , G03F9/7049 , G03F9/7076
Abstract: 本发明公开一种光刻装置，包括用于相对构图部件(MA)对准基底台(WT)上基底(W)的对准子系统(21)。该对准结构(10)包括可检测为捕获位置或检验位置的非周期特征(15)，使用对准子系统(21)中的参考光栅(26)。非周期特征(15)可能会在对准子系统(21)的检测信号中产生相位效果，或者产生幅值效应。
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