公开(公告)号：CN1077300C

公开(公告)日：2002-01-02

申请号：CN93116450.8

申请日：1993-08-21

Applicant: 国际商业机器公司

Inventor： 范龙身 ,  汉斯·赫尔姆特·扎普

IPC: G03F7/00 ,  H01L21/02

CPC classification number: G03F7/11 ,  B81B2201/035 ,  B81B2201/037 ,  B81C99/0085 ,  G03F7/00 ,  H02N1/008

Abstract: 一种制造集成化独立式微小型结构的方法，选定一种衬底材料；在衬底材料表面上演积一层保护材料；将保护层刻成图案以规定一种形状；在保护层上淀积一层光敏抗蚀材料；用反差增强光刻法，将光敏抗蚀层刻成图案，以形成一个光敏抗蚀型模；在光敏抗蚀型模上，电镀上一层金属层材料，所述光敏抗蚀层被制成图案，以提供具有至少9∶1的纵横比的独立金属结构；以及应用蚀刻剂来溶去光敏抗蚀型模和保护层，以形成一个独立式的金属结构。

公开(公告)号：CN109478035A

公开(公告)日：2019-03-15

申请号：CN201780027722.8

申请日：2017-03-13

Applicant: LVMH瑞士制造公司

Inventor： 久伊·西蒙 ,  托马斯·默西厄 ,  休伊-安赫·恩`久延 ,  卢斯蒂格·马尔蒂恩

IPC: G04B1/22 ,  G04B15/02 ,  G04B15/06 ,  G04B15/14 ,  G04B17/04 ,  G04B17/26 ,  B81B3/00

CPC classification number: G04B17/26 ,  B81B5/00 ,  B81B2201/035 ,  B81B2201/037 ,  G04B1/22 ,  G04B15/02 ,  G04B15/06 ,  G04B15/14 ,  G04B17/045

Abstract: 钟表机构包括调节器(12)、能量分配件(10)、由调节器(12)控制以便交替锁定和释放能量分配件(10)的擒纵叉(11)以及弹性连接到擒纵叉和调节器的解耦件(13)。把解耦件设置为在两个止动元件(54，55)之间摆动。

公开(公告)号：CN1085667A

公开(公告)日：1994-04-20

申请号：CN93116450.8

申请日：1993-08-21

Applicant: 国际商业机器公司

Inventor： 范龙身 ,  汉斯·赫尔姆特·扎普

IPC: G03F7/00 ,  G03F7/11 ,  G03F7/09 ,  H01L21/02

CPC classification number: G03F7/11 ,  B81B2201/035 ,  B81B2201/037 ,  B81C99/0085 ,  G03F7/00 ,  H02N1/008

Abstract: 本方法包括选择一种衬底材料、在衬底材料上淀积一层保护材料、将保护层刻成图案以规定形状的步骤。在保护层上淀积一层光敏抗蚀材料，用反差增强光刻法，刻成图案以形成一光敏抗蚀型模并在其上电镀一层金属材料。电镀结构与光敏抗蚀层轮廓共形，而厚度可比通常的多晶硅微结构大许多倍。然后用蚀刻剂使光敏抗蚀型模和保护层溶去，以形成10—20微米厚的一个独立式金属结构，其纵横比可达9∶1到10∶1，甚至更高。