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公开(公告)号：CN1230376C
公开(公告)日：2005-12-07
申请号：CN01122015.5
申请日：2001-06-22
Applicant: 兰道克斯实验有限公司
Inventor： 哈罗德·S·冈布尔 , S·J·内尔·米切尔 , 安德尔泽·普鲁查斯卡 , 斯蒂芬·皮特·非茨杰拉尔德
CPC classification number: B81C1/00158 , B41J2/16 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1632 , B41J2/1639 , B81B2203/0315 , B81C2201/0115 , B81C2201/0146
Abstract: 一种在圆片中蚀刻出空腔之后，利用精密磨削技术制造膜片的方法。公开了一种基于多孔硅牺牲层的使用，防止膜片变形的技术。
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公开(公告)号：CN1330034A
公开(公告)日：2002-01-09
申请号：CN01122015.5
申请日：2001-06-22
Applicant: 兰道克斯实验有限公司
Inventor： 哈罗德·S·冈布尔 , S·J·内尔·米切尔 , 安德尔泽·普鲁查斯卡 , 斯蒂芬·皮特·非茨杰拉尔德
CPC classification number: B81C1/00158 , B41J2/16 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1632 , B41J2/1639 , B81B2203/0315 , B81C2201/0115 , B81C2201/0146
Abstract: 一种在圆片中蚀刻出空腔之后,利用精密磨削技术制造膜片的方法。公开了一种基于多孔硅牺牲层的使用,防止膜片变形的技术。
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公开(公告)号：CN102216015B
公开(公告)日：2014-01-15
申请号：CN200980146136.0
申请日：2009-09-09
Applicant: 法国里昂第一大学 , 法国国家科学研究中心 , 法国里昂中央理工学院
Inventor： 卡布瑞拉·米歇尔
CPC classification number: B23H3/04 , B23H5/02 , B23H7/065 , B23H7/08 , B23H9/00 , B23H9/08 , B81C2201/0146
Abstract: 本发明关于一种透过微电火花加工以加工一零件的机械，其中所述机械之中具有一改变机械配置的机构，以使得本机械能够交替且可逆地自加工配置转移至一削尖配置，其中在削尖配置之中，相同蚀刻电极的尖端及另一电极插入于一电解液池之中，用以透过电化学加工执行蚀刻电极的尖端的削尖。
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公开(公告)号：CN102216015A
公开(公告)日：2011-10-12
申请号：CN200980146136.0
申请日：2009-09-09
Applicant: 法国里昂第一大学 , 法国国家科学研究中心 , 法国里昂中央理工学院
Inventor： 卡布瑞拉·米歇尔
CPC classification number: B23H3/04 , B23H5/02 , B23H7/065 , B23H7/08 , B23H9/00 , B23H9/08 , B81C2201/0146
Abstract: 本发明关于一种透过微电火花加工以加工一零件的机械，其中所述机械之中具有一改变机械配置的机构，以使得本机械能够交替且可逆地自加工配置转移至一削尖配置，其中在削尖配置之中，相同蚀刻电极的尖端及另一电极插入于一电解液池之中，用以透过电化学加工执行蚀刻电极的尖端的削尖。
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