一种氮化硅结合碳化硅复合钡涂层石英坩埚及其制备方法

    公开(公告)号:CN109627047A

    公开(公告)日:2019-04-16

    申请号:CN201811589767.7

    申请日:2018-12-25

    Inventor: 王文庆 王定永

    Abstract: 本发明公开了一种氮化硅结合碳化硅复合钡涂层石英坩埚的制备方法,按氯化钡和碳酸铵的摩尔比为1:1~1.2的进料速度,将熔体A和混合溶液A通过管式电阻炉内的石英喷嘴在石英坩埚本体的内表面上进行高温喷涂,固化成膜后,得到内涂层;在内涂层上涂覆由去离子水、硅溶胶、碳化硅和硅粉组成的混合浆液,通入高纯氮气经过高温氮化烧结后,得到氮化硅结合碳化硅复合钡涂层石英坩埚。本发明氮化硅结合碳化硅复合钡涂层石英坩埚,可以有效防止石英坩埚内极少量的金属原子游离至石英坩埚表面,造成涂层缺陷,从而影响单晶硅的成品率,通过氮化硅结合碳化硅复合涂层的制备进一步延长石英坩埚使用寿命。

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