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公开(公告)号:CN109843787B
公开(公告)日:2022-10-04
申请号:CN201780064777.6
申请日:2017-09-25
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Inventor: R·施特劳布 , A·芬恩 , F·恩吉卡姆恩吉蒙齐 , J·穆霍 , H·格鲁茨埃克
Abstract: 本发明涉及一种微机械构件,具有夹持装置(10),借助至少一个线圈支架(12)保持的并且包括由至少一种导电材料制成的印制导线(22)的至少一个线圈绕组(14),其中,所述至少一个线圈绕组(14)的至少一个第一部分区段(14a)锚固在配属的线圈支架(12)上,和能变换位置的部件(16),其中,所述至少一个线圈支架(12)和所述能变换位置的部件(16)相互连接并且通过至少一个弹簧元件(18)与所述夹持装置(10)连接,使得所述能变换位置的部件(16)相对于所述夹持装置(10)围绕至少一个旋转轴线(20)能变换位置,并且其中,所述至少一个线圈绕组(14)的所述至少一个第一部分区段(14a)锚固在配属的线圈支架(12)上,而同一所述线圈绕组(14)的至少一个第二部分区段(14b)作为悬置的部分区段(14b)跨越在配属的线圈支架(12)中构造的至少一个中间空隙(24)。
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公开(公告)号:CN109799606A
公开(公告)日:2019-05-24
申请号:CN201811365018.6
申请日:2018-11-16
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种微机械构件,其具有保持装置(12)、带有反射表面的微镜(10)和至少一个弹簧(14a,14b),其中,所述微镜(10)至少通过所述至少一个弹簧(14a,14b)这样与所述保持装置(12)连接,使得所述微镜(10)相对于所述保持装置(12)能围绕至少一个旋转轴线(16)调整,其中,所述反射表面至少部分地构造在所述微镜(10)的张紧的膜片(18)的第一膜片表面(18a)上,并且所述微镜具有指向离开所述第一膜片表面(18a)方向的、在空气或真空中张紧的第二膜片表面(18b)。此外,本发明涉及一种微机械构件的制造方法。
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公开(公告)号:CN107835788A
公开(公告)日:2018-03-23
申请号:CN201680041349.7
申请日:2016-05-24
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B81C1/00
CPC classification number: B81C1/00103 , B81B7/0058 , B81B2201/042 , B81B2203/0384 , B81C1/00317 , B81C2201/0133 , B81C2201/0143 , B81C2201/0154 , B81C2203/0136 , G02B1/14 , G02B26/0833
Abstract: 本发明涉及一种用于微机械窗结构的制造方法,所述制造方法具有以下步骤:提供衬底(1),其中,所述衬底(1)具有正面(4)和背面(5);在所述正面(4)上形成第一凹部(6);在所述正面(4)和所述第一凹部(6)上构造覆层(8;8‘、8“);并且在所述背面(5)上形成第二凹部(7),使得所述覆层(8)至少局部地露出,由此通过所述覆层的露出区域形成窗(F)。
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公开(公告)号:CN102570766B
公开(公告)日:2017-10-27
申请号:CN201110404045.1
申请日:2011-12-07
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: G02B26/085 , G02B26/105 , H02K33/18 , H02K41/0354
Abstract: 本发明涉及一种具有板(3)和磁体弓形件的磁性致动器,板绕至少一个第一旋转轴线(4)可旋转地被支承,磁体弓形件设置在板(3)下方,其中,板(3)具有主延伸平面,旋转轴线(4)平行于主延伸平面,板(3)平行于主延伸平面具有至少一个导体回线(10,10a,10b),磁体弓形件具有U形的、传导磁通的轨(1)和硬磁体(2),硬磁体的磁化垂直于U形开口,磁体弓形件和板(3)相互对齐,使得磁体弓形件的开口指向板(3)的主延伸平面,U形的、传导磁通的轨(1)具有平行于第一旋转轴线(4)的主延伸方向,板(3)通过对至少一个导体回线(10,10a,10b)的通电能绕至少一个旋转轴线(4)偏转。本发明此外涉及一种具有这样的磁性致动器的微镜以及一种具有至少一个这样的微镜的双镜系统。
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公开(公告)号:CN103282819B
公开(公告)日:2017-03-22
申请号:CN201180062985.5
申请日:2011-11-09
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: G02B7/1821 , G02B26/085 , G02B26/101 , G02B26/105 , G02B26/12
Abstract: 本发明涉及一种可磁驱动的微镜,其具有设置在第一平面中的外框架(205)、线圈体(202)和扭转弹簧(203),其中所述扭转弹簧(203)具有旋转轴线,其中所述线圈体(202)借助所述扭转弹簧(203)可围绕所述旋转轴线旋转运动地与所述外框架(205)连接,所述可磁驱动的微镜具有镜元件(305),其设置在与第一平面平行的第二平面中,其中所述镜元件(305)借助中间层(250)与所述线圈体(202)连接。本发明还涉及一种具有第一可磁驱动的微镜和第二可驱动的镜的二维扫描仪和一种用于制造微镜的方法。
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公开(公告)号:CN104843629A
公开(公告)日:2015-08-19
申请号:CN201510079599.7
申请日:2015-02-13
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: B81C1/00277 , B81B7/0035 , B81B7/007 , B81B2207/095 , B81B2207/097 , B81C2203/0109
Abstract: 本发明提出一种微机械部件和一种用于制造微机械部件的方法。所述微机械部件包括:密封封闭的壳体(10);第一功能构件(12),所述第一功能构件布置在所述壳体(10)内;经结构化的第一导电层(14),所述经结构化的第一导电层接通所述第一功能构件(12)并且所述经结构化的第一导电层布置在所述壳体(10)内;和经结构化的第二导电层(24),其中,所述第一导电层(14)通过所述第二导电层(24)电接通,并且,其中,所述第二导电层(24)可通过在所述第二导电层(24)中的横向穿过所述壳体的密封的覆镀通孔(18-i,26-i)电接通。
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公开(公告)号:CN107635909B
公开(公告)日:2022-02-01
申请号:CN201680029275.5
申请日:2016-04-01
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明提供一种微机械设备以及一种相应的制造方法。所述设备构造具有:微机械设备(10),具有:弹簧装置(16;216;316;416;516),所述弹簧装置在所述弹簧装置(16)的至少一个附接点(24‑i;124)以能运动的方式能耦接到或者已耦接到框架装置(14)上;其中,所述弹簧装置(16;216;316;416;516)具有至少一个接片(18‑i;218‑i;318‑i;518‑1),所述至少一个接片从所述至少一个附接点(24‑i;124)开始延伸;并且其中,所述至少一个接片(18‑i;218‑i;318‑i;518‑1)这样结构化,使得所述至少一个接片具有至少一个第一区段(20‑i;220‑i)以及至少一个扩宽区段(22‑i;222‑i;522)用于减小所述弹簧装置(16)的非线性,所述至少一个扩宽区段相对于所述第一区段(20‑i;220‑i)扩宽。
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公开(公告)号:CN112689784A
公开(公告)日:2021-04-20
申请号:CN201980059926.9
申请日:2019-08-20
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种微机械构件,具有支架(10)、可调整部件(12)和第一曲折形弹簧(16a)和与第一曲折形弹簧(16a)关于第一对称平面(18)镜面对称地构造的第二曲折形弹簧(16b),其中,构造有第一致动器装置(24a)和第二致动器装置(24b),使得借助于所述第一致动器装置(24a)和所述第二致动器装置(24b)能够激励出所述第一曲折形弹簧(16a)和所述第二曲折形弹簧(16b)的周期性的并且关于所述第一对称平面(18)镜面对称的变形,其中,微机械构件也包括分别沿着旋转轴(32)延伸的第一扭转弹簧(26a)和第二扭转弹簧(26b),其中,所述可调整部件(12)能够至少借助于所述第一曲折形弹簧(16a)和所述第二曲折形弹簧(16b)的周期性的和镜面对称的变形关于所述支架(10)围绕所述旋转轴(32)进行调整。
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公开(公告)号:CN105143958B
公开(公告)日:2018-10-16
申请号:CN201380075931.1
申请日:2013-04-24
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Inventor: J·穆霍 , H·格鲁茨埃克 , F·恩吉卡姆恩吉蒙齐 , Z·莱什詹 , S·赖斯
Abstract: 本发明涉及一种微机械部件,其具有:保持装置(10);驱动体(12),所述驱动体具有至少一个设置在其上的线圈装置(16),所述线圈装置通过至少一个弹簧(20)如此与所述保持装置(10)连接,使得所述驱动体(12)由于引导通过所述至少一个线圈装置(16)的电流的和在所述至少一个线圈装置(16)上出现的磁场(24)的相互作用可以置于驱动运动;调节元件(14),所述调节元件如此与所述驱动体(12)连接,使得所述调节元件(14)可以借助已置于所述驱动运动的驱动体(12)置于具有至少一个围绕转动轴线(32)定向的运动分量的偏移运动,其中所述驱动体(12)和所述调节元件(14)通过所述至少一个连接元件(28,30)如此彼此布置,使得所述转动轴线(32)与所述驱动体(12)的重心(S)间隔开地延伸。此外,本发明还涉及一种用于微机械部件的制造方法。
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公开(公告)号:CN104843629B
公开(公告)日:2018-08-14
申请号:CN201510079599.7
申请日:2015-02-13
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: B81C1/00277 , B81B7/0035 , B81B7/007 , B81B2207/095 , B81B2207/097 , B81C2203/0109
Abstract: 本发明提出一种微机械部件和一种用于制造微机械部件的方法。所述微机械部件包括:密封封闭的壳体(10);第一功能构件(12),所述第一功能构件布置在所述壳体(10)内;经结构化的第一导电层(14),所述经结构化的第一导电层接通所述第一功能构件(12)并且所述经结构化的第一导电层布置在所述壳体(10)内;和经结构化的第二导电层(24),其中,所述第一导电层(14)通过所述第二导电层(24)电接通,并且,其中,所述第二导电层(24)可通过在所述第二导电层(24)中的横向穿过所述壳体的密封的覆镀通孔(18‑i,26‑i)电接通。
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