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公开(公告)号：CN103688335A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201280035541.7
申请日：2012-05-16
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/28 , H01J37/20 , H01J2237/0203
Abstract: 本发明提供能够安装具有安全性（触电防止机构）且考虑操作性的高电压施加试样架。本发明的特征在于，具有：具有对装填试样的试样台施加电压的功能的试样架、供给要施加在上述试样台的电压的电压源、以及一端与上述试样架连接的电压电缆，并且，连接上述电压电缆的另一端的转接器设置于支撑电子显微镜的镜筒的台架上。
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公开(公告)号：CN104487896A
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：CN201380038040.9
申请日：2013-07-12
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
CPC classification number: G01B11/14 , G03F7/70775 , G03F7/7085 , H01J37/317 , H01J2237/0203 , H01J2237/31777 , H05G2/008
Abstract: 一种用于微光刻的投射曝光设备(10)，包含形成曝光光束路径的多个光学组件(M1-M6)，并且包含距离测量系统(30、130、230)，用于测量光学组件(M1-M6)中的至少一个和参考元件(40、140、240)之间的距离。所述距离测量系统包含频率梳发生器(32、132、232)，其构造成产生具有梳状频谱的电磁辐射(36、236)。
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公开(公告)号：CN102232237A
公开(公告)日：2011-11-02
申请号：CN200980148233.3
申请日：2009-10-01
Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司
Inventor： 斯蒂金.W.H.K.斯廷布林克 , 约翰.J.康宁格 , 彼得.维尔特曼
CPC classification number: H01J37/12 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/3174 , H01J37/3177 , H01J2237/004 , H01J2237/0203 , H01J2237/03 , H01J2237/04924 , Y10T29/49
Abstract: 一种静电透镜，包括具有第一孔径的第一导电板(51)、具有第二孔径的第二导电板(52)，第二孔径与第一孔径基本对准；用于向第一导电板供应第一电压并向第二导电板供应第二电压的电压电源，第一电压低于第二电压；以及用于将第一导电板与第二导电板分开的绝缘构件(57)。该绝缘构件包括与第一导电板接触的第一部分(57A)和与第二导电板接触的第二部分(57B)，第一部分具有垂悬部分(57C)且第二部分具有在绝缘构件的边缘处的齿状部分，使得在垂悬部分和第二导电板之间形成间隙。
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公开(公告)号：CN103187223B
公开(公告)日：2018-11-16
申请号：CN201210577853.2
申请日：2012-12-27
Inventor： C.M.斯米特 , J.A.M.范登厄特拉
IPC: H01J37/02
CPC classification number: H01J37/26 , G05D23/00 , H01J37/16 , H01J37/24 , H01J2237/002 , H01J2237/0203
Abstract: 本发明的名称为带电粒子束系统中的漂移控制。本发明涉及一种用于减少带电粒子束系统中的漂移的方法和设备。所述方法包括：提供包括带电粒子束、透镜系统以及样品室的带电粒子束镜筒；在所述透镜系统与所述样品室之间布置温控装置以控制所述透镜系统与所述样品室之间的热传递；以及控制所述温控装置的温度以减少或者消除所述样品室内的样品的位置相对于所述带电粒子束的位置的热漂移。
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公开(公告)号：CN103688335B
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201280035541.7
申请日：2012-05-16
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/28 , H01J37/20 , H01J2237/0203
Abstract: 提供能够安装具有安全性（触电防止机构）且考虑操作性的高电压施加试样架。本发明的特征在于，具有：具有对装填试样的试样台施加电压的功能的试样架、供给要施加在上述试样台的电压的电压源、以及一端与上述试样架连接的电压电缆，并且，连接上述电压电缆的另一端的转接器设置于支撑电子显微镜的镜筒的台架上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102232237B
公开(公告)日：2014-09-24
申请号：CN200980148233.3
申请日：2009-10-01
Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司
Inventor： 斯蒂金.W.H.K.斯廷布林克 , 约翰.J.康宁格 , 彼得.维尔特曼
CPC classification number: H01J37/12 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/3174 , H01J37/3177 , H01J2237/004 , H01J2237/0203 , H01J2237/03 , H01J2237/04924 , Y10T29/49
Abstract: 一种静电透镜，包括具有第一孔径的第一导电板(51)、具有第二孔径的第二导电板(52)，第二孔径与第一孔径基本对准；用于向第一导电板供应第一电压并向第二导电板供应第二电压的电压电源，第一电压低于第二电压；以及用于将第一导电板与第二导电板分开的绝缘构件(57)。该绝缘构件包括与第一导电板接触的第一部分(57A)和与第二导电板接触的第二部分(57B)，第一部分具有垂悬部分(57C)且第二部分具有在绝缘构件的边缘处的齿状部分，使得在垂悬部分和第二导电板之间形成间隙。
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公开(公告)号：CN103765545A
公开(公告)日：2014-04-30
申请号：CN201280040083.6
申请日：2012-07-19
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
IPC: H01J27/02 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/241 , H01J27/022 , H01J37/3171 , H01J2237/0203 , H01J2237/0206 , H02H9/02
Abstract: 本发明揭示一种与离子源组合件一起使用的浪涌保护系统。所述系统包括与热离子二极管或热离子三极管以及离子源组合件串联耦合的高压电源。所述高压电源供应器封闭在压力槽中并且驱动所述离子源组合件。所述热离子二极管或三极管包括安置在离子源组合件罩壳与高压电源供应器的输出端之间的绝缘管并且利用现有离子源组合件组件来限制在所述离子源组合件的电弧故障期间对所述电源供应器的破坏。
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公开(公告)号：CN104143494B
公开(公告)日：2018-08-14
申请号：CN201410190658.3
申请日：2014-05-07
Applicant: 朗姆研究公司
IPC: H01J37/32
CPC classification number: H01J37/32495 , C23C16/4404 , H01J37/32477 , H01J37/32715 , H01J37/32724 , H01J2237/0203 , H01J2237/332 , H01J2237/334 , H01J2237/3344 , H01L21/3065 , H01L21/67069 , H01L21/6715 , H01L21/68735
Abstract: 本发明涉及一种等离子体暴露面有原位形成保护层的等离子体处理室部件，具体而言，一种等离子体处理室的部件，所述部件在其等离子体暴露表面上具有液体保护层。所述液体保护层可以通过供应液体到液体通道并且经由所述部件中的液体供给通道输送所述液体来被补充。所述部件可以是边缘环，所述边缘环包围被支撑在所述等离子体处理设备中的衬底支架上的半导体衬底，其中等离子体产生并用于处理所述半导体衬底。可替代地，所述液体保护层可以被固化或充分冷却以形成固体保护层。
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公开(公告)号：CN102737937B
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：CN201210099031.8
申请日：2012-04-06
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/26 , H01J37/244
CPC classification number: H01J37/26 , H01J37/244 , H01J37/302 , H01J2237/0203 , H01J2237/043 , H01J2237/065 , H01J2237/22 , H01J2237/2441 , H01J2237/24455 , H01J2237/24507 , H01J2237/26 , H01J2237/262 , H01J2237/2802
Abstract: 本发明涉及在带电粒子射束设备中保护辐射检测器的方法。本发明涉及一种在TEM中保护直接电子检测器（151）的方法。本发明包括在设置新的射束参数诸如改变聚光透镜（104）、投影器透镜（106）和/或射束能量的激发之前预测检测器上的电流密度。该预测是使用光学模型或者查表实现的。当预测的检测器暴露小于预定数值时，实现所期改变，否则产生警告消息并且推迟设置的改变。
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公开(公告)号：CN104584180A
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201380043744.5
申请日：2013-07-11
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/28 , H01J2237/0203 , H01J2237/063 , H01J2237/164 , H01J2237/166 , H01J2237/18 , H01J2237/1825 , H01J2237/2006 , H01J2237/202 , H01J2237/2605 , H01J2237/2608 , H01J2237/2801
Abstract: 本发明提供带电粒子线装置用部件、带电粒子线装置以及隔膜部件。带电粒子线装置(1c)所使用的带电粒子线装置用部件(56)具有安装于框体(3c)的框体(55)以及设置于框体(55)的隔膜元件(18a)。在隔膜元件(18a)形成有隔膜(19)，在被框体(3c)与框体(55)划分的真空室(4a)的内部的压力相比外部的压力相被减压了的状态下，该隔膜(19)对真空室(4a)的内部与外部气密地进行隔离并且供带电粒子线透射。另外，在隔膜元件(18a)以位于比隔膜(19)更靠试样工作台(22)侧的方式形成有防止试样(12)与隔膜(19)接触的缓冲膜(33)。
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