公开(公告)号：US20080131691A1

公开(公告)日：2008-06-05

申请号：US11932024

申请日：2007-10-31

Applicant: Tomohiro Watanabe ,  Taihei Mukaide ,  Hidenosuke Itoh

Inventor： Tomohiro Watanabe ,  Taihei Mukaide ,  Hidenosuke Itoh

IPC: B32B17/00

CPC classification number: C03C4/0085 ,  C03B19/1438 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/23 ,  C03C3/085 ,  Y10T428/261

Abstract: An optical glass that contains Si, Al, Mg, and O is provided. The optical glass contains Si in an amount of 40% or more and 60% or less, in cation percent, Al in an amount of 10% or more and 35% or less, in cation percent, and Mg in an amount of 20% or more and 35% or less, in cation percent. In the optical glass, the total amount of Si, Al, and Mg is 99.5% or more, in cation percent. Furthermore, the optical glass contains Fe and Na each in an amount of 0.01 wtppm or less and has a transmittance to a light having a wavelength of 248 nm of 40% or more at a thickness of 5 mm.

公开(公告)号：US20070272685A1

公开(公告)日：2007-11-29

申请号：US11578393

申请日：2005-04-05

Applicant: Andreas Schreiber ,  Bodo Kuehn ,  Franz-Josef Schilling ,  Erich Arnold ,  Hans-Dieter Witzke

Inventor： Andreas Schreiber ,  Bodo Kuehn ,  Franz-Josef Schilling ,  Erich Arnold ,  Hans-Dieter Witzke

IPC: H01J61/38

CPC classification number: C03B19/01 ,  C03B19/1453 ,  C03B32/00 ,  C03B2201/03 ,  C03B2201/04 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/23 ,  C03C3/06

Abstract: In a known method, a quartz glass component is produced for a UV radiation source by melting SiO2-containing grain. Starting therefrom, to indicate an inexpensive method by means of which a quartz glass component is obtained that is characterized by high radiation resistance, it is suggested according to the invention that synthetically produced quartz crystals are molten to obtain a pre-product which consists of quartz glass containing hydroxyl groups in a number greater than the number of SiH groups, and that for the elimination of SiH groups the pre-product is subjected to an annealing treatment at a temperature of at least 850° C., whereby the quartz glass component is obtained. In the quartz glass component of the invention, the quartz glass is molten from synthetically produced quartz crystals, and it has a content of SiH groups of less than 5×1017 molecules/cm3.

Abstract translation: 在已知的方法中，通过熔化含SiO 2的晶粒来生产用于UV辐射源的石英玻璃组分。 从其开始，为了表明一种廉价的方法，通过该方法获得了以高耐辐射性为特征的石英玻璃组分，根据本发明提出，将合成的石英晶体熔融以获得由石英组成的预制品 含有数量大于SiH基数的羟基的玻璃，并且为了除去SiH基，将前产物在至少850℃的温度下进行退火处理，由此石英玻璃成分为 获得。 在本发明的石英玻璃组分中，石英玻璃从合成产生的石英晶体熔化，并且其SiH基含量小于5×10 17分子/ cm 3 / >。

公开(公告)号：US20070105703A1

公开(公告)日：2007-05-10

申请号：US11348956

申请日：2006-02-06

Applicant: Dana Bookbinder ,  Richard Fiacco

Inventor： Dana Bookbinder ,  Richard Fiacco

IPC: C03B8/00 ,  C03B19/06

CPC classification number: C03B19/12 ,  C03B19/1415 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/20 ,  C03B2201/21 ,  C03B2201/22 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/32 ,  C03B2201/42 ,  C03B2201/58 ,  C03B2207/30 ,  C03B2207/38

Abstract: What is disclosed includes OD-doped synthetic silica glass capable of being used in optical elements for use in lithography below about 300 nm. OD-doped synthetic silica glass was found to have significantly lower polarization-induced birefringence value than non-OD-doped silica glass with comparable concentration of OH. Also disclosed are processes for making OD-dopes synthetic silica glasses, optical member comprising such glasses, and lithographic systems comprising such optical member. The glass is particularly suitable for immersion lithographic systems due to the exceptionally low polarization-induced birefringence values at about 193 nm.

Abstract translation: 公开的内容包括能够用于低于约300nm的光刻中的光学元件的OD掺杂合成石英玻璃。 发现OD掺杂的合成二氧化硅玻璃具有比具有相当浓度的OH的非OD掺杂的石英玻璃具有显着更低的偏振诱导双折射值。 还公开了制备OD-掺杂合成二氧化硅玻璃，包括这种玻璃的光学部件以及包括这种光学部件的光刻系统的方法。 由于在约193nm处极度低的偏振诱发双折射值，该玻璃特别适用于浸没式光刻系统。

公开(公告)号：US20060137397A1

公开(公告)日：2006-06-29

申请号：US11148504

申请日：2005-06-08

Applicant: Dana Bookbinder ,  Richard Fiacco ,  Kenneth Hrdina ,  Lisa Moore ,  Susan Schiefelbein

Inventor： Dana Bookbinder ,  Richard Fiacco ,  Kenneth Hrdina ,  Lisa Moore ,  Susan Schiefelbein

IPC: C03B20/00 ,  C03C3/06

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B19/1453 ,  C03B19/1469 ,  C03B2201/03 ,  C03B2201/04 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/21 ,  C03B2201/23 ,  C03C2201/11 ,  C03C2201/21 ,  C03C2201/23 ,  C03C2203/40 ,  C03C2203/54 ,  G03F7/70958

Abstract: Disclosed are high purity synthetic silica material having an internal transmission at 193 nm of at least 99.65%/cm and method of preparing such material. The material is also featured by a high compositional homogeneity in a plane transverse to the intended optical axis. The soot-to-glass process for making the material includes a step of consolidating the soot preform in the presence of H2O and/or O2.

Abstract translation: 公开了具有193nm以上的内透射率为至少99.65％/ cm 3的高纯度合成二氧化硅材料及其制备方法。 该材料的特征还在于横向于预期光轴的平面中具有高的组成均匀性。 用于制造材料的烟灰对玻璃工艺包括在H 2 O 2和/或O 2 2的存在下固化烟灰预制件的步骤。

公开(公告)号：US07064094B2

公开(公告)日：2006-06-20

申请号：US10718575

申请日：2003-11-24

Applicant: Yoshinori Harada ,  Shuzo Mizutani ,  Shinkichi Hashimoto ,  Masakazu Kudoh ,  Naoki Miura ,  Katsufumi Takahashi ,  Hideki Kiyohara

Inventor： Yoshinori Harada ,  Shuzo Mizutani ,  Shinkichi Hashimoto ,  Masakazu Kudoh ,  Naoki Miura ,  Katsufumi Takahashi ,  Hideki Kiyohara

IPC: C03C3/06

CPC classification number: C03B19/01 ,  C03B19/095 ,  C03B19/1423 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/32 ,  C03B2201/34 ,  C03B2201/40 ,  C03B2201/54 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/34 ,  C03C2201/3411 ,  C03C2201/40 ,  C03C2201/54 ,  Y02P40/57

Abstract: Highly durable silica glass containing 0.01% to 2% by weight of at least one element selected from magnesium, calcium, strontium, barium, yttrium, hafnium and zirconium. The silica glass is produced by melting a powdery material comprising a finely divided silica powder and a finely divided zirconium-containing substance by oxyhydrogen flame or plasma are to form an accumulated molten material layer, and extending the molten material layer outwardly in radial directions.

Abstract translation: 含有0.01重量％至2重量％的选自镁，钙，锶，钡，钇，铪和锆中的至少一种元素的高耐用二氧化硅玻璃。 二氧化硅玻璃是通过熔化包含细碎的二氧化硅粉末和细分的含锆物质的粉末状材料通过氢氧焰或等离子体而形成的，以形成聚集的熔融材料层，并使熔融材料层沿径向向外延伸。

公开(公告)号：US06993934B2

公开(公告)日：2006-02-07

申请号：US10657455

申请日：2003-09-08

Applicant: Toivo T. Kodas ,  Mark J. Hampden-Smith ,  Quint H. Powell ,  James H. Brewster ,  Daniel J. Skamser ,  Klaus Kunze ,  Paolina Atanassova ,  Paul Napolitano

Inventor： Toivo T. Kodas ,  Mark J. Hampden-Smith ,  Quint H. Powell ,  James H. Brewster ,  Daniel J. Skamser ,  Klaus Kunze ,  Paolina Atanassova ,  Paul Napolitano

IPC: C03B19/10

CPC classification number: B82Y30/00 ,  A61K6/0276 ,  A61K6/08 ,  A61K6/083 ,  B01J13/02 ,  B01J19/10 ,  B01J19/2405 ,  B01J2219/00112 ,  B01J2219/00155 ,  B01J2219/00159 ,  B01J2219/00162 ,  B01J2219/00166 ,  B01J2219/00171 ,  B01J2219/00186 ,  B24B37/044 ,  C01B13/18 ,  C01B13/185 ,  C01B17/20 ,  C01F17/0043 ,  C01G23/003 ,  C01P2002/60 ,  C01P2004/03 ,  C01P2004/32 ,  C01P2004/34 ,  C01P2004/50 ,  C01P2004/52 ,  C01P2004/61 ,  C01P2004/62 ,  C01P2006/22 ,  C03B19/106 ,  C03B2201/07 ,  C03C8/16 ,  C03C11/002 ,  C03C12/00 ,  C03C14/004 ,  C03C17/30 ,  C03C2214/08 ,  C09G1/02 ,  C09K3/1436 ,  C09K3/1463 ,  C09K11/584 ,  C09K11/595 ,  C09K11/623 ,  C09K11/642 ,  C09K11/643 ,  C09K11/644 ,  C09K11/662 ,  C09K11/666 ,  C09K11/672 ,  C09K11/7701 ,  C09K11/7708 ,  C09K11/7729 ,  C09K11/7769 ,  C09K11/7776 ,  C09K11/7784 ,  C09K11/7786 ,  C09K11/7787 ,  H01L21/3212 ,  Y02P40/57 ,  Y10T428/29 ,  Y10T428/2982 ,  Y10T428/2991 ,  Y10T428/2995 ,  Y10T428/2996 ,  C08L33/00

Abstract: Dental glass powders, methods for producing the powders and dental compositions including the glass powders. The powders preferably have a well-controlled particle size, narrow size distribution and a spherical morphology. The method includes forming the particles by a spray pyrolysis technique. The invention also includes dental filler and restorative compositions that include the glass powders.

公开(公告)号：US20050147752A1

公开(公告)日：2005-07-07

申请号：US10904909

申请日：2004-12-03

Applicant: Toivo Kodas ,  Mark Hampden-Smith ,  James Caruso ,  Quint Powell ,  Audunn Ludviksson

Inventor： Toivo Kodas ,  Mark Hampden-Smith ,  James Caruso ,  Quint Powell ,  Audunn Ludviksson

IPC: A61K6/06 ,  A61K6/083 ,  B01J13/02 ,  B01J19/00 ,  B01J19/10 ,  B01J19/24 ,  B24B37/04 ,  C01B13/18 ,  C01B17/20 ,  C01F17/00 ,  C01G23/00 ,  C03B8/02 ,  C03B8/04 ,  C03B19/10 ,  C03C8/16 ,  C03C11/00 ,  C03C12/00 ,  C03C14/00 ,  C03C17/30 ,  C09G1/02 ,  C09K3/14 ,  C09K11/58 ,  C09K11/59 ,  C09K11/62 ,  C09K11/64 ,  C09K11/66 ,  C09K11/67 ,  C09K11/77 ,  H01L21/321 ,  C23C16/00 ,  B05D3/02 ,  H01B1/02

CPC classification number: B82Y30/00 ,  A61K6/0276 ,  A61K6/08 ,  A61K6/083 ,  B01J13/02 ,  B01J19/10 ,  B01J19/2405 ,  B01J2219/00112 ,  B01J2219/00155 ,  B01J2219/00159 ,  B01J2219/00162 ,  B01J2219/00166 ,  B01J2219/00171 ,  B01J2219/00186 ,  B24B37/044 ,  C01B13/18 ,  C01B13/185 ,  C01B17/20 ,  C01F17/0043 ,  C01G23/003 ,  C01P2002/60 ,  C01P2004/03 ,  C01P2004/32 ,  C01P2004/34 ,  C01P2004/50 ,  C01P2004/52 ,  C01P2004/61 ,  C01P2004/62 ,  C01P2006/22 ,  C03B19/106 ,  C03B2201/07 ,  C03C8/16 ,  C03C11/002 ,  C03C12/00 ,  C03C14/004 ,  C03C17/30 ,  C03C2214/08 ,  C09G1/02 ,  C09K3/1436 ,  C09K3/1463 ,  C09K11/584 ,  C09K11/595 ,  C09K11/623 ,  C09K11/642 ,  C09K11/643 ,  C09K11/644 ,  C09K11/662 ,  C09K11/666 ,  C09K11/672 ,  C09K11/7701 ,  C09K11/7708 ,  C09K11/7729 ,  C09K11/7769 ,  C09K11/7776 ,  C09K11/7784 ,  C09K11/7786 ,  C09K11/7787 ,  H01L21/3212 ,  Y02P40/57 ,  Y10T428/29 ,  Y10T428/2982 ,  Y10T428/2991 ,  Y10T428/2995 ,  Y10T428/2996 ,  C08L33/00

Abstract: Glass powders and methods for producing glass powders. The powders preferably have a small particle size, narrow size distribution and a spherical morphology. The method includes forming the particles by a spray pyrolysis technique. The method also includes making a glass layer on a substrate. The invention also includes novel devices and products formed from the glass powders.

Abstract translation: 玻璃粉末和玻璃粉末的制造方法。 粉末优选具有小的粒度，窄的粒度分布和球形的形态。 该方法包括通过喷雾热解技术形成颗粒。 该方法还包括在基板上制造玻璃层。 本发明还包括由玻璃粉末形成的新型器件和产品。

公开(公告)号：US06807823B2

公开(公告)日：2004-10-26

申请号：US10298924

申请日：2002-11-19

Applicant: Yuichi Ohga ,  Tadashi Enomoto

Inventor： Yuichi Ohga ,  Tadashi Enomoto

IPC: C03C306

CPC classification number: C03C23/0025 ,  C03B19/1423 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/12 ,  C03B2207/30 ,  C03B2207/32 ,  C03B2207/36 ,  C03B2207/70 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/11 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/23 ,  C03C2203/54

Abstract: A process for producing fluorine-containing glass. An SiO2 soot is synthesized by hydrolyzing SiCl4. The soot is heated in a chlorine-compound-free atmosphere containing a fluorine compound gas to form a fluorine-containing silica glass. The glass contains not more than 10 ppm OH group, not more than 10 ppm Cl, and not less than 1,000 ppm F. The concentration ratio of F/Cl is 10,000 or more.

Abstract translation: 含氟玻璃的制造方法。 通过水解SiCl4合成SiO 2烟炱。 烟灰在含氟化合物气体的无氯化合物的气氛中加热，形成含氟二氧化硅玻璃。 该玻璃含有不超过10ppm的OH基团，不超过10ppm的Cl，且不小于1,000ppm F.F / Cl的浓度比为10,000以上。

公开(公告)号：US06783898B2

公开(公告)日：2004-08-31

申请号：US09876194

申请日：2001-06-06

Applicant: George Edward Berkey ,  Lisa Anne Moore ,  Charles Chunzhe Yu

Inventor： George Edward Berkey ,  Lisa Anne Moore ,  Charles Chunzhe Yu

IPC: G03F900

CPC classification number: C03B23/07 ,  C03B19/1415 ,  C03B19/1423 ,  C03B19/1453 ,  C03B19/1469 ,  C03B19/1492 ,  C03B23/043 ,  C03B23/045 ,  C03B23/051 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/21 ,  C03B2207/02 ,  C03B2207/06 ,  C03B2207/20 ,  C03B2207/32 ,  C03B2207/52 ,  C03B2207/54 ,  C03B2207/66 ,  C03C3/06 ,  C03C4/0085 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/21 ,  C03C2203/50 ,  G03F1/60

Abstract: The invention includes methods of making lithography photomask blanks. The invention also includes lithography photomask blanks and preforms for producing lithography photomask. The method of making a lithography photomask blank includes providing a soot deposition surface, producing SiO2 soot particles and projecting the SiO2 soot particles toward the soot deposition surface. The method includes successively depositing layers of the SiO2 soot particle on the deposition surface to form a coherent SiO2 porous glass preform body comprised of successive layers of the SiO2 soot particles and dehydrating the coherent SiO2 glass preform body to remove OH from the preform body. The SiO2 is exposed to and reacted with a fluorine containing compound and consolidated into a nonporous silicon oxyfluoride glass body with parallel layers of striae. The method further includes forming the consolidated silicon oxyfluoride glass body into a photomask blank having a planar surface with the orientation of the striae layer parallel to the photomask blank planar surface.

Abstract translation: 本发明包括制造光刻光掩模坯料的方法。 本发明还包括光刻光掩模坯料和用于生产光刻光掩模的预成型件。 制造光刻光掩模坯料的方法包括提供烟灰沉积表面，产生SiO 2烟灰颗粒并将SiO 2烟灰颗粒投射到烟灰沉积表面。 该方法包括在沉积表面上依次沉积SiO 2烟灰颗粒的层，以形成由SiO 2烟灰颗粒的连续层组成的粘结SiO 2多孔玻璃预制体，并使相干的SiO 2玻璃预制体脱水以从预成型体中去除OH。 将SiO 2暴露于含氟化合物并与其反应，并固化成具有平行的条纹层的无孔氟氧化硅玻璃体。 该方法还包括将固化的氟氧化硅玻璃体形成为具有平坦表面的光掩模坯料，其中条纹层的取向平行于光掩模坯料平面。

公开(公告)号：US20040134230A1

公开(公告)日：2004-07-15

申请号：US10657455

申请日：2003-09-08

Inventor： Toivo T. Kodas ,  Mark J. Hampden-Smith ,  Quint H. Powell ,  James H. Brewster ,  Daniel J. Skamser ,  Klaus Kunze ,  Paolina Atanassova ,  Paul Napolitano

IPC: C03B019/10

CPC classification number: B82Y30/00 ,  A61K6/0276 ,  A61K6/08 ,  A61K6/083 ,  B01J13/02 ,  B01J19/10 ,  B01J19/2405 ,  B01J2219/00112 ,  B01J2219/00155 ,  B01J2219/00159 ,  B01J2219/00162 ,  B01J2219/00166 ,  B01J2219/00171 ,  B01J2219/00186 ,  B24B37/044 ,  C01B13/18 ,  C01B13/185 ,  C01B17/20 ,  C01F17/0043 ,  C01G23/003 ,  C01P2002/60 ,  C01P2004/03 ,  C01P2004/32 ,  C01P2004/34 ,  C01P2004/50 ,  C01P2004/52 ,  C01P2004/61 ,  C01P2004/62 ,  C01P2006/22 ,  C03B19/106 ,  C03B2201/07 ,  C03C8/16 ,  C03C11/002 ,  C03C12/00 ,  C03C14/004 ,  C03C17/30 ,  C03C2214/08 ,  C09G1/02 ,  C09K3/1436 ,  C09K3/1463 ,  C09K11/584 ,  C09K11/595 ,  C09K11/623 ,  C09K11/642 ,  C09K11/643 ,  C09K11/644 ,  C09K11/662 ,  C09K11/666 ,  C09K11/672 ,  C09K11/7701 ,  C09K11/7708 ,  C09K11/7729 ,  C09K11/7769 ,  C09K11/7776 ,  C09K11/7784 ,  C09K11/7786 ,  C09K11/7787 ,  H01L21/3212 ,  Y02P40/57 ,  Y10T428/29 ,  Y10T428/2982 ,  Y10T428/2991 ,  Y10T428/2995 ,  Y10T428/2996 ,  C08L33/00

Abstract: Dental glass powders, methods for producing the powders and dental compositions including the glass powders. The powders preferably have a well-controlled particle size, narrow size distribution and a spherical morphology. The method includes forming the particles by a spray pyrolysis technique. The invention also includes dental filler and restorative compositions that include the glass powders.

Abstract translation: 牙科玻璃粉末，粉末的制造方法和包括玻璃粉末的牙科用组合物。 粉末优选具有良好控制的粒度，窄尺寸分布和球形形态。 该方法包括通过喷雾热解技术形成颗粒。 本发明还包括牙科填料和包括玻璃粉末的修复组合物。