公开(公告)号：US20160124143A1

公开(公告)日：2016-05-05

申请号：US14932521

申请日：2015-11-04

Applicant: Verrillon, Inc.

Inventor： William Jacobsen ,  Abdelouahed Soufiane

IPC: G02B6/028 ,  C03C13/04 ,  G02B6/036

CPC classification number: G02B6/0281 ,  C03B37/018 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/31 ,  C03B2201/42 ,  C03B2201/70 ,  C03B2203/23 ,  C03B2203/26 ,  C03C3/06 ,  C03C13/045 ,  C03C25/104 ,  C03C2201/02 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/31 ,  C03C2217/91 ,  G02B6/02 ,  G02B6/0283 ,  G02B6/03627 ,  Y02P40/57

Abstract: Embodiments of the invention relate to a hydrogen-resistant optical fiber with a core having a central axis. The core may include only silica, or only silica and fluorine, while a cladding region surrounding the core may be made of silica and fluorine, along with at least one of germanium, phosphorus, and titanium.

Abstract translation: 本发明的实施例涉及具有中心轴的芯的耐氢光纤。 芯可以仅包括二氧化硅，或者仅包括二氧化硅和氟，而围绕芯的包层区域可以由二氧化硅和氟以及锗，磷和钛中的至少一种制成。

公开(公告)号：US20160075591A1

公开(公告)日：2016-03-17

申请号：US14852686

申请日：2015-09-14

Applicant: Corning Incorporated

Inventor： Dana Craig Bookbinder ,  Ming-Jun Li ,  Jeffery Scott Stone ,  Pushkar Tandon

IPC: C03B37/014 ,  C03B37/027 ,  G02B6/036 ,  C03B37/012

CPC classification number: C03B37/01453 ,  C03B37/01211 ,  C03B37/014 ,  C03B37/0142 ,  C03B37/01446 ,  C03B37/01466 ,  C03B37/027 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/20 ,  C03B2201/28 ,  C03B2201/31 ,  C03B2201/32 ,  C03B2201/40 ,  C03B2201/42 ,  C03B2203/22 ,  C03B2203/23 ,  C03B2203/24 ,  C03B2207/66 ,  C03B2207/70 ,  G02B6/02 ,  G02B6/0281 ,  G02B6/03627 ,  G02B6/03638 ,  G02B6/0365

Abstract: A method is provided that includes: forming a low-index trench region with a first density; forming an inner barrier layer comprising silica around the trench region at a second density greater than the first density; depositing silica-based soot around the first barrier layer to form an overclad region at a third density less than the second density; inserting a core cane into a trench-overclad structure; forming an outer barrier layer comprising silica in an outer portion of the overclad region at a fourth density greater than the third density; flowing a down dopant-containing gas through the trench-overclad structure to dope the trench region with the down dopant, and wherein the barrier layers mitigate diffusion of the down-dopant into the overclad region; and consolidating the trench-overclad and the core cane.

Abstract translation: 提供了一种方法，包括：形成具有第一密度的低折射率沟槽区域; 在大于所述第一密度的第二密度处形成围绕所述沟槽区域的二氧化硅的内部阻挡层; 在所述第一阻挡层周围沉积二氧化硅基烟灰以形成小于所述第二密度的第三密度的外包层区域; 将核心甘蔗插入沟槽外包层结构中; 在所述外包层区域的外部部分中以大于所述第三密度的第四密度形成包含二氧化硅的外阻挡层; 使含下掺杂剂的气体流过沟槽外包层结构以用下掺杂剂掺杂沟槽区域，并且其中阻挡层减轻向下掺杂剂向外包层区域的扩散; 巩固壕沟和核心甘蔗。

公开(公告)号：US09238590B2

公开(公告)日：2016-01-19

申请号：US14204009

申请日：2014-03-11

Applicant: CARL ZEISS SMT GmbH

Inventor： Wilfried Clauss

IPC: C03C23/00 ,  C03C17/00 ,  B05D3/06 ,  C03B32/00 ,  C03C17/40 ,  G02B1/12 ,  G02B5/08 ,  G02B7/18 ,  G03F7/20 ,  G21K1/06

CPC classification number: C03C23/0005 ,  C03B32/005 ,  C03B2201/42 ,  C03C17/00 ,  C03C17/40 ,  C03C2218/31 ,  G02B1/12 ,  G02B5/0891 ,  G02B7/181 ,  G03F7/70316 ,  G03F7/7095 ,  G21K1/062

Abstract: A method for the production of a mirror element (10) that has a reflective coating (10a) for the EUV wavelength range and a substrate (10b). The substrate (10b) is pre-compacted by hot isostatic pressing, and the reflective coating (10a) is applied to the pre-compacted substrate (10b). In the method, either the pre-compacting of the substrate (10b) is performed until a saturation value of the compaction of the substrate (10b) by long-term EUV irradiation is reached, or, for further compaction, the pre-compacted substrate (10b) is irradiated, preferably homogeneously, with ions (16) and/or with electrons in a surface region (15) in which the coating (10a) has been or will be applied. A mirror element (10) for the EUV wavelength range associated with the method has a substrate (10b) pre-compacted by hot isostatic pressing. Such a mirror element (10) is suitable to be provided in an EUV projection exposure system.

Abstract translation: 一种用于生产具有用于EUV波长范围的反射涂层（10a）的反射镜元件（10）的方法和一种基板（10b）。 基板（10b）通过热等静压进行预压实，并将反射涂层（10a）施加到预压实的基板（10b）上。 在该方法中，进行基板（10b）的预压实，直到达到通过长期EUV照射的基板（10b）的压实的饱和值，或者为了进一步压缩，预压实基板 （10b）在涂层（10a）已经或将被施加的表面区域（15）中与离子（16）和/或电子被优选均匀地照射。 用于与该方法相关联的EUV波长范围的镜元件（10）具有通过热等静压预压制的基底（10b）。 这种镜子元件（10）适合于设置在EUV投影曝光系统中。

公开(公告)号：US09162921B2

公开(公告)日：2015-10-20

申请号：US13982647

申请日：2012-02-01

Applicant: Hiroyo Segawa ,  Hisato Yoshimizu ,  Satoru Inoue ,  Naoto Hirosaki

Inventor： Hiroyo Segawa ,  Hisato Yoshimizu ,  Satoru Inoue ,  Naoto Hirosaki

IPC: C03B8/02 ,  H01L33/50 ,  C03C3/076 ,  C03C4/12 ,  C03C14/00 ,  C09K11/02 ,  C03C1/00 ,  C03B19/12

CPC classification number: C03C14/00 ,  C03B19/12 ,  C03B2201/24 ,  C03B2201/30 ,  C03B2201/32 ,  C03B2201/42 ,  C03C1/006 ,  C03C3/076 ,  C03C4/12 ,  C03C14/008 ,  C09K11/02 ,  H01L33/501

Abstract: A method of manufacturing fluorescent material-dispersed glass, comprising: performing production of a fluorescent material-dispersed gel utilizing sol-gel reaction and acid-base reaction by preparing a fluorescent material-dispersed sol containing silicon alkoxide, metal chloride and/or metal aklkoxide, and fluorescent material, and subsequently gelling the fluorescent material-dispersed sol; and performing production of a fluorescent material-dispersed glass by heating the fluorescent material-dispersed gel.

Abstract translation: 一种制造荧光材料分散玻璃的方法，包括：通过制备含有硅醇盐，金属氯化物和/或金属氧化物的荧光材料分散溶胶，进行溶胶 - 凝胶反应和酸碱反应的生产荧光材料分散凝胶 和荧光材料，随后胶凝荧光材料分散的溶胶; 通过加热荧光体分散凝胶进行荧光体分散玻璃的制造。

公开(公告)号：US20150239767A1

公开(公告)日：2015-08-27

申请号：US14624794

申请日：2015-02-18

Applicant: Corning Incorporated

Inventor： Sezhian Annamalai ,  Carlos Alberto Duran

IPC: C03B32/00

CPC classification number: C03B32/00 ,  C03B19/1453 ,  C03B25/02 ,  C03B2201/42

Abstract: A method for forming a Tzc gradient in a silica-titania glass article is provided. The method includes contacting a first surface of the glass article with a surface of a first heating module of a heating apparatus and contacting a second surface of the glass article with a surface of a second heating module of the heating apparatus. The method further includes raising the temperature of the first heating module to a first temperature, raising the temperature of the second heating module to a second temperature, and maintaining the first heating module at the first temperature and the second heating module at the second temperature for a predetermined period of time to form a thermal gradient through the glass article, the first temperature being greater than the second temperature. The method also includes cooling the glass article to form a Tzc gradient through the thickness of the glass article.

Abstract translation: 提供了一种在二氧化硅 - 二氧化钛玻璃制品中形成Tzc梯度的方法。 该方法包括使玻璃制品的第一表面与加热装置的第一加热组件的表面接触，并将玻璃制品的第二表面与加热装置的第二加热模块的表面接触。 该方法还包括将第一加热模块的温度升高到第一温度，将第二加热模块的温度升高到第二温度，并将第一加热模块保持在第一温度，将第二加热模块保持在第二温度 预定的时间段，以形成通过玻璃制品的热梯度，第一温度大于第二温度。 该方法还包括冷却玻璃制品以通过玻璃制品的厚度形成Tzc梯度。

公开(公告)号：US20150097304A1

公开(公告)日：2015-04-09

申请号：US14570340

申请日：2014-12-15

Applicant: Asahi Glass Company, Limited

Inventor： Akio KOIKE ,  Junko Miyasaka ,  Hiroshi Nakanishi

IPC: B29D11/00 ,  B29C59/00 ,  B29C59/02

CPC classification number: B29D11/00769 ,  B24B9/10 ,  B29C59/002 ,  B29C59/026 ,  C03B19/14 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/42 ,  C03C3/06 ,  C03C19/00 ,  C03C2201/42 ,  C03C2204/08 ,  G03F7/0002 ,  Y10T428/24355

Abstract: The present invention relates to a TiO2-containing quartz glass substrate for an imprint mold having a main surface and a side surface, in which the side surface has an arithmetic average roughness (Ra) of 1 nm or less, and the side surface has a root mean square (MSFR_rms) of concaves and convexes in the wavelength region of from 10 μm to 1 mm being 10 nm or less.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于压印模具的含TiO 2石英玻璃基板，其具有主表面和侧表面，其中侧表面的算术平均粗糙度（Ra）为1nm或更小，并且侧表面具有 在10μm至1mm的波长范围内的凹凸的平均均方根（MSFR_rms）为10nm以下。

公开(公告)号：US08794038B2

公开(公告)日：2014-08-05

申请号：US12185463

申请日：2008-08-04

Applicant: Pieter Matthuse ,  Mattheus Jacobus Nicolaas Van Stralen ,  Mark Peter Marie Jetten ,  Gert-Jan Krabshuis

Inventor： Pieter Matthuse ,  Mattheus Jacobus Nicolaas Van Stralen ,  Mark Peter Marie Jetten ,  Gert-Jan Krabshuis

IPC: C03B37/00

CPC classification number: G02B6/02047 ,  C03B37/01807 ,  C03B2201/10 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/24 ,  C03B2201/28 ,  C03B2201/30 ,  C03B2201/31 ,  C03B2201/32 ,  C03B2201/40 ,  C03B2201/42 ,  C03B2203/26 ,  G02B6/0281 ,  G02B6/0288 ,  G02B6/036

Abstract: The invention relates to a multimode optical fiber having a refractive index profile, comprising a light-guiding core surrounded by one or more cladding layers. The present invention furthermore relates to an optical communication system comprising a transmitter, a receiver and a multimode optical fiber.

Abstract translation: 本发明涉及一种具有折射率分布的多模光纤，包括由一个或多个包覆层包围的导光芯。 本发明还涉及一种包括发射机，接收机和多模光纤的光通信系统。

公开(公告)号：US20140174133A1

公开(公告)日：2014-06-26

申请号：US14107259

申请日：2013-12-16

Applicant: Amanda Lee Billings ,  Liam Ruan de Paor ,  Robert Brett Desorcie ,  Robert Arnold Knowlton ,  Pushkar Tandon

Inventor： Amanda Lee Billings ,  Liam Ruan de Paor ,  Robert Brett Desorcie ,  Robert Arnold Knowlton ,  Pushkar Tandon

IPC: C03B37/014 ,  G02B6/036

CPC classification number: C03B37/01446 ,  C03B37/014 ,  C03B37/01413 ,  C03B37/01453 ,  C03B2201/08 ,  C03B2201/20 ,  C03B2201/28 ,  C03B2201/31 ,  C03B2201/32 ,  C03B2201/40 ,  C03B2201/42 ,  C03B2203/22 ,  C03B2207/36 ,  G02B6/036

Abstract: Methods for forming optical fiber preforms are disclosed. According to one embodiment, a method for forming an optical fiber preform includes forming a preform core portion from silica-based glass soot. The silica-based glass soot may include at least one dopant species for altering an index of refraction of the preform core portion. A selective diffusion layer of silica-based glass soot may be formed around the preform core portion to form a soot preform. The selective diffusion layer may have an as-formed density greater than the density of the preform core portion. A diffusing species may be diffused through the selective diffusion layer into the preform core portion. The soot preform may be sintered such that the selective diffusion layer has a barrier density which is greater than the as-formed density and the selective diffusion layer prevents diffusion of the at least one dopant species through the selective diffusion layer.

Abstract translation: 公开了形成光纤预制棒的方法。 根据一个实施例，用于形成光纤预制棒的方法包括从二氧化硅基玻璃烟炱形成预制芯部分。 二氧化硅基玻璃烟炱可以包括至少一种用于改变预制核心部分的折射率的掺杂物种类。 二氧化硅基玻璃烟炱的选择性扩散层可以在预制核心部分周围形成，以形成烟炱预制件。 选择性扩散层可以具有大于预制核心部分的密度的形成密度。 扩散物质可以通过选择性扩散层扩散到预制核心部分中。 烟炱预制件可以烧结，使得选择性扩散层具有大于形成密度的势垒密度，并且选择性扩散层防止至少一种掺杂剂物质通过选择性扩散层的扩散。

公开(公告)号：US08629071B2

公开(公告)日：2014-01-14

申请号：US13761881

申请日：2013-02-07

Applicant: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.

Inventor： Shigeru Maida ,  Hisatoshi Otsuka

IPC: C03C3/06 ,  C03C3/04

CPC classification number: G03F1/22 ,  C03B19/1423 ,  C03B2201/20 ,  C03B2201/42 ,  C03C3/06 ,  C03C4/0085 ,  C03C2201/20 ,  C03C2201/42 ,  Y02P40/57

Abstract: A titania and sulfur co-doped quartz glass member is provided. Due to co-doping of titania and sulfur, the quartz glass member undergoes zero expansion at a certain temperature and low thermal expansion over a wide temperature range, and is thus suited for use in a commercial EUV lithography tool. A manufacturing method and an optical member for EUV lithography are also provided.

Abstract translation: 提供二氧化钛和硫共掺杂石英玻璃构件。 由于二氧化钛和硫的共掺杂，石英玻璃构件在宽温度范围内在一定温度下经历零膨胀和低热膨胀，因此适用于商业EUV光刻工具。 还提供了用于EUV光刻的制造方法和光学构件。

公开(公告)号：US08546283B2

公开(公告)日：2013-10-01

申请号：US13531928

申请日：2012-06-25

Applicant: Junko Miyasaka ,  Akio Koike ,  Tomonori Ogawa

Inventor： Junko Miyasaka ,  Akio Koike ,  Tomonori Ogawa

IPC: C03C3/06 ,  C03C3/076 ,  C03C3/112

CPC classification number: C03C3/06 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C03B19/1415 ,  C03B19/1453 ,  C03B19/1461 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/42 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/44 ,  C03C2203/54 ,  G02B5/0891 ,  G03F1/24

Abstract: The present invention relates to a substrate for EUV lithography optical member, comprising a silica glass containing TiO2, in which the substrate has two opposite surfaces, and the substrate has temperatures at which a coefficient of linear thermal expansion (CTE) is 0 ppb/° C. (Cross-Over Temperature: COT), and in which the two opposite surfaces have difference in the COTs of 5° C. or more.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于EUV光刻光学部件的基板，其包括含有二氧化钛的二氧化硅玻璃，其中该基板具有两个相对的表面，该基板具有线性热膨胀系数（CTE）为0ppb /°的温度 C.（交叉温度：COT），其中两个相对表面的COT值在5℃以上有差异。