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公开(公告)号:CN113021179A
公开(公告)日:2021-06-25
申请号:CN202011516859.X
申请日:2020-12-21
Applicant: 东和株式会社
Abstract: 本发明提供一种研削机构及研削装置。本发明在对于研削对象物的粗研削及精研削中使平坦度一定,包括:多个平台(2),将板状的研削对象物(W)加以保持;至少一个粗研削部(4),对研削对象物(W)进行粗研削;以及至少一个精研削部(5),对研削对象物(W)进行精研削;并且在多个平台(2)的每一个上,粗研削部(4)及精研削部(5)构成为能够移动。
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公开(公告)号:CN113021104A
公开(公告)日:2021-06-25
申请号:CN202011517322.5
申请日:2020-12-21
Applicant: 东和株式会社
Abstract: 本发明提供一种研削机构及研削装置。本发明在对于研削对象物的粗研削及精研削中使平坦度一定,包括:平台(2),将板状的研削对象物(W)加以保持;平台移动部(3),使平台(2)沿着一方向而在规定的范围内进行直线往复移动;粗研削部(4),在利用平台移动部(3)的研削对象物(W)的移动范围内移动,对研削对象物(W)进行粗研削;以及精研削部(5),在利用平台移动部(3)的研削对象物(W)的移动范围内移动,对研削对象物(W)进行精研削。
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