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公开(公告)号：WO2011105873A2
公开(公告)日：2011-09-01
申请号：PCT/KR2011/001400
申请日：2011-02-28
IPC: H01L21/3065 , H01L21/8247 , H01L27/115
CPC classification number: H01J37/32146 , H01J37/32091 , H01J37/32706 , H01L43/12
Abstract: 펄스 플라즈마의 DC 파워 인가에 따른 동기화 제어 방법이 개시된다. 본 발명에 의한 펄스 플라즈마의 DC 파워 인가에 따른 동기화 제어 방법은 RF 펄스 파워의 온/오프 주기에 맞추어 DC 파워를 마이너스(-) 파워 주기 및 플러스(+) 파워 주기가 조절되도록 인가함으로써 각 공정에 적합한 플라즈마를 형성하여 공정 효율을 극대화할 수 있다.
Abstract translation: 公开了一种在施加脉冲等离子体的直流电力时控制同步的方法。 根据本发明的施加脉冲等离子体的直流电力时的控制同步的方法包括根据RF脉冲功率的接通/关断周期施加直流电力，使得负（ - ）功率周期和加（+）功率周期可以 从而产生适合于每个工艺的等离子体并实现最大化的工艺效率。
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公开(公告)号：KR101786241B1
公开(公告)日：2017-10-18
申请号：KR1020150177034
申请日：2015-12-11
Applicant: 현대자동차주식회사 , 성균관대학교산학협력단
CPC classification number: B60W30/19 , B60W10/08 , B60W10/11 , B60W30/188 , B60W2510/083 , B60W2710/081 , B60W2710/1005 , F16H61/04 , F16H2061/0429
Abstract: 본발명전기차변속기제어방법은, 컨트롤러가상위변속단으로부터하위변속단으로다운쉬프트가필요하다고판단하면, 현재의모터토크에따라상기모터가발휘할소정의여유토크를확보하도록하는토크확보단계와; 상기컨트롤러가상기상위변속단보다낮은변속비를가진서보기어쌍중 서보구동기어와입력축사이에마찰력을인가할수 있도록설치된서보클러치로마찰력을발생시키는슬립제어단계와; 상기슬립제어단계개시후, 상기컨트롤러가상기상위변속단의동기장치를해제하여중립상태로전환하는중립전환단계와; 상기중립전환단계이후, 상기컨트롤러가상기토크확보단계에서확보된모터의여유토크를활용하여상기모터의회전속도를상기하위변속단의목표속도에동기시키는모터동기단계와; 상기모터동기단계개시후, 상기컨트롤러가상기하위변속단의동기장치를체결하는기어체결단계와; 상기기어체결단계이후, 상기컨트롤러가상기서보클러치를해제하여변속을완료하는클러치해제단계를포함하여구성된다.
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公开(公告)号：KR101364364B1
公开(公告)日：2014-02-19
申请号：KR1020100017864
申请日：2010-02-26
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: H01L21/205
Abstract: 본 발명은 반도체 기판 및 이의 제조 방법에 관한 것으로, 본 발명은 저온에서 반도체막의 증착이 이루어져, 결정질 및 비정질이 혼재된 반도체막을 형성할 수 있는 반도체 기판 및 이의 제조 방법을 제공한다.
따라서, 전기적 특성이 우수한 결정질 비정질이 혼재된 반도체막을 형성하는 것이 가능하다.-
公开(公告)号：KR1020110037352A
公开(公告)日：2011-04-13
申请号：KR1020090094760
申请日：2009-10-06
Applicant: 성균관대학교산학협력단
CPC classification number: C01B32/168 , B82B1/00 , B82B3/0009 , C01G55/004 , H01J2201/30469
Abstract: PURPOSE: Carbon nano-tube and a method for manufacturing the same are provided to increase the state density of electrons around Fermi level and lower a work function by combining ruthenium nano-particles with the wall of the carbon nano-tube. CONSTITUTION: A method for manufacturing carbon nano-tube includes the following: Ruthenium dioxide powder is deposited on carbon nano-tube. The deposited ruthenium dioxide powder is reduced to form ruthenium nano-particles. The carbon nano-tube is directly grown on a substrate on which a buffer layer and a seed layer are formed. The buffer layer is formed based on one selected from a group including SiO_2, Al_2O_3, and MgO. The seed layer is formed based on one metal selected from a group including nickel, iron, and cobalt.
Abstract translation: 目的：提供碳纳米管及其制造方法，以通过将钌纳米颗粒与碳纳米管的壁结合来增加费米能级周围的电子的状态密度并降低功函数。 构成：制造碳纳米管的方法包括：二氧化二氮粉末沉积在碳纳米管上。 沉积的二氧化钌粉末被还原以形成钌纳米颗粒。 碳纳米管直接生长在其上形成有缓冲层和种子层的基板上。 基于选自包括SiO_2，Al_2O_3和MgO的组中的一种形成缓冲层。 种子层基于选自包括镍，铁和钴的一种金属形成。
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公开(公告)号：KR1020090011818A
公开(公告)日：2009-02-02
申请号：KR1020070075785
申请日：2007-07-27
Applicant: 성균관대학교산학협력단
CPC classification number: H01J1/304 , B82Y40/00 , H01J9/025 , H01J2201/30469
Abstract: A density controlled carbon nanotube field emission source, a preparation method thereof, and a density control method of carbon nanotube are provided to improve the structural stability by lowering the density of the carbon nano tube layer. A buffer layer(110) is formed on the top of the substrate(100). A catalyst layer(120) is formed on the top of the buffer layer. The buffer layer is formed of the chrome(Cr), the tantalum(Ta), and the titanium(Ti) or their alloy. The catalyst layer is formed of the nickel(Ni), the iron(Fe), and the cobalt(Co) or their alloy. The carbon nanotube is perpendicularly grown up on the catalyst layer using the direct current plasma assisted chemical vapor deposition under the hydrocarbon gas environment including the methane gas, the acetylene gas or the ethylene gas. The substrate including carbon nanotube is dipped in the carbon nanotube tip process solution in 5 to 10 minutes. The carbon nanotube tip process solution is removed from the carbon nanotube or the substrate.
Abstract translation: 提供密度控制的碳纳米管场发射源，其制备方法和碳纳米管的密度控制方法，以通过降低碳纳米管层的密度来提高结构稳定性。 在衬底（100）的顶部上形成缓冲层（110）。 催化剂层（120）形成在缓冲层的顶部。 缓冲层由铬（Cr），钽（Ta）和钛（Ti）或它们的合金形成。 催化剂层由镍（Ni），铁（Fe）和钴（Co）或它们的合金形成。 在包括甲烷气体，乙炔气体或乙烯气体在内的烃气体环境下，使用直流等离子体辅助化学气相沉积，在催化剂层上垂直生长碳纳米管。 将包含碳纳米管的基板在5〜10分钟内浸渍在碳纳米管尖端处理液中。 从碳纳米管或基材除去碳纳米管尖端工艺溶液。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020170070326A
公开(公告)日：2017-06-22
申请号：KR1020150177015
申请日：2015-12-11
Applicant: 현대자동차주식회사 , 성균관대학교산학협력단
Abstract: 본발명차량변속기는, 3개의회전요소중 하나의회전요소가고정된제1유성기어장치와; 상기제1유성기어장치와동심축을이루어배치되고 3개의회전요소들중 하나의회전요소가상기제1유성기어장치의고정되지않은회전요소와직결된제2유성기어장치와; 상기제1유성기어장치의고정되지않은나머지한 회전요소와상기제2유성기어장치의다른한 회전요소사이를연결하거나차단할수 있도록구비된마찰클러치와; 상기제1유성기어장치의회전요소와직결된상기제2유성기어장치의회전요소의회전을구속할수 있도록구비된브레이크를포함하여구성된다.
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公开(公告)号：KR100891466B1
公开(公告)日：2009-04-01
申请号：KR1020070075785
申请日：2007-07-27
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 탄소나노튜브의 밀도제어방법, 이를 이용한 밀도가 제어된 탄소나노튜브 전계방출원 및 이의 제조방법에 관한 것이다. 보다 상세하게, 본 발명은 기판 상에 형성된 탄소나노튜브를 탄소나노튜브 팁처리 용액으로 처리하는 단계를 포함하는 탄소나노튜브의 밀도제어방법, 및 이를 이용한 탄소나노튜브 전계방출원의 제조방법을 제공한다. 또한 본 발명은 기판; 기판 상에 형성되고, 탄소나노튜브 팁처리 용액으로 처리된 탄소나노튜브층; 및 탄소나노튜브 층의 상부에 형성된 금속층을 포함하는 탄소나노튜브 전계방출원을 제공한다.
본 발명에 따르면, 적은 비용과 간단한 용액처리공정만으로도 탄소나노튜브의 팁부분이 모인 집합체들로 이루어진 구조를 통하여 탄소나노튜브층 말단의 밀도를 낮게 제어한다. 또한, 동시에 구조적으로도 안정하여 전자방출능이 우수하다.
탄소나노튜브, 전계방출원, 밀도, 용액처리, 금속층-
公开(公告)号：KR1020110098199A
公开(公告)日：2011-09-01
申请号：KR1020100017680
申请日：2010-02-26
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: H01L21/3065 , H01L21/8247 , H01L27/115
CPC classification number: H01J37/32146 , H01J37/32091 , H01J37/32706 , H01L43/12 , H01L21/67063
Abstract: 본 발명은 식각 방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, RF 파워를 온 주기 및 오프 주기를 반복하고, 기재(substrate)에 상기 온 주기 및 오프 주기에 대응하여 각각 마이너스 파워 주기 및 플러스 파워 주기를 반복하여 상기 기재 상의 피식각물을 식각하는 식각 방법이 제공된다.
Abstract translation: 蚀刻方法技术领域本发明涉及蚀刻方法。 根据本发明，重复的RF电源接通周期和关断周期，响应于所述导通周期和截止周期，其中，所述基体材料（基材）的每个重复负功率周期和在衬底上蚀刻的蚀刻gakmul的正功率周期 提供蚀刻方法。
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公开(公告)号：KR101755935B1
公开(公告)日：2017-07-10
申请号：KR1020150177015
申请日：2015-12-11
Applicant: 현대자동차주식회사 , 성균관대학교산학협력단
Abstract: 본발명차량변속기는, 3개의회전요소중 하나의회전요소가고정된제1유성기어장치와; 상기제1유성기어장치와동심축을이루어배치되고 3개의회전요소들중 하나의회전요소가상기제1유성기어장치의고정되지않은회전요소와직결된제2유성기어장치와; 상기제1유성기어장치의고정되지않은나머지한 회전요소와상기제2유성기어장치의다른한 회전요소사이를연결하거나차단할수 있도록구비된마찰클러치와; 상기제1유성기어장치의회전요소와직결된상기제2유성기어장치의회전요소의회전을구속할수 있도록구비된브레이크를포함하여구성된다.
Abstract translation: 根据本发明的车辆变速器包括：第一行星齿轮装置，三个旋转元件中的一个固定到该第一行星齿轮装置; 和所述第一行星齿轮组和设置同心于轴线，并提出了虚拟基旋转元件1，第二行星齿轮组的行星齿轮装置的直接和非固定旋转元件的三个旋转元件; 一种摩擦离合器，用于连接或断开第一行星齿轮组的另一个未旋转的旋转元件和第二行星齿轮组的另一个旋转元件; 并且设置制动器以限制直接连接到第一行星齿轮组的旋转元件的第二行星齿轮组的旋转元件的旋转。
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公开(公告)号：KR1020170070327A
公开(公告)日：2017-06-22
申请号：KR1020150177034
申请日：2015-12-11
Applicant: 현대자동차주식회사 , 성균관대학교산학협력단
CPC classification number: B60W30/19 , B60W10/08 , B60W10/11 , B60W30/188 , B60W2510/083 , B60W2710/081 , B60W2710/1005 , F16H61/04 , F16H2061/0429
Abstract: 본발명전기차변속기제어방법은, 컨트롤러가상위변속단으로부터하위변속단으로다운쉬프트가필요하다고판단하면, 현재의모터토크에따라상기모터가발휘할소정의여유토크를확보하도록하는토크확보단계와; 상기컨트롤러가상기상위변속단보다낮은변속비를가진서보기어쌍중 서보구동기어와입력축사이에마찰력을인가할수 있도록설치된서보클러치로마찰력을발생시키는슬립제어단계와; 상기슬립제어단계개시후, 상기컨트롤러가상기상위변속단의동기장치를해제하여중립상태로전환하는중립전환단계와; 상기중립전환단계이후, 상기컨트롤러가상기토크확보단계에서확보된모터의여유토크를활용하여상기모터의회전속도를상기하위변속단의목표속도에동기시키는모터동기단계와; 상기모터동기단계개시후, 상기컨트롤러가상기하위변속단의동기장치를체결하는기어체결단계와; 상기기어체결단계이후, 상기컨트롤러가상기서보클러치를해제하여변속을완료하는클러치해제단계를포함하여구성된다.
Abstract translation: 转矩确保步骤，当控制器确定需要从上档位降档到下档位时，根据当前电动机转矩确保由电动机施加的预定允许转矩; 滑动控制步骤，使控制器与变速比低于上变速级的一对伺服齿轮的伺服驱动齿轮产生摩擦力;以及伺服离合器，安装成向输入驱动轴施加摩擦力; 在打滑控制步骤开始之后，控制器释放上齿轮级的同步装置以切换到空挡状态; 电动机同步步骤，使用在所述中性转换步骤之后在所述转矩确保步骤中获得的所述电动机的裕量转矩，使所述电动机的转速与所述下变速级的目标速度同步; 在所述电机同步步骤开始之后，所述控制器接合所述较低变速级的同步器的齿轮接合步骤; 并且在齿轮接合步骤之后释放伺服离合器以完成换档的离合器释放步骤。
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