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公开(公告)号:WO2017086591A1
公开(公告)日:2017-05-26
申请号:PCT/KR2016/010905
申请日:2016-09-29
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본 발명은 생체신호 측정 가능한 스마트 밴드(SMART BAND)용 유연기판(FPCB) 모듈에 관한 것으로, 전원공급용 초소형 배터리와, 적어도 피부습도, 체온, 맥박 신호를 각각 검출하기 위한 생체신호 검출 센서들과, 동적 움직임 신호를 검출하기 위한 움직임 검출 센서와, 상기 센서들에서 각각 검출되는 신호를 증폭 및 디지털 변환하여 센서검출신호로 출력하기 위한 신호 처리부와, 디지털 변환된 상기 센서검출신호를 무선 통신 규격에 따라 처리하여 전송하는 무선 통신부를 포함하되, 상기 초소형 배터리, 상기 생체신호 검출 센서들, 상기 움직임 검출 센서, 상기 신호 처리부 및 상기 무선 통신부는 유연기판에 실장되어 전기적 배선을 통해 상호 연결됨을 특징으로 한다.
Abstract translation: 用于智能带的柔性基板(FPCB)模块技术领域本发明涉及用于能够测量生物信号的智能带的柔性基板(FPCB)模块,包括:用于供电的超小型电池; 信号处理单元,用于放大并数字转换由传感器检测到的信号并输出该信号作为传感器检测信号; 微电池,生物信号检测传感器,运动检测传感器,信号处理单元和无线通信单元安装在柔性基板上, Lt; p>
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公开(公告)号:WO2020111455A1
公开(公告)日:2020-06-04
申请号:PCT/KR2019/010885
申请日:2019-08-27
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: FSR 센서 기반 심박 모니터링 장치 및 방법이 제공된다. 본 발명의 실시예에 따른 심박 모니터링 장치는, FSR 센서 기반 심박 모니터링에 의해 조명과 태양광에 강인한 심박 모니터링이 가능해지며, FSR 센서에 의한 미세한 세기의 측정 신호 문제는 증폭과 필터링에 의해 해결할 수 있다.
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公开(公告)号:WO2018043792A1
公开(公告)日:2018-03-08
申请号:PCT/KR2016/011317
申请日:2016-10-10
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 마이크로 가스 센서 및 마이크로 가스 센서 모듈이 개시된다. 마이크로 가스 센서는 기판, 제1 멤브레인과 제2 멤브레인, 히터 전극 패턴과 온도 센서 패턴, 절연 막, 감지 전극 패턴 및 감지 막을 포함한다. 따라서, 본 발명에 의하면, 마이크로 가스 센서가 최적의 감도를 유지하도록 할 수 있다.
Abstract translation: 公开了微型气体传感器和微型气体传感器模块。 微型气体传感器包括基板,第一膜和第二膜,加热器电极图案和温度传感器图案,绝缘膜,感测电极图案和感测膜。 因此,根据本发明,微型气体传感器可以保持最佳灵敏度。 P>
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公开(公告)号:WO2011115321A1
公开(公告)日:2011-09-22
申请号:PCT/KR2010/001928
申请日:2010-03-30
CPC classification number: G01N27/12
Abstract: 마이크로 가스센서 어레이가 개시된다. 일 실시예에 따른 마이크로 가스센서 어레이는 기판 상면의 제1 멤브레인 상에 형성되는 제1 마이크로 히터 어레이 그룹과 상기 제1 마이크로 히터 어레이 그룹과 이웃하는 제2 마이크로 히터 어레이 그룹과, 제1 마이크로 히터 어레이 그룹과 제2 마이크로 히터 어레이 그룹을 열적으로 분리시키는 제2 멤브레인 및 마이크로 히터 어레이 그룹 상부에 형성된 감지전극을 포함한다. 일 실시예에 따르면 가스센서 어레이 소자의 크기의 소형화, 구동 소비전력 절감, 열적 안정성, 신뢰성, 구조적인 안정성 등을 향상시킬 수 있다.
Abstract translation: 公开了一种微气体传感器阵列。 根据一个实施例的微气体传感器阵列包括:形成在衬底的上表面上的第一膜上的第一微加热器阵列组; 与第一微加热器阵列组相邻的第二微加热器阵列组; 用于将第一微加热器阵列组与第二微加热器阵列组热分离的第二膜; 以及形成在微加热器阵列组的上部的感测电极。 根据本实施方式,能够降低气体传感器阵列装置的尺寸和驱动能力,能够提高热稳定性,可靠性和结构稳定性。
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公开(公告)号:KR1020170099479A
公开(公告)日:2017-09-01
申请号:KR1020160021580
申请日:2016-02-24
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01K7/16 , G01K1/08 , G01K13/00 , G01K1/14 , C08L79/08 , C08L67/03 , C08L33/12 , C08L83/04 , H01B1/02
Abstract: 본발명은고분자유연막으로도포되어유연하고피부에접촉시 바이오막이형성되어측정오차를유발하는것을막을수 있는웨어러블유연온도센서및 그제조방법에관한것으로, 보다상세하게본 발명은고분자유연기판을지지할지지대를준비하는단계; 상기지지대상부에고분자를도포하여고분자유연기판을형성하는단계; 상기고분자유연기판위에포토레지스터패턴을형성하는단계; 상기패터닝된포토레지스터위에 Ti 박막층및 금속박막저항체층을순차로증착시키는단계; 상기증착된금속박막저항체층를리프트-오프하여상기증착된금속박막저항체층만을잔존시키는단계; 상기금속박막저항체층상부의양단에패터닝된섀도우마스크로와이어본딩을위한전극패드를형성하는단계; 상기금속박막저항체층및 전극패드를감싸며형성되고, 고분자로도포하여고분자유연보호층을형성하는단계; 패터닝된마스크로상기전극패드상부의고분자유연보호층을식각하여제거하는단계; 및상기지지대를분리하는단계를포함하는웨어러블유연온도센서의제조방법및 웨어러블유연온도센서에관한것이다. 본발명의웨어러블유연온도센서및 그제조방법에따르면, 고분자유연막으로도포되어유연하고, 피부가금속박막에직접닿거나바이오막이형성되는것을막을수 있어, 금속박막이산화또는부식되는것을막고, 피부에접촉시 바이오막이형성되어측정오차를유발하는것을막을수 있다.
Abstract translation: 本发明中,更详细地说明本发明涉及一种可佩戴的灵活温度传感器及其制造方法,其能够停止灵活性被施加到聚合物yuyeonmak和在与皮肤接触而形成的生物膜引起的测量误差是支持聚合物柔性基板 准备支持; 通过在载体上涂覆聚合物来形成聚合物柔性基材; 在柔性聚合物基底上形成光刻胶图案; 在图案化的光刻胶上顺序沉积Ti薄膜层和金属薄膜电阻层; 抬起沉积的金属薄膜电阻器层并仅留下沉积的金属薄膜电阻器层; 在金属薄膜电阻器层部分的两端形成用于引线键合的电极焊盘,其中所述阴影掩模被图案化; 通过用聚合物涂覆金属薄膜电阻器层和电极垫来形成聚合物柔性保护层; 用图案化掩模蚀刻并去除电极焊盘上的聚合物柔性保护层; 本发明涉及一种可穿戴式柔性温度传感器和一种可穿戴式柔性温度传感器。 根据穿戴式柔性温度传感器,并且本发明的制造方法中,灵活性被施加到聚合物yuyeonmak,并且它可以停止在皮肤裸露的金属薄膜或生物薄膜形成,可以防止金属薄膜氧化钛或腐蚀,与皮肤接触 可以防止由于形成生物膜而引起的测量误差的发生。
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公开(公告)号:KR101339909B1
公开(公告)日:2013-12-10
申请号:KR1020120045450
申请日:2012-04-30
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본 발명의 마이크로폰 패키지는 멤스(MEMS) 마이크로칩과 특수목적형반도체(ASIC) 칩이 실장되어 있는 PCB기판과, 상기 PCB기판과 연결됨과 더불어 PCB기판에 실장된 부품을 보호하기 위한 수용공간이 형성된 금속 케이스로 이루어지는 마이크로폰 패키지에 있어서, 상기 금속 케이스의 일면에 형성된 음향홀, 상기 음향홀이 형성된 상기 금속 케이스 상면에 상기 음향홀을 통해 이물질이 삽입되는 것을 차단하기 위한 초소수성 마이크로 메쉬를 포함한다.
이를 통해 본 발명은 초소수성 마이크로 메쉬를 음향이 통과되는 홀에 부착함으로써 물이나 먼지 등을 차단할 수 있는 마이크로폰을 제작할 수 있는 효과가 있다.
또한 초소수성 마이크로 메쉬를 외부와 전기적 신호를 주고받는 접속단자 부분을 패키징하여 접속단자에 수분이 침투하지 못하도록 하는 효과가 있다.
또한 초소수성 마이크로 메쉬 표면에 물방울이 맺히면 메쉬 표면에 있는 먼지와 함께 씻겨지는 효과가 있어, 우천시 오히려 메쉬 표면이 세척되는 마이크로폰 패키지를 제작할 수 있는 효과가 있다.
또한 초소수성 마이크로 메쉬가 음향이 통과되는 홀에 부착되는 마이크로폰 패키지를 고정식 소음 측정기에 적용함으로써, 고속도로, 주요 국도, 도심의 도로 등에서 고정적으로 소음 측정이 가능한 저가의 마이크로폰을 이용한 소음 측정기를 제작할 수 있는 효과가 있다.-
公开(公告)号:KR101090739B1
公开(公告)日:2011-12-08
申请号:KR1020090037974
申请日:2009-04-30
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N27/12 , H01L21/203
Abstract: 반도체기판; 상기반도체기판상에형성되는마이크로히터층; 상기마이크로히터상에형성되는감지전극층; 상기감지전극상부에형성되는감지물질층을포함하고, 상기감지물질층은상기감지전극층상에미리형성된촉매층을이용하여상기감지전극층상에직접성장되어형성되는것을특징으로하는마이크로가스센서및 그제조방법을제공한다.
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公开(公告)号:KR1020100082512A
公开(公告)日:2010-07-19
申请号:KR1020090001849
申请日:2009-01-09
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: PURPOSE: A gas sensor and a method of manufacture thereof is provided to manufacture a gas sensor having fast response speed and high reproducibility. CONSTITUTION: A gas sensor comprises an insulating layer(120), a restored metal sensitizer(130), a source electrode(140) and a drain electrode(150). The insulating layer is formed on a substrate(110). The metal sensitizer comprises metal and the restored carbon nanotube. The restored metal is formed on the insulating layer and senses gas. The substrate is composed of the silicon substrate. The insulating layer comprises the silicon oxide film.
Abstract translation: 目的:提供气体传感器及其制造方法,以制造具有快速响应速度和高再现性的气体传感器。 构成:气体传感器包括绝缘层(120),恢复的金属敏化剂(130),源电极(140)和漏电极(150)。 绝缘层形成在基板(110)上。 金属敏化剂包括金属和还原的碳纳米管。 恢复的金属形成在绝缘层上并感测气体。 基板由硅基板构成。 绝缘层包括氧化硅膜。
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公开(公告)号:KR1020070058759A
公开(公告)日:2007-06-11
申请号:KR1020050117423
申请日:2005-12-05
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: A device and a package for analyzing a solution component and a method of manufacturing the same are provided to rapidly flow a solution to a reaction channel groove and to increase speed at which a solution is analyzed. A micro analyzing device includes a lower substrate(100) having a channel groove to allow a solution to flow to be mixed with each other and to allow light to transmit the mixed solution and an upper substrate(200) connected to the upper part of the lower substrate. The lower substrate of the micro analyzing device includes injection hole grooves for receiving a plurality of solutions to be injected, micro piezoelectric pumps connected to the injection hole grooves to pump the solutions, a reaction channel groove connected to the micro piezoelectric pumps to mix the solutions pumped by the micro piezoelectric pumps with each other and to make the mixed solutions react to each other, a measuring channel groove, a discharge hole groove for discharging the solutions transmitting the measuring channel groove, and optical fiber insertion grooves formed on both ends of the measuring channel groove formed thereon.
Abstract translation: 提供了一种用于分析溶液成分的装置和包装及其制造方法,以迅速将溶液流向反应通道槽并提高分析溶液的速度。 微分析装置包括具有通道槽的下基板(100),以允许溶液流动以彼此混合并且允许光透射混合溶液;以及上基板(200),其连接到所述上基板 下基板。 微分析装置的下基板包括用于接收多个待注射溶液的注入孔槽,连接到喷孔槽的微型压电泵以泵送溶液;连接到微型压电泵的反应通道槽,以混合溶液 通过微型压电泵彼此泵送并使混合溶液相互反应,测量通道槽,用于排出透过测量槽槽的溶液的排出孔槽和形成在两端的光纤插入槽 测量沟槽形成在其上。
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