Abstract:
본 발명은 표면장력을 이용한 미세관 제작 방법 및 그 미세관에 관한 것으로, 특히 액체 상태의 폴리머 및 고체 상태의 폴리머를 이용하여 다양한 면적 및 형상의 단면을 갖는 미세관을 화학적 오염의 우려 없이 간편하게 제작할 수 있는 방법에 관한 것이다. 본 발명은 액체 상태 폴리머 및 고체 상태 폴리머 간의 표면 장력을 이용한 미세관 제작 방법으로서, 상기 액체 상태 폴리머 내부의 응집력 보다 상기 액체 상태 폴리머와 상기 고체 상태 폴리머간의 부착력이 더 큰 성질을 이용한다. 본 발명에 따른 표면장력을 이용한 미세관 제작 방법에 의하면, 원형, 타원형 등 다양한 단면을 가진 미세관을 제작할 수 있어서, 미세관 단면의 형상으로 인해 유체 흐름이 제한받지 않으며, 화학 용액을 사용하지 않음으로써 미세관 내의 화학적 오염을 방지할 수 있어서, 생명 공학 및 센서 공학 등의 분야에 널리 사용될 수 있다. 또한, 짧은 시간에 원하는 단면 모양을 갖는 미세관을 제작할 수 있으며, 상기 미세관의 단면적 또한 편리하게 조절가능하다.
Abstract:
본 발명은 세포를 손상 없이 효율적으로 분리할 수 있는 세포 분리 시스템에 관한 것으로, 특히, 초음파장 및 진행파 유전영동을 이용하여 세포의 선별 및 분리를 수행하는 초미세 세포 분리 시스템에 관한 것이다. 본 발명에 의한 초음파장 및 진행파 유전영동을 이용한 세포 분리 시스템에 의하면, 별도의 채널을 이용하지 않고 평면상에서 세포를 이송하므로, 채널로 인한 초음파장의 형성의 방해를 없앨 수 있으며, 세포에 대한 손상이 전혀 발생하지 않는다. 또한, 유체의 이동 없이 세포만 이동시키므로, 세포 이송 및 분리의 효율이 높다. 또한, 세포 분리 과정을 CCD 카메라 등을 통해 관찰하면서, PID 제어를 수행함으로써 보다 효과적으로 세포 분리를 할 수 있다. 또한, 본 발명에 의해 세포를 오염 물질 등으로부터 효과적으로 분리하거나 새로운 랩 온 칩(Lab On a Chip) 시스템을 생성할 수 있다.
Abstract:
본 발명은 탄소나노튜브를 이용한 가스센서 제작 및 가스 감도 측정 장치를 제공하는 것에 관한 것이다. 가스센서 제작에 있어서, 가스 감지물질은 탄소나노튜브 페이스트를 제작하여 양 끝단에 전극이 형성된 기판에 스크린 인쇄(screen printing)법으로 탄소나노튜브를 도포 후 열처리공정을 거친 후 탄소나노튜브 후막을 형성하였고, 상기 제작된 후막을 탄소나노튜브 수직 배향처리 시켰다. 가스 감도 측정 장치를 이용하여 상기 제작된 수직 배향된 탄소나노튜브를 가스 흡착시켰고, 전자방출(field electron emission) 현상을 적용시켜 흡착된 가스를 탈착시켰다. 따라서, 본 발명은 기존의 반도체형 가스센서보다 단순한 공정으로 가스 감지막을 제작하여 흡착된 가스를 히터물질로 온도를 올려 탈착 시키는 것이 아니라 새로운 방법인 탄소나노튜브 전자방출 현상을 적용시켰다. 탄소나노튜브, 가스센서, 가스감도, 전자방출
Abstract:
본 발명은 랩온어칩(lab-on-a-chip)에 관한 것으로, 특히 전면 발광을 하는 박막 구조의 광원 또는 고휘도 발광 다이오드 배열의 광원을 이용하여 랩온어칩의 소형화를 달성할 수 있는 전면 발광 광원을 이용한 랩온어칩에 관한 것이다. 이를 위해, 본 발명에 의한 랩온어칩은 높은 광량 및 전면 발광이 가능한 박막 구조의 유기 발광 다이오드 또는 탄소 나노 튜브 램프나, 박막 구조는 아니지만 이와 동일한 기능을 갖는 고휘도 발광 다이오드 배열 광원을 이용하여, 이 광원과, 박막 형태의 광학 필터와, 형광 검출 센서를 적층 구조로 형성함으로써, 소형화를 구현함과 동시에 마이크로 채널에서의 센서 위치와 광원의 입사 위치를 정렬시키는 불편함을 제거하는 랩온어칩을 제공한다. 랩온어칩, 전면 발광 광원, 광학 필터, 마이크로 채널
Abstract:
본 발명은 세포 분리를 위한 시스템 및 방법에 관한 것으로, 마그네틱 비드가 결합된 특정 세포의 혼합액을 물방울 형태의 셀 서스펜션으로 형성하고 자계를 인가하여 효율적으로 세포를 분리하는, 물방울형 셀 서스펜션을 이용한 세포 분리 장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명에 의한 물방울형 셀 서스펜션을 이용한 세포 분리 장치는 마그네틱 비드(bead)가 결합된 특정 세포가 수용액과 혼합되어 있는 세포 혼합액을 물방울형 셀 서스펜션(cell suspension)으로 생성시키는 셀 서스펜션 생성부; 상기 세포 혼합액을 상기 셀 서스펜션 생성부에 공급하는 셀 서스펜션 주입부; 상기 물방울형 셀 서스펜션에 자계를 인가하는 자석부; 상기 물방울형 셀 서스펜션의 온도를 유지해주는 온도유지부; 및 상기 특정 세포가 분리된 세포 혼합액 또는 수용액을 외부로 배출시키는 배출부를 포함한다.
Abstract:
본 발명은 이중 광반사 구조물, 상기 이중 광반사 구조물의 제조 방법 및 상기 이중 광반사 구조물을 이용한 미세 세포 관찰 장치에 관한 것으로, 특히, 엑스레이를 광반사용 기판에 조사(irradiate)하여 경사 식각하는 방법으로 제조된 이중 광반사 구조물, 그 제조 방법 및 상기 이중 광반사 구조물을 이용하여 세포의 배면 영상 및 측면 영상을 얻을 수 있는 미세 세포 관찰 장치에 관한 것이다. 하나의 광반사용 기판에 엑스레이를 비스듬하게 조사하여 식각함으로써, 완전히 평행한 광반사면을 갖는 이중 광반사 구조물로 구현할 수 있으며, 상기 이중 광반사 구조물을 미세 세포 관찰 장치에 이용함으로써, 세포 조작시 조작 대상 세포를 입체적으로 인식할 수 있으므로, 세포 조작에 드는 시간 및 비용을 경감시키며, 보다 정확한 세포 조작이 가능하다.
Abstract:
PURPOSE: An electrostatic heat junction method of a semiconductor substrate is provided to adhere one silicon substrate to the other silicon substrate or one silicon substrate to a glass substrate under a low temperature and a low voltage by using an electron beam deposition device having a high depositing speed. CONSTITUTION: A power supply portion(2) is used for applying a supply voltage to an N type silicon substrate(1) and a silicon substrate(2) including a glass film. A heating portion(4) is used for heating the silicon substrate(2) including the glass film according to a control operation of a thermal control portion(5). The N type silicon substrate(1) and the silicon substrate(2) including the glass film are adhered to each other by applying the voltage and the heat the N type silicon substrate(1) and the silicon substrate(2) including the glass film.
Abstract:
PURPOSE: A device using a tip-shaped reflector and its manufacturing method are provided to reflect the edge emission in an electroluminescent display device. CONSTITUTION: An electroluminescent display device comprises a tip-shaped reflector(10), a lower insulating layer(20), a luminescence layer(30), an upper insulator layer(40), and a rear electrode layer(50). The tip-shaped reflector is selected from the group consisting of Si, poly-Si, Mo, Cr, Ta W and Ti. The luminescence layer is selected from a group consisting of ZnS, SrS, CaS, CaGa2S4, SrGaS4 and BaGa2S4. The upper and lower insulator layers are selected from the group consisting of SiOxNy, SiO2, Si3N4, TiO2, BaTa2O6, Al2O3, BaTiO3 and SrTiO3. The method of forming the device comprises the steps of: growing an oxide film on the base substrate; patterning by using the oxide film; etching the silicon substrate to make the tip-shaped reflector; stacking a lower insulating layer, a luminescence layer, an upper insulator layer, a rear electrode layer in sequence on the reflector layer; and removing the layers stacked on the reflector layer by the lift off technology.
Abstract translation:目的:提供一种使用尖端反射器的装置及其制造方法,以反映电致发光显示装置中的边缘发射。 构成:电致发光显示装置包括尖端反射器(10),下绝缘层(20),发光层(30),上绝缘体层(40)和后电极层(50)。 尖状反射体选自Si,Poly-Si,Mo,Cr,TaW和Ti。 发光层选自ZnS,SrS,CaS,CaGa2S4,SrGaS4和BaGa2S4。 上,下绝缘体层选自SiO x N y,SiO 2,Si 3 N 4,TiO 2,BaTa 2 O 6,Al 2 O 3,BaTiO 3和SrTiO 3。 形成器件的方法包括以下步骤:在基底衬底上生长氧化物膜; 通过使用氧化膜图案化; 蚀刻硅衬底以制造尖端形反射器; 在反射层上依次堆叠下绝缘层,发光层,上绝缘体层,后电极层; 并通过剥离技术去除堆叠在反射器层上的层。
Abstract:
본 발명은 전자선 증착된 막이나 스퍼터링된 막을 중간 삽입층으로 이용하여 실리콘 직접 접합 공정과, 이러한 직접 접합 공정을 이용하여 소자를 진공 실장하는 공정 및 실리사이드 제조 공정에 관한 것이다. 본 발명에 의할 경우, 종래 직접 접합 방법으로 접합할 수 없었던 금속 등의 막이나 실리콘 기판이 아닌 유리 기판 등의 다른 기판에 대해서도 접합이 가능하고, 이러한 직접 접합 방법을 이용하여 고진공을 요하는 진공 소자를 진공 실장할 수 있으며 또한, 내화성 금속 실리사이드를 산화되지 않게 형성할 수 있는 장점이 있다.
Abstract:
본 발명의 실리콘 전계방출소자의 제조방법은, 실리콘 기판 위에 제1산화막을 형성한 후 패터닝하는 공정과, 상기 패터닝된 제1산화막을 마스크로 하여 상기 실리콘 기판을 결정의존성 식각한 후 그 결과물 전면을 산하시켜 제2산화막을 형성하는 공정과, 상기 제2산하막 위에 금속막을 증착하는 공정과, 상기 결정의존성 식각된 영역의 제1, 제2산화막 및 금속막을 제거한 후 그 결과물 전면에 실리사이드를 자기정렬방식으로 형성할 수 있는 고융점 금속막을 증착하고 어닐링하여 실리사이드를 형성하는 공정을 포함하여 이루어지며, 상기와 같은 전자를 방출하기 위한 실리콘 팁에 실리사이드를 자기정렬하는 간단한 방법으로 실리콘 팁의 수명을 연장시킴과 아울러, 전자방출을 용이하게 할 수 있도록 함으로써 낮은 진공도를 유지해도 되므로 제조비 용을 감소시킬 수 있으며, 확산방지막을 이용하여 상기 실리사이드막의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.