公开(公告)号：KR100377476B1

公开(公告)日：2003-03-26

申请号：KR1019990024699

申请日：1999-06-28

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 정상돈 ,  강광용 ,  한석길 ,  이수재

IPC: H01S5/30

Abstract: PURPOSE: A laser molecular beam epitaxy(MBE) apparatus is provided in which an ion beam generator is set to easily control supply of active oxygen when a metal oxide is fabricated and an ion beam formed from various gases is irradiated on the surface of the metal oxide to change composition and structure thereof. CONSTITUTION: A laser MBE apparatus has a pressure gauge(12) and an external vacuum pump(11) and vaporizes a metal oxide target(1) with a high-power pulse laser beam at a low pressure to deposit a metal oxide on a substrate(2) heated by a heater(3). The laser MBE apparatus includes a gas flow rate adjustment controller(6) for receiving an electrical signal from the pressure gauge to control gas flow rates, a gas flow rate controller(7) for supplying gases such that the laser MBE apparatus has a desired inner vacuum degree when the metal oxide is deposited, an ion beam generation controller(5) attached to the outside of the MBE apparatus to control the speed of an ion beam, and an ion beam generator(4) set inside the MBE apparatus to ionize the gases inserted from the gas flow rate controller, generating the ion beam.

Abstract translation: 目的：提供一种激光分子束外延（MBE）装置，其中设置离子束发生器以便在制造金属氧化物时容易地控制活性氧的供应，并且由各种气体形成的离子束照射在金属表面上 氧化物以改变其组成和结构。 本发明的激光MBE设备具有压力计（12）和外部真空泵（11），并用高功率脉冲激光束在低压下蒸发金属氧化物靶（1）以在基底上沉积金属氧化物 （2）由加热器（3）加热。 激光MBE设备包括：用于接收来自压力计的电信号以控制气体流量的气体流量调节控制器（6）;用于供应气体的气体流量控制器（7），使得激光MBE设备具有期望的内部 在沉积金属氧化物时的真空度，安装在MBE设备外部以控制离子束速度的离子束产生控制器（5），以及设置在MBE设备内部的离子束发生器（4） 从气体流量控制器插入气体，产生离子束。

公开(公告)号：KR100301110B1

公开(公告)日：2001-09-06

申请号：KR1019980050207

申请日：1998-11-23

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 서정대 ,  한석길 ,  강광용

IPC: H01L39/24

Abstract: 본 발명은 스퍼터링 증착 장비에 관한 것으로, 증착실 분리대에 의해 증착영역과 가열영역으로 분리된 박막 증착실과, 증착실 분리대의 중앙부를 관통하도록 설치되며, 증착 분리대를 중심으로 기판을 회전시키기 위한 기판지지대와, 증착영역의 상하부에 각각 설치된 소결체 타겟과, 가열영역의 상하부에 각각 설치된 기판 가열기를 포함하여 이루어지며, 소결체 타겟과 기판간에 인가되는 고주파전력에 의해 발생된 플라즈마에 의해 회전하는 지름이 2 내지 3인치 크기의 MgO, SrTiO
3 , LaAlO
3 , Al
2 O
3 , LaSrGaO
4 대면적 산화물 단결정 기판의 양쪽면에 타겟물질이 증착되도록 구성된다.

公开(公告)号：KR1019970004300A

公开(公告)日：1997-01-29

申请号：KR1019950017176

申请日：1995-06-23

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 강광용 ,  한석길 ,  김제하 ,  안달

IPC: H03H7/00

Abstract: 본 발명은 마이크로 스트립 평행결합선 방식의 고온초전도 6-극 대역통과 필터에 관한 것으로서, 마이크로파 특성이 우수한 단결정 기관과, 상기 단결정기판 상부의 일측에 형성된 신호 전송용 입력단과, 상기 단결정기판 상부의 상기 신호 전송용 입력단의 타측에 형성된 출력단과, 상기 단결정기판 상부에 입력단과 출력단과 연결되도록 형성된 ㄱ자형의 정합망과, 상기 다결정기판 상부의 정합망 사이에 갯수에 의해 극수를 결정하는 6개의 마이크로 스트립이 평행결합선 방식으로 형성된 필터 패턴과, 상기 다결정기판 하부에 형성된 접지판을 포함한다. 따라서, 손실 특성을 저하시키지 않으면서 스커트 특성을 향상시킬 수 있다.

公开(公告)号：KR1019960019822A

公开(公告)日：1996-06-17

申请号：KR1019940030104

申请日：1994-11-16

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 강광용 ,  이상렬 ,  한석길 ,  안달

IPC: H01L39/12

Abstract: 본 발명은 마이크로파 통신시스템에 사용되는 핵심소자인 대역통과 필터의 일종이며, 새로운 산화물 재료인 고온초전도체의 박막과 필터의 설계이론 중 평행결합선 방식을 채택한 4-극 대역통과 필터로서, 마이크로파 영역(3-33GHz)에서의 성능이 매우 우수한 전송선 소자의 제조방법에 관한 것이다.
마이크로파 대역통과 필터 이론과 시뮬레이션으로 최적소자의 패턴을 설계하고, 이를 전사시킨 전자선 마스크를 이용한 포토 리소그래픽 공정과 적절한 식각공정을 통해, YBa
2 Cu
3 0
7-x /LaAlO
3 /Ti/Ag 구조의 12GHz용 대역 통과 필터를 제조하였다.
이러한 본 발명을 이용한 통신부품은 무손실, 무분산으로 신호처리가 가능하고 마이크로스트립 방식의 전송선 소자이므로 제조가 간단하다. 또한, 앞서 개발한 2-극 대역통과 필터보다 패턴의 크기는 약간 크지만, 시뮬레이션의 결과와도 잘 일치하고, 특히 입력신호의 통과 대역 양단의 저지대역(stop band) 가파르기 특성이 매우 우수하며, 통과대역은 0.5dB 이내의 삽입손실과 매우 평탄함(flatness)을 보여주었다.

公开(公告)号：KR100319760B1

公开(公告)日：2002-01-05

申请号：KR1019990061149

申请日：1999-12-23

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 김호영 ,  강광용 ,  이수재 ,  한석길

IPC: H01S3/08

Abstract: 본발명은무선통신기술에관한것으로, 특히고주파수레이저광원은향후의동영상무선멀티미디어서비스를위한밀리미터파무선전송시스템의기지국사이의광선로망에사용될것으로예측되고있는고주파수레이저광 발생기에관한것이다. 본발명은레이저광원의변조주파수영역을넓히고, 그구현이용이하면서도우수한성능을가지는초고주파수변조레이저광 발생기를제공하는데그 목적이있다. 본발명은링형광섬유레이저공진기와선형광섬유레이저공진기를 50% 광섬유결합기로결합하여공진기내에이중레이저모드를발진시켜두 레이저모드사이의맥놀이현상에의해초고주파수(최대 20GHz)로변조되는레이저광원이다. 두개의안정된레이저공진기에서이중모드의레이저가발진하여, 변조된고주파수레이저광원이발생되어나오며, 편광조절기에의한공진기내에서의이득의변화를이용하여발진되는레이저의변조주파수를가변(10MHz∼20GHz)시키는것이다.

公开(公告)号：KR100171020B1

公开(公告)日：1999-03-30

申请号：KR1019950054543

申请日：1995-12-22

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 김제하 ,  한석길 ,  강광용 ,  안달

IPC: H03H9/00

Abstract: 본 발명은 변형된 오픈 스터브-선 고온초전도 9-극 저역통과 필터에 관한 것으로, RF 및 마이크로파 특성이 우수한 단결정 기판과 상기 단결정 기판 상부의 양측 모서리에 형성된 신호 전송용 입출력단(gold pad 포함)과 상기 단결정 기판 상부의 상기 입력단과 출력단 사이에 신호의 전송에너지를 제어하거나 필터링하는 5개의 오픈스터브-선과 4개의 마이크로스트립-선으로 구성한 변형된 9-극 저역통과 필터의 회로패턴과, 상기 단결정 기판의 하부에 형성된 금속박막 접지평면을 포함 구성하여, 저역통과 필터의 극수를 9-극으로 증가시키는 반면, 회로패턴의 크기는 종전대로 15㎜×15㎜×0.5㎜t 로 함에 따라 통과대역에서의 맥류진폭도 매우 작아 평평도가 우수하고, 저지역대까지의 가파르기도 향상되어 저지대역을 증가시킬 수 있다.

公开(公告)号：KR1019980083796A

公开(公告)日：1998-12-05

申请号：KR1019970019248

申请日：1997-05-19

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 강광용 ,  김제하 ,  한석길

IPC: H01P11/00

Abstract: 본 발명은, 마이크로파용 고온초전도 4-극 대역통과 필터 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 초고주파 특성이 우수한 고온 초전도 에피택셜 박막 위에 실제로 설계 과정이나 소자 제조공정을 고려하여 마이크로스트립 폐루프형 공진기와 마이크로스트립 결합선을 집적하는 방식으로 구현하고, 저온 마이크로파 특성에 영향을 주지 않기 위해 입출력단에 금속 패드를 증착하며, 초전도성의 열화가 유도되는 것을 방지하기 위해 습식 식각 보다 건식 식각에 치중하는 식각 방식을 포함하는 고온 초전도 대역통과 필터 및 그 제조 방법이며, 신호를 거의 손실없이 통과시키고, 통과대역 양단의 저지대역에서는 스커트(skirt) 특성이 좋아서 효과적인 신호 전송 저지 기능과 잡음 제거 기능이 있다.

公开(公告)号：KR100146557B1

公开(公告)日：1998-12-01

申请号：KR1019950017177

申请日：1995-06-23

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 강광용 ,  한석길 ,  김제하

IPC: H03H7/00

Abstract: 본 발명은 마이크로스트립 오픈 스터브선 방식의 고온초전도 9-극 저역통과 필터에 관한 것으로서, 마이크로파 특성이 우수한 단결정기판과, 상기 단결정기판 상부의 일측 모서리에 형성된 신호 전송용 입력단과, 상기 단결정기판 상부의 신호 전송용 입력단이 형성된 일측 모서리의 반대인 타측 모서리에 형성된 신호 전송용 출력단과, 상기 단결정기판 상부의 상기 입력단과 출력단 사이에 신호의 진행 방향과 수직으로 형성되어 신호를 필터링하는 5개의 마이크로스트립 오픈 스터브선과, 상기 오프 스터브선과 수직을 이루도록 형성된 4개의 마이크로스트립으로 구성된 필터 패턴과, 상기 단결정기판의 하부에 형성된 접지평면(Ti/Ag)판을 포함한다.
따라서, 필터 패턴의 극수가 증가되므로 통과 대역에서의 맥류 진폭도 0.02dB 이내로 감소되어 통과대역에서의 편평도를 향상시킬 수 있으며, 또한, 저지대역까지의 스커트 특성 향상과 저지대역을 증가시킬 수 있다.

公开(公告)号：KR100135022B1

公开(公告)日：1998-05-15

申请号：KR1019940030615

申请日：1994-11-21

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 한석길 ,  강광용 ,  이상렬

IPC: H01R9/18 ,  H01R11/26

Abstract: 본 발명은 계측용 진공챔버에 부착시켜 사용하는 시리얼 커넥터로서 마이크로파 및 밀리미터파 측정을 위한 진공 챔버용 나사형 메일-메일 커넥터에 관한 것으로 측정용 저온 진공챔버에 쉽게 부착할 수 있으며, 케이블과 조임나사 사이의 간극을 없애고 완벽한 봉합을 위하여 10
-8 까지 진공도를 유지할 수 있는 진공용 에폭시를 사용한 접합부위를 형성하여 고주파 전송특성을 잘 유지시키도록 하기 위하여 미이크로스트립형 고온초전도 마이크로파 전송선 소자(수동소자) 및 능동조사 그리고 GaAs - MMICs들의 저온 고주파 특성을 마이크로파 대역에서 밀리미터파 대역까지 측정할 수 있도록 하며 또한 계측용 진공챔버와 마이크로파 계측장비의 단자사이에서 우수한 전기적 정합을 얻고 측정시 전송신호의 단락없는 전이를 가능하게 함을 특징으로 한� �.

公开(公告)号：KR1019970054902A

公开(公告)日：1997-07-31

申请号：KR1019950056725

申请日：1995-12-26

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 한석길 ,  강광용 ,  김제하

IPC: H01R9/05 ,  H01R43/00

Abstract: 본 발명은 마이크로파와 밀리미터파의 측정을 위한 진공용 동축 커넥터 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 그 특징은 진공용 동축커넥터에 있어서, 케이블을 특정하고자 하는 시료를 연결할 수 있으며 냉각 부분인 시료 장착 위치를 중앙이 가지고 있는 진공을 만들기 위한 외형 원주형 금속벽인 진공챔버와, 밀리미터파 대역까지 사용가능한 제1V-형 숫 연결수단과 커넥터를 상기 진공쳄버에 부착시키는 판으로서 진공을 만들기 위해 평면도가 매우 좋은 제1지지수단과, 상기 제1지지수단과 연결시키는 연결나사의 나사구멍이 있으며 상기 측정용 진공챔버에 삽입할 때에 동축 커넥터가 회전하는 것을 방지하기 위해 V-커넥터 케이블과 유사한 육각형태로 만든 나사인 회전방지용 제2지지수단과, 상기 제1V-형 숫커넥터와 상기 동축 케이블을 연결시키는 미리지드 케이블 및 상기 동축 케이블에 연결되며 밀리미터파 대역까지 사용가능한 제2V-형 숫연결수단을 포함하는 데에 있으므로, 본 발명은 마이크로파 및 밀리미터파 소자에 대해 DC∼60 GHz까지의 초고주파 대역뿐만 아니라 극저온까지의 전송특성 평가에도 유용하며, 계측용 진공장치(cryostat)에 부착하여 사용하면 우수한 고주파 전송특성도 얻을 수 있다는 데에 그 효과가 있다.