场发射电子源及其制备方法

    公开(公告)号:CN101452797A

    公开(公告)日:2009-06-10

    申请号:CN200710124827.3

    申请日:2007-12-05

    Inventor: 潜力 刘亮 范守善

    Abstract: 一种场发射电子源,其包括:一绝缘基底;一阴极发射电极设置于该绝缘基底上,且该阴极发射电极包括一阴极电极和一阴极发射体设置于该阴极电极上;一隔离体设置于该绝缘基底上;以及一金属栅网设置在该隔离体上,且该金属栅网进一步延伸到阴极发射电极上方;其中,该隔离体与阴极电极间隔设置。一种场发射电子源的制备方法,其具体包括以下步骤:提供一绝缘基底;在上述绝缘基底上制备一阴极发射电极,且该阴极发射电极包括一阴极电极和一阴极发射体设置于其上;在绝缘基底上制备一隔离体预制体,并对该隔离体预制体进行曝光;在上述隔离体预制体上制作一金属栅网;以及除去上述隔离体预制体已经曝光部分,形成一隔离体与阴极电极间隔设置,从而得到一场发射电子源。

    场发射电子源及其制备方法

    公开(公告)号:CN101452797B

    公开(公告)日:2011-11-09

    申请号:CN200710124827.3

    申请日:2007-12-05

    Inventor: 潜力 刘亮 范守善

    Abstract: 一种场发射电子源,其包括:一绝缘基底;一阴极发射电极设置于该绝缘基底上,且该阴极发射电极包括一阴极电极和一阴极发射体设置于该阴极电极上;一隔离体设置于该绝缘基底上;以及一金属栅网设置在该隔离体上,且该金属栅网进一步延伸到阴极发射电极上方;其中,该隔离体与阴极电极间隔设置。一种场发射电子源的制备方法,其具体包括以下步骤:提供一绝缘基底;在上述绝缘基底上制备一阴极发射电极,且该阴极发射电极包括一阴极电极和一阴极发射体设置于其上;在绝缘基底上制备一隔离体预制体,并对该隔离体预制体进行曝光;在上述隔离体预制体上制作一金属栅网;以及除去上述隔离体预制体已经曝光部分,形成一隔离体与阴极电极间隔设置,从而得到一场发射电子源。

    Thermal-field type electron source composed of transition metal carbide material with artificial facet
    7.
    发明授权
    Thermal-field type electron source composed of transition metal carbide material with artificial facet 有权
    由过渡金属碳化物材料与人造面组成的热场型电子源

    公开(公告)号:US09240301B1

    公开(公告)日:2016-01-19

    申请号:US13851732

    申请日:2013-03-27

    Abstract: An electron source is made from mixed-metal carbide materials of high refractory nature. Producing field-enhanced thermionic emission, i.e., thermal-field or extended Schottky emission, from these materials entails the use of a certain low work function crystallographic direction, such as, for example, (100), (210), and (310). These materials do not naturally facet because of their refractory nature. The disclosed electron source made from transition metal carbide material is especially useful when installed in a scanning electron microscope (SEM) performing advanced imaging applications that require a high brightness, high beam current source.

    Abstract translation: 电子源由具有高耐火性质的混合金属碳化物材料制成。 从这些材料产生场强增强的热离子发射,即热场或延伸的肖特基发射需要使用某种低功函数的晶体学方向,例如(100),(210)和(310) 。 这些材料由于其耐火性质而不自然而然。 所披露的由过渡金属碳化物材料制成的电子源在安装在需要高亮度,远光束电流源的先进成像应用的扫描电子显微镜(SEM)中是特别有用的。

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