公开(公告)号：CN104602717B

公开(公告)日：2019-01-15

申请号：CN201380030830.2

申请日：2013-03-15

Applicant: 伊莱克创工控股有限责任公司

Inventor： D·F·高森 ,  R·E·柯克

IPC: A61L2/03 ,  A61L2/14 ,  A61L2/02

CPC classification number: A61L2/087 ,  A61L2202/24 ,  H01J37/30 ,  H01J2237/06366 ,  H01J2237/182 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/31

Abstract: 本文中公开了低能电子灭菌器以及使用低能电子进行灭菌的方法。使用低能电子对器械进行灭菌的示例方法可以包括产生一个或多个低能电子、使所述器械维持在真空中以及用所述低能电子来照射所述器械。所述低能电子可以具有小于或等于25keV的能量，并且所述真空可以足够低以防止所述一个或多个电子产生等离子。

公开(公告)号：CN107030064A

公开(公告)日：2017-08-11

申请号：CN201610946708.5

申请日：2016-10-26

Applicant: 汉辰科技股份有限公司

Inventor： 倪玉河 ,  康畯钦 ,  杨捷仁

IPC: B08B7/00 ,  B08B11/04 ,  H01L21/683

CPC classification number: H01J37/30 ,  B08B7/00 ,  B08B7/0035 ,  H01J37/20 ,  H01J37/304 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/30466 ,  H01L21/6833 ,  H02N13/00 ,  B08B11/04 ,  H01L21/6831

Abstract: 一种清洁静电吸盘的方法。在静电吸盘并未固持任何工件于其工作表面时，传输离子束至静电吸盘的工作表面，借以通过离子束与工作表面上沉积物的相互作用，像是物理性轰击及/或化学性结合，将沉积物自静电吸盘工作表面移除。借此，在静电吸盘并未固持工件时出现在静电吸盘工作表面的沉积物，不论是自工件脱落的光阻剂或是漂浮于制造过程反应室的颗粒等等，对于静电吸盘与工件之间实际固持力量的影响得以改善。离子束的电流量、能量与离子种类皆可以视沉积物的结构、厚度与材料等而定，像是使用低能量离子束以减少损伤静电吸盘工作表面的可能性，像是使用氧离子或是惰性气体离子等来一面移除沉积物又一面减少对静电吸盘工作表面的电介质层导电性的影响。

公开(公告)号：CN105493224B

公开(公告)日：2017-06-06

申请号：CN201480044976.7

申请日：2014-03-10

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 河西晋佐 ,  大南佑介 ,  铃木宏征 ,  安岛雅彦

IPC: H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/20 ,  G01M3/02 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/188 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/2006 ,  H01J2237/2605 ,  H01J2237/2608 ,  H01J2237/2802

Abstract: 以往在更换隔膜时未充分考虑所需的成本、作业的便利性等，因此装置难以使用。在本发明中，通过隔离真空空间与大气压空间的隔膜(10)而将一次带电粒子线照射在放置于大气压空间的试样上的带电粒子线装置上所设置的隔膜安装部件(155)具有：安装TEM用膜片的隔膜设置部位；以及安装在带电粒子线装置的壳体上的壳体固定部位。并且，该隔膜设置部位具有对保持有隔膜(10)的基座(9)进行定位的定位结构(155a)。

公开(公告)号：CN106409640A

公开(公告)日：2017-02-15

申请号：CN201610610133.X

申请日：2016-07-29

Applicant: FEI ,  公司

Inventor： L.梅勒 ,  P.多纳 ,  G.N.A.范维恩

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/26

CPC classification number: H01J37/20 ,  B01L3/502723 ,  B01L2200/0605 ,  B01L2300/0654 ,  B01L2300/0887 ,  B01L2300/123 ,  B01L2400/0406 ,  B01L2400/0694 ,  G01N1/04 ,  G01N21/03 ,  G01N21/11 ,  G01N2021/0346 ,  G01N2021/6482 ,  G01N2223/307 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/2003 ,  H01J2237/2005 ,  H01J2237/2006

Abstract: 本发明涉及用于检查样本材料的微腔，当填充微腔时样本材料浸入在液体中，微腔包含：用于盛装样本材料的检查体积（101），检查体积由以下限定：第一刚性层（102A+102B），与第一刚性层间隔开的第二刚性层（103A+103B），以及在第一和第二刚性层之间的气密密封（104），其特征在于，在用带有浸入的样本材料的液体填充检查腔之前：刚性层中至少一个的薄部（105）将检查体积与外面隔离；薄部配备来被刺破；以及检查体积是真空体积，其结果是，带有浸入的样本材料的液体，当被放置到薄部上时，在薄部被刺破时被吸入到检查体积中。这产生可填充样本材料却不需要对其应用真空管的微腔。

公开(公告)号：CN103843106B

公开(公告)日：2016-12-07

申请号：CN201280044046.2

申请日：2012-09-07

Applicant: 独立行政法人科学技术振兴机构

Inventor： 针山孝彦 ,  高久康春 ,  铃木浩司 ,  村中祥悟 ,  太田勋 ,  下村政嗣 ,  石井大佑

IPC: H01J37/20 ,  G01N1/28 ,  G01N23/225 ,  H01J37/18 ,  G01N23/04

CPC classification number: G01N1/44 ,  G01N1/2853 ,  G01N23/04 ,  G01N23/225 ,  G01N23/2252 ,  G01N2223/612 ,  H01J37/20 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/2004

Abstract: 本发明提供一种利用电子显微镜进行观察的方法、和用于该方法的真空下的蒸发抑制用组合物、扫描电子显微镜及透射电子显微镜，使用所述电子显微镜能够在存活的状态下观察生物试样，并且可以观察活动情况。本发明的利用电子显微镜观察试样的方法包括以下工序：在试样表面应用含有选自两亲性化合物、油脂类及离子液体中的至少1种的蒸发抑制用组合物形成薄膜，从而利用薄膜覆盖该试样的工序；和在显示

公开(公告)号：CN104853624A

公开(公告)日：2015-08-19

申请号：CN201380051073.7

申请日：2013-10-10

Applicant: 希乐克公司

Inventor： M·梅多夫 ,  T·C·马斯特曼 ,  R·帕拉迪斯

IPC: A23L3/26 ,  B65G27/00 ,  C12P7/10

CPC classification number: G21F3/00 ,  A61L2/087 ,  B01J19/082 ,  B01J19/085 ,  B01J19/12 ,  B01J19/123 ,  B01J19/125 ,  B01J19/22 ,  B01J2219/0869 ,  B01J2219/0871 ,  B01J2219/0879 ,  B01J2219/12 ,  B01J2219/1203 ,  B65G27/04 ,  C08H8/00 ,  C10B19/00 ,  C10B53/02 ,  C10G1/02 ,  C10G32/04 ,  C10L5/403 ,  C10L5/442 ,  C10L5/445 ,  C10L5/46 ,  C10L2200/0469 ,  C10L2290/24 ,  C10L2290/28 ,  C10L2290/36 ,  C10L2290/52 ,  C13K1/02 ,  C13K13/002 ,  D21B1/02 ,  G21K5/04 ,  G21K5/10 ,  H01J5/18 ,  H01J33/04 ,  H01J37/20 ,  H01J37/317 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/202 ,  Y02E50/10 ,  Y02E50/14 ,  Y02E50/16 ,  Y02E50/17 ,  Y02E50/30 ,  Y02E50/32 ,  Y02P20/145 ,  Y02P60/877

Abstract: 将生物质(例如，植物生物质、动物生物质以及城市废物生物质)进行加工以产生有用的中间体和产物，如能量、燃料、食品或材料。例如，描述了可用于处理原料材料如纤维素和/或木质纤维素材料的系统和方法，同时冷却设备和生物质以防止过热和可能的变形和/或降解。生物质通过输送机进行输送，所述输送机在来自电子束加速器的电子束下输送所述生物质。所述输送机可涂覆有冷却流体。所述输送机还可振动以有助于暴露于所述电子束。所述输送机可被配置为可任选地进行冷却的槽。

公开(公告)号：CN104640992A

公开(公告)日：2015-05-20

申请号：CN201380048758.6

申请日：2013-10-10

Applicant: 希乐克公司

Inventor： M·梅多夫 ,  T·C·马斯特曼 ,  R·帕拉迪斯

IPC: C12P7/10

CPC classification number: G21F3/00 ,  A61L2/087 ,  B01J19/082 ,  B01J19/085 ,  B01J19/12 ,  B01J19/123 ,  B01J19/125 ,  B01J19/22 ,  B01J2219/0869 ,  B01J2219/0871 ,  B01J2219/0879 ,  B01J2219/12 ,  B01J2219/1203 ,  B65G27/04 ,  C08H8/00 ,  C10B19/00 ,  C10B53/02 ,  C10G1/02 ,  C10G32/04 ,  C10L5/403 ,  C10L5/442 ,  C10L5/445 ,  C10L5/46 ,  C10L2200/0469 ,  C10L2290/24 ,  C10L2290/28 ,  C10L2290/36 ,  C10L2290/52 ,  C13K1/02 ,  C13K13/002 ,  D21B1/02 ,  G21K5/04 ,  G21K5/10 ,  H01J5/18 ,  H01J33/04 ,  H01J37/20 ,  H01J37/317 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/202 ,  Y02E50/10 ,  Y02E50/14 ,  Y02E50/16 ,  Y02E50/30 ,  Y02E50/32 ,  Y02P20/145

Abstract: 将生物质(例如，植物生物质、动物生物质以及城市废物生物质)进行加工以产生有用的中间体和产物，如能量、燃料、食品或材料。例如，描述了可用于在拱顶中处理原料材料如纤维素和/或木质纤维素材料的系统和方法，其中通过设备外壳来保护所述设备免于辐射和有害气体。可用气体吹扫所述设备外壳。

公开(公告)号：CN101334345B

公开(公告)日：2012-05-23

申请号：CN200810127715.8

申请日：2008-06-27

Applicant: FEI公司

Inventor： M·F·海尔斯 ,  U·鲁克肯

IPC: G01N1/36 ,  G01N1/00

CPC classification number: G01N1/286 ,  G01N1/06 ,  G01N1/42 ,  G02B21/32 ,  H01J37/20 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/31745

Abstract: 本发明涉及将样品连接到操纵装置上的方法。本发明尤其涉及为了TEM(透射电子显微镜)检查，从衬底上提取例如玻璃化生物样品的冷冻水合样品，并将所述样品连接到操纵装置上。这种水合样品应该保持在低温温度以避免形成冰。通过熔化或升华该样品材料的将在TEM中研究的区域之外的一部分并将该材料冷冻至操纵装置(10)上，在样品(1)和操纵装置之间形成粘合。这允许将该样品从衬底上传送至例如TEM格栅。在优选实施方案中，操纵装置(10)的一部分(2)保持在低温温度，并且通过电加热顶端而加热该操纵装置的顶端(3)并且之后将该操纵装置的顶端冷却至低温温度而引起该熔化或升华，由此将该样品(1)冷冻至该操纵装置上。

公开(公告)号：CN101266909B

公开(公告)日：2010-09-01

申请号：CN200810088429.5

申请日：2002-10-02

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 元井泰子 ,  上野理惠

IPC: G01N23/223 ,  H01J37/20 ,  H01J37/28 ,  H01J37/30 ,  H01J37/304 ,  H01J37/317 ,  G01N23/225

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/20 ,  H01J37/3005 ,  H01J37/304 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/2814 ,  H01J2237/30455 ,  H01J2237/3174 ,  H01J2237/31745 ,  H01J2237/31749

Abstract: 本发明提供一种截面评估装置，其能够在样品温度被调节的状态下分析截面结构。本发明还公开了一种信息获取装置，其包括用于放置样品的平台、用于调节样品的温度的温度调节装置、用于使想要得到信息的样品的表面曝光的曝光装置、以及用于获取与由曝光装置曝光的表面有关的信息的信息获取装置。

公开(公告)号：CN101128908B

公开(公告)日：2010-06-23

申请号：CN200680005616.1

申请日：2006-05-30

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 小西康雄

IPC: H01J37/20 ,  B23Q1/26 ,  B23Q1/58 ,  G12B5/00 ,  H01L21/68

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/20228 ,  H01J2237/20271

Abstract: 本发明提供一种平台机构，其可防止因平台机构的线性导轨的热膨胀而影响平稳驱动。本发明的平台机构(1)包括：至少一个台(4，5)；于直线方向上引导此台的一对台用线性导轨(11，12，21，22)；以及补偿因台的热膨胀导致位移的补偿用线性导轨(13，23)。一侧的台用线性导轨(11，12，21，22)固定于支持部与台，另一侧的台用线性导轨(11，21)通过补偿用线性导轨(13，14，15，23)在与上述直线方向正交的方向上自由移动。或者是，通过补偿用线性导轨(13，23)，对支持部使另一侧的台用线性导轨在与上述直线方向正交的方向上自由移动。