公开(公告)号：KR1019990020165A

公开(公告)日：1999-03-25

申请号：KR1019970043624

申请日：1997-08-30

Applicant: 오리온전기 주식회사 ,  한국과학기술연구원

Inventor： 신동기 ,  이효섭 ,  윤상렬 ,  권상봉 ,  강천수 ,  오명환 ,  안광덕 ,  박태석 ,  변종홍 ,  유병용

IPC: H01J9/24

Abstract: 본 발명은 판넬내면의 광전도막을 보다 균일하게 대전시킬 수 있는 음극선관의 스크린제조용 와이어형 코로나 방전전극을 제공한다.
그 와이어형 코로나 방전전극은, 음극선관의 전자사진식 스크린제조용 광전도막 대전장치에 있어서: 선단이 판넬 내면의 수직축과 수평축의 다른 하나의 곡률과 거의 같은 곡률로 형성되고, 서로 일정한 간격으로 배치되어 접지되는 한쌍의 접지전극판(103); 상기 한쌍의 접지전극판(103) 사이에 배치되고, 선단이 상기 다른 하나의 곡률과 거의 같은 곡률상에 위치되는 다수의 와이어 전극 지지대(102,102')를 지니며 전기적으로 절연제로 된 절연블럭(105); 그리고 상기 다수의 와이어 전극 지지대(102,102')의 선단에 지지되고 고전압이 인가되어 상기 광전도막(34)의 적어도 유효화면부를 거의 균일하게 대전시키는 와이어 전극(101)을 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 균일하게 코로나방전이 일어나게 되어, 보다 균일하게 광전도막(34)을 대전시킬 수 있을 뿐만 아니라, 방전효율이나 대전능력도 향상되는 등의 효과가 있다.

公开(公告)号：KR100176324B1

公开(公告)日：1999-03-20

申请号：KR1019950032843

申请日：1995-09-29

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 오명환 ,  주병권 ,  이윤희

IPC: H01J1/30 ,  H01J9/24

Abstract: 본 발명은 다이오드형 전계방출소자의 전계방출부와 양극간의 거리조절방법에 관한 것으로, 음극 기판과 양극 기판 사이에 절연박막 및 홈을 형성시키는 방법에 의해 전계방출부의 끝부분과 양극 표면간의 거리를 1㎛ 이하로부터 수 백 ㎛에 이르기까지 수십 Å 수준의 분해능으로 조절할 수 있도록 하여 전계방출부로 부터의 전계 분포를 정확히 실측할 수 있을 뿐 아니라 전계방출 전압 및 방출 전류을 효과적으로 제어할 수 있으며, 아울러 전계방출표시소자는 물론 마이크로 팁을 이용한 터널링 세서 제조 등에도 응용 가능한 고신뢰성의 다이오드형 전계방출소자를 구현할 수 있게 된다.

公开(公告)号：KR1019980054434A

公开(公告)日：1998-09-25

申请号：KR1019960073595

申请日：1996-12-27

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 주병권 ,  오명환

IPC: H01L21/20

Abstract: 본 발명은 기판들간의 직접 접합방법에 관한 것으로, 두 장의 기판을 직접 접합함에 있어 접합될 기판의 표면을 친수화시키고 물층을 존재하게 한 뒤 두 기판을 맞닿게 함으로써 초기 접합을 보다 향상시키고자 한 것이다.
이는 종래의 SDB 방법이 친수화 처리를 한 후 표면을 건조시킨 후 초기 접합을 이루는데 비해, 표면이 젖은 상태에서 두 기판을 맞닿게 한 뒤 수 시간동안 유지함으로써 초기 접합을 이루는 것으로 WDB 방법으로 새롭게 명명되었다.
이러한 WDB 방법은 맞닿는 기판쌍의 위에 하중을 주고 최대 500℃에 이르기까지 열처리를 함으로써, 실리콘 기판은 물론 실리콘 웨이퍼에 비해 표면의 거칠기가 상대적으로 큰 유리 기판 등에 대해서도 보다 향상된 특성을 지닌 접합이 이루어지도록 한 것이다.

公开(公告)号：KR1019970072511A

公开(公告)日：1997-11-07

申请号：KR1019960012209

申请日：1996-04-22

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 오명환 ,  한택상 ,  이윤희 ,  신동기 ,  정성재 ,  주영대

IPC: H01L33/00

Abstract: 본 발명에 의한 백색 발광용 전계발광표시(electroluminescent display: ELD)소자 및 그 제조방법은, ITO 재질의 투명전극이 형성된 기판 상에, 다층 적층 구조의 제1절연막을 형성하는 공정과; 상기 제1절연막 상의 소정 부분에 ZnS: Pr,Ce,F 재료로 이루어진 발광박막을 형성하는 공정과; 상기 제1절연막과 발광박막을 포함한 투명전극 상의 소정 부분에 제2절연막을 형성하는 공정 및; 상기 제2절연막 상에 서로 소정간격 이격되도록 알루미늄 전극을 형성하는 공정으로 이루어져, 1) 단일 발광중심(예컨대, ZnS: Pr, SrS: Pr, ZnS: Ho....등)을 사용하는 경우에 얻어지는 녹색을 띤 백색이나 적색을 띤 백색과는 달리, 가시광 전영역에 걸쳐 고른 발광특성을 갖는 우수한 백색순도와 휘도특성을 확보할 수 있고, 2) SrS: Ce, Eu와 같이 SrS모체를 사용할 경우 관찰되는 필수적으로 요구되는 까다로운 공정 조건, 화학양론적인 조성으로부터의 이탈, 화학적인 불안정성, 높은 흡습성 등으로 인한 ELD소자의 가속 열화현상 등을 제거할 수 있으며, 3) ZnS: Mn/SrS: Ce 구조와는 달리, 발광박막을 단일재료를 이용한 단일층으로 형성하므로 공정 진행이 용이할 뿐 아니라 ZnS모체를 이용하므로 박막 공정이 용이하여 양산성면에서 유리하고, 4) PrF
3 와 CeF
3 화합물의 가농도를 변화시킴으로써, 휘도 조절이 가능하며, 5)PrF
3 에 대한 CeF
3 의 농도를 현재와 같이 동일한 비율로 첨가하지 않고 가변시킴으로써, 발광중심파장을 변화시킬 수 있게 되어, 원하는 최대발광치를 나타내는 표시소자를 구현할 수 있게 된다.

公开(公告)号：KR1019970008260A

公开(公告)日：1997-02-24

申请号：KR1019950020245

申请日：1995-07-10

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 주병권 ,  오명환 ,  이윤희 ,  이남양

IPC: H01J1/304 ,  H01J9/02

Abstract: 본 발명은 전계방출소자(field emitter display) 제조방법에 관한 것으로, 제1반도체기판을 결정 의존성 식각하여 몰드를 형성하고, 이를 이용하여 팁 어래이를 형성한 뒤 제2반도체기판을 상기 팁 어래이에 접합하여 소자 제조를 완료하므로써, 1) 몰드(mold)용 기판과 팁 어래이의 받침대로 쓰이는 기판이 동일 재질(예컨대, 단결정 실리콘)로 형성되어 VLSI 기술과의 호환성이 있으며, 2) 아울러 비교적 평탄한 반도체 표면 상에서 사진식각공정을 비롯한 후처리 공정(예컨대, 게이트 절연막 및 게이트 전극 패터닝 공정)이 진행되므로 단차(step coverage)등에 의한 공정상의 어려움을 제거할 수 있어, 팁 높이에 제한없이 공정을 용이하게 실시할 수 있게 되고, 또한 3) 양질의 열산화막을 게이트 절연막으로 활용할 수 있는 고신뢰성의 전계방출소자를 구현할 수 있게 된다.

公开(公告)号：KR1019960042817A

公开(公告)日：1996-12-21

申请号：KR1019950012957

申请日：1995-05-24

Applicant: 오리온전기 주식회사 ,  한국과학기술연구원

Inventor： 신동기 ,  이복수 ,  윤상열 ,  최돈빈 ,  이민수 ,  손호석 ,  오명환 ,  김창홍 ,  변종홍 ,  안광덕 ,  박태석 ,  한택상 ,  손용배 ,  유병용 ,  박영호

IPC: H01J9/20

Abstract: 균일한 형광체 등의 현상밀도를 얻기 위해 균일하게 광전도막을 대전시킬 뿐만 아니라, 상술한 복잡한 코로나 방전공정과그 장치를 제거하여 음극선관을 제조할 수 있는 음극선관의 전자사진식 스크린 제조방법과 이에 사용되는 광전도막 대전장치를 제공한다. 그 제조방법은 (1) 전도막의 1차막과 절연막의 2차막으로 된 충전전극을 준비하여 그 절연막을 상기 판넬의 광전도막에 접촉시키는 단계; (2) 그 접촉된 상태에서 그 충전전극의 전도막과 판넬의 전도막에 직류전원을 인가하여 충전시키는 단계; (3) 그 직류전원이 인가된 상태에서 판넬의 상부로부터 투명한 면판을 통과하여 광전도막의 전면적에 광선을 조사하므로서 광전도막으로 판넬의 전도막의 충전된 전하를 이동시키는 단계; 그리고 (4) 그 광전도막으로 전하가 이동된 후 전원과 광원을 차단시키고 충전전극을 분리시키는 단계를 포함한다. 또한, 판넬의 광전도막에 전면적에걸쳐 잘 접촉하도록 전도막의 1차막과 절연막의 2차막의 형성된 충전전극판; 그 충전전극판이 고정되는 충전전극판홀더;상기 판넬의 상부로부터 투명한 면판을 통과하여 상기 광전도막에 빛을 가하기 위한 광원; 상기 광전도막과 절연막과의접촉위치와 분리위치사이에서 상기 판넬과 충전전극판의 어느 하나를 이동시키도록 그 판넬홀더와 충전전극판홀더의 어느하나의 이동수단; 그리고 상기 판넬의 전도막과 충전전극판의 전도막에 직류전위를 인가하기 위한 직류전원을 구비하는대전장치가 제공된다. 이에 따라, 방전장치 없이 충전전극에 의하여 균일하게 광전도막을 대전시킬 수 있어 형광체 도포두께 및 크기, 형상 등을 균일하게 할 수 있는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR1019960016720B1

公开(公告)日：1996-12-20

申请号：KR1019930026934

申请日：1993-12-08

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 권용무 ,  오명환

IPC: G09G3/00

CPC classification number: G09G3/30 ,  G09G2310/0267 ,  G09G2310/0275

Abstract: a power supplying part(21) outputting a threshold voltage with a modulation voltage(Vth+Vm); a power supplying part(22) outputting a threshold voltage(Vth); a relative potential difference-generating part(23) generating a column electrode voltage(Vc), a reference voltage(Vg) and a row electrode voltage(Vr); a driving integrated device(PM21,NM21) outputting the column electrode voltage(Vc) as performing the push-pull operation according to the input gate signal; and a driving integrated device(NM22) outputting the row electrode voltage(Vc) according to the input gate signal.

Abstract translation: 输出调制电压（Vth + Vm）的阈值电压的供电部（21）; 输出阈值电压（Vth）的供电部（22）; 生成列电极电压（Vc），基准电压（Vg）和行电极电压（Vr）的相对电位差产生部（23）。 驱动集成装置（PM21，NM21），根据输入的门信号，输出列电极电压（Vc），执行推挽操作; 以及根据输入的门信号输出行电极电压（Vc）的驱动集成装置（NM22）。

公开(公告)号：KR1019960039180A

公开(公告)日：1996-11-21

申请号：KR1019950008890

申请日：1995-04-15

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 주병권 ,  오명환 ,  이윤희

IPC: H01L21/306

Abstract: 본 발명은 결정의존성 습식식각을 이용하여 제조된 실리콘 팁 및 그 제조방법에 관한 것으로, 본 발명은 특히 (110) 면지수를 갖는 단결정 실리콘 기판에 대해 결정의존성 식각을 행하여 기둥모양을 갖는 실리콘 구조물을 행하고, 이 기둥의 끝부분을 뾰족하게 함으로써 전계방출소자용 실리콘 팁 어레이의 제조에 응용할 수 있도록 한 것이다. 본 발명에 의한 실리콘 팁은 바늘(needle) 모양을 하고 있으며, 제조방법은 먼저 (110) 실리콘 기판 상에 결정방향을 고려하여 평행사변형 또는 사각형의 식각마스크를 형성한 뒤, 이를 결정의존성 식각하고, 다음으로 샤프닝(sharpening) 공정을 통하여 팁을 제작하는 것으로, 팁의 밑부분이 차지하는 면적이 작아지게 되므로, 고밀도 팁 어레이를 제작할 수 있으며, 아울러 팁의 종횡비를 매우 크게 할 수 있는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR1019960030748A

公开(公告)日：1996-08-17

申请号：KR1019950001030

申请日：1995-01-21

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 오명환 ,  한택상 ,  이윤희 ,  염태호 ,  김동호 ,  신동기 ,  이춘우 ,  정성재

IPC: H05B33/14

Abstract: 본 발명은 백색발광용 전계발광소자 및 그 제조방법에 관한 것으로, 유리기판 상에 ITO 투명전극을 형성하는 공정과, RF 반응성 스퍼터링 장치를 이용한 스퍼터링법으로 상기 투명전극에 하부절연층을 형성하는 공정과, 상기 하부절연층 상에 발광층을 형성하는 공정과, 상기 발광층 상에 상기 하부절연층과 동일한 스퍼터링법으로 상부절연층을 형성하는 공정과, 상기 상부절연층 상에 발광소자 동작특성의 열화현상을 방지하는 완충층을 형성하는 공정과, 상기 환충층 상에 열중착법으로 알루미늄 전극을 퉁착하는 공정을 통하여 회토류 원소인 Pr을 발광중심으로 한 EL 소자를 제공함으로써 빛의 삼원색인 적,청,녹색 파장의 발광스펙트럼을 모두 갖는 백색형광박막이 적충되어 형성된 우수한 색순도를 갖는 백색 발광 EL 평판 표시소자를 구현하도록 것이다.

公开(公告)号：KR1019950020371A

公开(公告)日：1995-07-24

申请号：KR1019930026934

申请日：1993-12-08

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 권용무 ,  오명환

IPC: G09G3/00

Abstract: 본 발명은 완전 고체 발광소자인 교류 구동형 박막 EL(AC TFEL)평판의 구동을 위한 회로에 관한 것으로, 상대 전위차를 이용해서 단일 직류전원으로서 양의 극성 및 음의 극성의 교류를 발생하는 회로를 제안하며, 이를 사용함에 의해 AC TFEL구동시 요구되는 전원부를 소형화 할 수 있다. 또한 본 발명에서는 상대전위 발생회로를 이용하여 AC TFEL행렬 구동시 리프레쉬 구동법 및 주사순서 반전 구동법에서 요구되는 전원의 종류수를 감소시킨 회로를 제안한다. 본 발명의 회로를 사용함에 의해 AC TFEL을 이용한 휴대형 표시 시스템에서 요구되는 전원부 회로를 간단하게 구성할 수 있으며, 또한 하나의 클럭 제어 신호만으로서 리프레쉬 구동 및 주사순서 반전 구동에 요구되는 전압을 공급할 수 있다.