Abstract:
Es wird eine optoelektronische Vorrichtung (1) mit einem zur Erzeugung von Strahlung vorgesehenen ersten Bauelement (21), einem zum Empfangen von Strahlung vorgesehenen zweiten Bauelement (22), einem Anschlussträger (4) und einem Rahmen (3) angegeben. Das erste Bauelement und das zweite Bauelement sind auf dem Anschlussträger angeordnet. Der Rahmen ist auf dem Anschlussträger angeordnet. Das erste Bauelement ist in einer ersten Öffnung (31) des Rahmens angeordnet. Das zweite Bauelement ist in einer zweiten Öffnung (32) des Rahmens angeordnet. Die erste Öffnung und die zweite Öffnung erstrecken sich von einer dem Anschlussträger gegenüberliegenden Hauptfläche (30) des Rahmens in Richtung des Anschlussträgers. Die Hauptfläche zwischen der ersten Öffnung und der zweiten Öffnung weist einen Zwischenbereich (5) auf, in dem eine Reflexion von auf die Hauptfläche auftreffender Strahlung vermindert ist.
Abstract:
Ein optoelektronisches Bauelement umfasst eine Stapelanordnung, welche einen photonischen Kristall (1) und ein Verstärkungsmedium (3) aufweist. Das Verstärkungsmedium umfasst eine Schichtenabfolge aus wenigstens zwei Quantentöpfen (30) und wenigstens einer Tunneldiode (31) und ist dazu eingerichtet, eine elektromagnetische Welle zu emittieren. Der photonische Kristall ist elektromagnetisch mit dem Verstärkungsmedium gekoppelt. Die Stapelanordnung ist auf einem Substrat (5) angeordnet. Alternativ oder zusätzlich umfasst das Verstärkungsmedium wenigstens einen Quantentopf. Der photonische Kristall ist in einer dielektrischen Schicht strukturiert und elektromagnetisch mit dem Verstärkungsmedium gekoppelt.
Abstract:
Ein Halbleiterlaser (10) umfasst eine Halbleiterschichtanordnung (112), die eine aktive Zone (115) zur Strahlungserzeugung aufweist, einen ersten Resonatorspiegel (125), einen zweiten Resonatorspiegel (130) und einen zwischen dem ersten und dem zweiten Resonatorspiegel (125, 130) angeordneten optischen Resonator (105), der sich in einer Richtung parallel zu einer Hauptoberfläche (101) der Halbleiterschichtanordnung (112) erstreckt. Seitliche Begrenzungsflächen (103) der Halbleiterschichtanordnung (112) verlaufen schräg, so dass eine Reflexion von erzeugter elektromagnetischer Strahlung (15) in Richtung der ersten Hauptoberfläche (101) der Halbleiterschichtanordnung (112) erfolgt. Der erste und der zweite Resonatorspiegel (125, 130) sind über der ersten Hauptoberfläche (101) der Halbleiterschichtanordnung (112) angeordnet. Der Halbleiterlaser (10) weist ferner ein Konverterelement (135, 225) über einer von der Halbleiterschichtanordnung (112) abgewandten Seite des ersten Resonatorspiegels (125) auf.
Abstract:
A method of manufacturing a semiconductor device (10) comprises epitaxially growing (S100) a sacrificial layer (105) over a GaN substrate (100), epitaxially growing (S110) a first semiconductor layer (120) over the sacrificial layer (105) and forming (S120) a first layer (124) over a first main surface (121) of the first semiconductor layer (120), the first main surface (121) being on a side of the first semiconductor layer (120) remote from the GaN substrate (100). The method further comprises forming (S130) a fluid channel or trench (130, 108) extending through the first layer (124) and the first semiconductor layer (120) to the sacrificial layer (105), etching (S140) the sacrificial layer (105), comprising introducing an etchant into the fluid channel or trench (130, 108), to remove the GaN substrate (100) and forming (S150) a second dielectric layer (137) over a second main surface (122) of the first semiconductor layer (120).
Abstract:
A semiconductor laser device comprises an active layer having a main extension plane, a first cladding layer and a second cladding layer where the active layer is arranged between the first and second cladding layer in a direction perpendicular to the main extension plane, at least one first emission region and at least one second emission region arranged next to each other in a direction parallel to the main extension plane, a light-outcoupling surface parallel to the main extension direction and arranged on a side of the second cladding layer opposite to the active layer, and a photonic crystal layer arranged in the first cladding layer or in second cladding layer. The photonic crystal layer may include a first photonic crystal structure in the first emission region and a second photonic crystal structure in the second emission region where the first and the second photonic crystal structures are different.
Abstract:
Ein optoelektronisches Halbleiterbauelement (10) weist einen Halbleiterschichtstapel (109) auf, in dem eine oberflächenemittierende Laserdiode (103) sowie einen Fotodetektor (105) vertikal übereinander angeordnet sind. Das optoelektronische Halbleiterbauelement (10) weist darüber hinaus auch eine Stromquelle (149) auf, die geeignet ist, eine in die oberflächenemittierende Laserdiode eingeprägte Stromstärke zu verändern, wodurch eine Emissionswellenlänge veränderbar ist.
Abstract:
A laser package is described, the laser package comprising a plurality of laser diodes (10) separately attached to at least one sub-mount (12) having respective connecting pads (11, 11A, 11C), wherein, during operation, each of the laser diodes emits light having a fast axis and a slow axis defining a fast axis plane and a slow axis plane, wherein the fast axis planes of all laser diodes are parallel to each other and the distance between the fast axis planes (59V) of at least two laser diodes is smaller than the lateral distance (59L) between these laser diodes. Furthermore, a system with at least two laser packages is described.
Abstract:
A laser package is described, the laser package comprising a plurality of laser diodes (10) separately attached to at least one sub-mount (12) having respective connecting pads (11, 11A, 11C), wherein, during operation, each of the laser diodes emits light having a fast axis and a slow axis defining a fast axis plane and a slow axis plane, wherein the fast axis planes of all laser diodes are parallel to each other and the distance between the fast axis planes (59V) of at least two laser diodes is smaller than the lateral distance (59L) between these laser diodes. Furthermore, a system with at least two laser packages is described.
Abstract:
Es wird ein Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauteils (1) für eine Spektrometeranwendung und ein Halbleiterbauteil (1) offenbart. Das Verfahren umfasst das Aufbringen von Halbleiterkomponenten (5) mittels Mikrotransferdruck auf einen Bauteilkörper (3) mit einem Substrat (7) und einem integrierten Schaltkreis (9). Dabei werden Halbleiterkomponenten von einem Opferwafer mit einem Stempel zu einem Zielwafer (54) transferiert. Die Halbleiterkomponenten (5) weisen eine aktive Zone zum Strahlungsempfang auf. Zumindest eine Halbleiterkomponente (5) hat einen sensitiven Spektralbereich der sich von dem einer anderen Halbleiterkomponente (5) unterscheidet. Halbleiterkomponenten mit einer aktiven Zone zur Strahlungserzeugung können ebenfalls mit dem genannte Verfahren auf den Bauteilkörper (3) aufgebracht sein. Bedingt durch das Herstellungsverfahren weisen die Halbleiterkomponenten des Halbleiterbauteils (1) Abrissstellen (40) auf.
Abstract:
Es wird ein Bauteilverbund (100) mit einer Mehrzahl von optischen Bauteilen (10), einer entfernbaren Opferschicht (4), einer Haltestruktur (3) und einem gemeinsamen Zwischenträger (90) angegeben, wobei die optischen Bauteile jeweils ein optisches Element (10E) zur Formung eines Lichtstrahls aufweisen und die Opferschicht in vertikaler Richtung zumindest bereichsweise zwischen dem Zwischenträger und den optischen Bauteilen angeordnet ist. Die Haltestruktur weist eine Mehrzahl von Halteelementen (3A, 3B) auf, wobei die Haltestruktur und die Opferschicht eine mechanische Verbindung zwischen dem Zwischenträger und den optischen Bauteilen bilden. Die optischen Bauteile sind ohne die Opferschicht nur noch über die Haltestruktur mit dem Zwischenträger mechanisch verbunden, wobei die Halteelemente unter mechanischer Belastung derart ausgebildet sind, dass diese die optischen Bauteile freigeben, sodass die optischen Bauteile von dem Zwischenträger ablösbar und somit transferierbar ausgeführt sind. Des Weiteren werden ein Bauelement mit einem optischen Bauteil insbesondere aus dem Bauteilverbund und ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Bauteilverbunds angegeben.