Abstract:
PURPOSE: A microcapsule-type robot is provided to improve the decision rate about lesion by fixing the robot within an organ of the human body in responding to a stop control signal from an outside of a human body. CONSTITUTION: A camera device(11) is mounted on a body to observe an organ of the human body. A lighting device(12) is mounted on the body to irradiate a light to the organ so that the camera device(11) photographs an inside of the organ. A receiving/sending device(16) is mounted on the body to transmit image information obtained by the camera device(11) to an outside of the human body and receives a control signal from the outside of the human body. A stop unit is mounted on the body to stop the body at a certain position of the organ. A control device(13) is mounted on the body to control operations of the camera device(11), the lighting device(12), the receiving/sending device(16), and the stop unit. A power supply device(14) is mounted on the body to supply power to the camera device(11), the lighting device(12), the receiving/sending device(16), the stop unit, and the control device(13).
Abstract:
본 발명은 스크린 프린팅에 의한 고밀도 세라믹후막 제조방법에 관한 것으로, 유기 바인더 및 용제로 구성된 비이클을 제조하고, 상기 비이클에 세라믹 분말을 분산시켜 페이스트를 제조하고, 상기 페이스트로 스크린 프린팅법에 의해 일정한 두께의 후막을 프린팅하고, 프린팅된 후막을 건조한 후 유기바인더를 제거하고, 프린팅된 후막 표면에 졸 또는 졸과 유사한 용액을 도포하여 상기 후막으로 스며들도록 함침시키고, 상기 후막을 스피닝하여 여분의 졸 또는 졸과 유사한 용액을 제거하고, 상기 후막을 건조하여 중간 열처리를 하고, 상기 후막을 소결하는 단계를 포함하여 이루어지는 스크린 프린팅에 의한 고밀도 세라믹후막 제조방법을 제공한다. 본 발명에 의하면 패터닝 공정이 필요없이 기존의 스크린 프린팅 방법을 이용하여 저온에서 보다 치밀한 세라믹 후막을 원하는 패턴 크기로 제조하는 것이 가능하다. 따라서 저온소결 및 후막의 치밀화로 인하여 압전 소자및 초전 소자 등의 마이크로 디바이스 제조에 유용하게 이용될 수 있다.
Abstract:
PURPOSE: Structure of an electrode is provided to improve the accuracy of gas sensing, a recovery speed, and responsiveness and to produce a reproducible electrode. CONSTITUTION: A semiconductor type gas sensor includes: a substrate(1); a lower electrode(2') formed on the upper face of the substrate in a specific pattern; a thin and thick type semiconductor material sensing film(3) formed on the upper face of the substrate whereon the lower electrode is formed; an upper electrode(2") formed on the upper face of the sensing film in a specific pattern; a heater formed in the lower face of the substrate; and an insulating material formed on the lower face whereon the heater is formed. Herein, the upper and lower electrodes are formed in an I shape of a thick or thin film, and made of different materials. With simple change of the position and shape of an electrode without an additional device, the accuracy of gas sensing, a recovery speed, and responsiveness are enhanced. Additionally, a reproducible electrode is provided.
Abstract:
A rapid thermal processing method for a ceramic thin film which is capable of carrying out a uniform heating of a large sized wafer, and of achieving a rapid temperature elevation, and of enhancing a crystallinity of a deposited thin film, wherein a thin film-coated material is disposed on a support to rapidly heat the thin film by the application of microwaves, the temperature is measured with a temperature measuring unit, and the generation of the microwaves is halted at a required temperature.
Abstract:
본 발명은 NOx가스감지소자 및 그 제조방법에 관한 것으로, 종래의 NOx가스농도측정방법은 전기화학센서(Electrochemical Sensor), 질량분광계(Mass Spectrom etry)등의 장비를 이용하여 분석하는 방법을 채용하였는데, 자동차 등의 측정장비에 부착이 어렵고, 소형화가 곤란하며, 가격이 비싼 단점이 있다. 이에 박막증착용 알루미나 기판 전면에 소정의 패턴으로 백금 박막전극을 형성하는 공정과; 알루미나 기판 후면에 팔라듐-은 후막 히터를 실크스크린 프린팅법으로 형성하는 공정과; 전극이 형성된 기판의 전면에 NOx가스감지용 산화텅스텐 박막을 증착하고, 열처리하는 공정과; 전극과 히터에 각각 도선을 연결하는 공정과; 히터가 형성된 기판 후면에 고온용 알루미나 접착제를 도포하여 방열 및 절연시키는 공정으로 이루어지는 본 발명의 제조방법을 통하여 가스감지용 박막으로 WO 3 산화물 반도체를 사용하여 제조됨을 특징으로 한 NOx가스감지소자를 제공하여 자동차의 배출가스계측에 적용가능한 저가의 소형 고감도 센서를 제조가능하도록 한 것이다.
Abstract:
본 발명은 NO X 가스 감지 소자 및 그제조방법에 관한 것으로 종래의 NO X 가스농도 측정방법은 전기화학센서(Electrochemical Sensor), 질량분광계(Mass Spectrometry)등의 장비를 이용하여 분석하는 방법을 채용하였는데, 자동차 등의 측정장비에 부착이 어렵고, 소형화가 곤란하며, 가격이 비싼 단점이 있다. 이에 박막증착용 알루미나 기판 전면에 소정의 패턴으로 백금박막전극을 형성하는 공정과 알루미나 기관 후면에 팔라듐-은 후막히터를 실크스크린 프린팅법으로 형성하는 공정과; 전극이 형성된 기관의 전면에 NO X 가스 감지용 산화텅스텐 박막을 증착하고 열처리하는 공정과, 전극과 히터에 각각도선을 연결하는 공정과 ,히터가 형성된 기관 후면에 고온용 알루미나 접착제를 도포하여 방열 및 절연시키는 공정으로 이루어지는 본 발명의 제조방법을 통하여 가스감지용 박막으로 WO 3 산화물 반도체를 사용하여 제조됨을 특징으로 한 NO X 가스 감지 소자를 제공하여 자동차의 배출가스계측에 적용가능한 저가의 소형 고감도 센서를 제조가능하도록 한 것이다.
Abstract:
Complex dielectric layer structure for thin film electroluminescent display, whereby the dielectric thin film manufactures according to depositing the buffer layer that consists of Si3N4, silicon oxynitride or SiA1ON, on the glass substrate that deposit ITO for generating the transparent electrode, and then depositing the glass thin film of the B(x1-x)Sr(x)TiO2 on the buffer layer.
Abstract translation:用于薄膜电致发光显示器的复合电介质层结构,由此根据沉积用于产生透明电极的ITO的玻璃基板上沉积由Si 3 N 4,氮氧化硅或SiAlON组成的缓冲层制造电介质薄膜,然后沉积玻璃 在缓冲层上的B(x1-x)Sr(x)TiO2的薄膜。
Abstract:
자성비드에항체를반응시켜극저농도의항원을검출할수 있는전기화학바이오센서를제공한다. 바이오센서는, i) 기판, ii) 기판위에위치하는전극패턴, iii) 전극패턴위에위치하면서기판을덮으며, 상호이격된복수의홀들이형성된부동태층, 및 iv) 복수의홀들중 하나이상의홀에위치하고, 항체가부착된비드를포함한다. 전극패턴은 i) 제1 전극패턴부, 및 ii) 제1 전극패턴부의높이와동일한높이를가지고, 제1 전극패턴부와이격되어위치하고, 제1 전극패턴부와전기장을형성하는제2 전극패턴부를포함한다. 제1 전극패턴부는홀을통하여외부노출된제1 노출전극을포함하고, 제2 전극패턴부는홀을통하여외부노출된제2 노출전극을포함하며, 비드는제1 노출전극및 제2 노출전극과접촉한다.