公开(公告)号：KR1020070121561A

公开(公告)日：2007-12-27

申请号：KR1020070060758

申请日：2007-06-20

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 석현광 ,  이해원 ,  백경호

IPC: C01F7/00 ,  C01F17/00 ,  H01L21/205 ,  C23C4/10

CPC classification number: C01F17/0018 ,  C01F17/0043 ,  C01P2004/61 ,  C23C4/11 ,  C23C4/123 ,  H01L21/205

Abstract: A thermal spray ceramic coating material for a semiconductor manufacture device is provided to reduce internal defects of protective coating films upon ceramic spray coating, improve corrosion resistance, and extend a lifespan of the internal parts. A thermal spray coating material of an amorphous structure is used for a semiconductor manufacture device and has a composition of (Al_xY_(1-x))_2O_3, wherein x ranges from 0.005 to 0.95. A method for preparing the thermal spray coating material includes the steps of: mixing Al2O3 particles and Y2O3 particles having a diameter of 0.1-30 micron to prepare the material; spraying and drying the prepared material to prepare synthetic powder; and calcining the powder at 800-1500 °C.

Abstract translation: 提供了一种用于半导体制造装置的热喷涂陶瓷涂层材料，以减少陶瓷喷涂时保护涂膜的内部缺陷，提高耐腐蚀性，延长内部部件的使用寿命。 非晶结构的热喷涂材料用于半导体制造装置，并且具有（Al_xY_（1-x））_2O_3的组成，其中x为0.005至0.95。 制备热喷涂材料的方法包括以下步骤：混合直径为0.1-30微米的Al 2 O 3颗粒和Y 2 O 3颗粒以制备该材料; 喷涂和干燥制备的材料制备合成粉末; 并在800-1500℃下煅烧粉末。

公开(公告)号：KR1020060031135A

公开(公告)日：2006-04-12

申请号：KR1020040080034

申请日：2004-10-07

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 석현광 ,  김기배 ,  손명찬 ,  김현태

IPC: H01L21/3065

CPC classification number: H01J37/32486

Abstract: 본 발명은 진공 플라즈마 챔버 또는 그 내부에 장착되는 부품을 모재로 하여, 상기 모재를 전해액에 침지하고, 상기 모재에 고전압의 직류 전류를 가하여 모재 표면에 지속적으로 마이크로 아크 또는 플라즈마를 형성하면서 산화물 코팅막을 형성하는 것을 특징으로 하는 진공 플라즈마 챔버용 코팅막 제조방법 및 이에 따른 코팅막을 제공한다. 본 발명에 따르면, 기존의 아노다이징 표면 코팅에 비해 경도가 2-3배 이상 향상되고 내부 기공이 감소되며, 내구성이 향상된 코팅막을 형성할 수 있다.
마이크로 방전, 아노다이징, 플라즈마 챔버

公开(公告)号：KR1020050096258A

公开(公告)日：2005-10-05

申请号：KR1020040021120

申请日：2004-03-29

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 김유찬 ,  에릭플러리 ,  김기배 ,  석현광

IPC: C22C45/00

CPC classification number: C22C45/001 ,  C22C30/02 ,  C22C30/04

Abstract: 본 발명은 비정질 형성능을 향상시켜 벌크 비정질화의 효율을 높이고 구리 합금의 구조용 재료로의 이용 가능성을 제시할 수 있는 구리계 비정질 합금에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 구리계 비정질 합금 조성물은 일반식 Cu
100-abcd Zr
a Al
b (M
1 )
c (M
2 )
d 로 표시되며, 상기 식 중 a, b, c 및 d는 각 원자%로 각각 36≤a≤49, 1≤b≤10, 0≤c≤10 및 0≤d≤5를 만족하고(다만, c, d가 동시에 0이 되어서는 아니 된다), 또한, M
1 은 금속 원소로써 Nb, Ti, Be 또는 Ag 이고, M
2 는 양쪽성 원소 또는 비금속원소로써 Sn 또는 Si인 것을 특징으로 한다.

公开(公告)号：KR1020050017671A

公开(公告)日：2005-02-23

申请号：KR1020030053449

申请日：2003-08-01

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 석현광 ,  홍경태 ,  이호인

IPC: B22F3/00

Abstract: PURPOSE: To provide a method capable of effectively fabricating a metallic wire for thermal spray coating or welding of high quality although a metallic material having low formability is used as a raw material. CONSTITUTION: A fabrication method of metallic wire for thermal spray coating or welding comprises a step of forming molten droplet having a size of 500 μm or less; a step of manufacturing the molten droplet into a laminated composite before the molten droplet is solidified; and a step of processing the laminated composite into a wire rod, wherein a method for forming the molten droplet is a gas atomization method using a gas having a high pressure of 3 to 30 atmospheric pressures, wherein the method for forming the molten droplet is a centrifugal atomization method for forming micro-droplets using centrifugal force of the rotary body as flowing molten metal over a rotary body, and wherein the step of processing the laminated composite into the wire rod is performed at a temperature of 150 to 500 deg.C during extrusion and at an ordinary temperature to 500 deg.C during rolling of fine wire.

Abstract translation: 目的：提供能够有效地制造用于热喷涂或高质量焊接的金属线的方法，尽管使用具有低成形性的金属材料作为原料。 构成：用于热喷涂或焊接的金属线的制造方法包括形成尺寸为500μm以下的熔融液滴的步骤; 在熔融液滴固化之前将熔融液滴制成层压复合体的步骤; 以及将层叠复合体加工成线材的步骤，其中形成熔融液滴的方法是使用3〜30个大气压的高压气体的气体雾化方法，其中形成熔融液滴的方法为 使用旋转体的离心力使流动的熔融金属在旋转体上形成微滴的离心雾化法，其中将层压复合体加工成线材的步骤在150〜500℃的温度下进行， 在细丝轧制过程中在常温至500℃。

公开(公告)号：KR100430065B1

公开(公告)日：2004-05-03

申请号：KR1020000069742

申请日：2000-11-22

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 이재철 ,  석현광 ,  한준현 ,  정영훈 ,  이호인

IPC: B22D11/12

CPC classification number: B22D11/1206 ,  B22D11/0605 ,  B22D11/0608 ,  B22D11/0622 ,  B22D11/0634 ,  B22D11/114 ,  B22D11/115

Abstract: 본 발명은 용탕으로부터 직접 박판으로 주조하여 공정을 단축시키고, 주조된 박판 소재를 두께 변화없이 또는 약간의 두께 변화를 수반하는 전단 변형에 의해 강도, 경도, 성형성이 우수하고 특정 방향성 집합조직을 갖는 고품질 소재로 제조하기 위한 박판 제조 장치를 제공하는 것으로, 용탕으로부터 직접 박판을 제조하는 박판 주조 장치와, 상기 박판 주조 장치에서 제조된 판재를 연속적으로 전단 변형시켜 판재를 제조하는 판재 연속 전단 변형 장치로 구성된 것을 특징으로 한다.

Abstract translation: 公开了一种用于制造金属板的设备。 该装置主要通过薄板铸造工艺将液态金属铸造成中间片，并且通过连续剪切应变过程二次拉伸中间片，由此形成具有高强度，高成形性和期望的高质量金属片的期望的高质量金属片 特定取向的纹理，而不改变中间片的厚度或稍微改变厚度。 因此该设备简化了制造钢板的过程。 该设备具有用于主要将液态金属铸造成中间片材的片材铸造装置和用于连续剪切从片材铸造装置剪切中间片材以形成期望的金属片材的连续剪切应变装置。 本发明的设备还具有中间装置，用于在将中间片材送入连续剪切应变装置之前，预先处理来自片材流延装置的中间片材。

公开(公告)号：KR100353415B1

公开(公告)日：2002-09-18

申请号：KR1020000004730

申请日：2000-01-31

Applicant: 주식회사 대유플러스 ,  한국과학기술연구원

Inventor： 신돈수 ,  김병조 ,  김봉길 ,  석현광 ,  이재철 ,  이호인

IPC: C22C1/02

Abstract: 본 발명은 자동차 추진축 재료로 사용할 수 있는 Al-Si계 합금의 제조방법에 관한 것으로, 본 발명에 따르면, Al- 13~40중량%Si 합금을 가열, 용융하여 용탕을 준비하는 단계, 상기 용탕을 700~1000℃로 유지한 후 불활성의 고압가스로 분무, 10
3 ~10
5 K/sec로 급속 응고시켜 성형체를 얻는 단계, 및 상기 분무 성형체를 400~550℃ 온도에서 압출하여 압출재를 얻는 단계를 포함하는 자동차 추진축용 Al-Si 합금의 제조방법이 제공된다.
이러한 본 발명에 따른 Al-Si계 합금은 지금까지 상용화되고 있는 금속기 복합재료등의 물리적 특성에 필적할만한 결과를 나타내어 향후 종래의 재료를 대체할 수 있는 새로운 합금조성으로 각광을 받을 수 있을 것이다.

公开(公告)号：KR100341828B1

公开(公告)日：2002-06-26

申请号：KR1020000024220

申请日：2000-05-06

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 석현광 ,  이재철 ,  박종우 ,  정영훈 ,  이호인

IPC: B23D15/00

Abstract: 본 발명은 전단변형장치에 관한 것으로서, 전단변형이 일어나는 금형로의 굴곡부에서 소재하부와의 틈이 발생하여 소재의 전단변형량이 불균일하고 불충분한 문제점을 해결하고 소재 표면의 요철이나 표면 생성물을 제거하는 추가적인 공정을 생략하여 생산성을 향상시킬 수 있도록 하기 위해, 소재가 전단변형되면서 굴곡부를 통과할 때 소재의 표면이 소정 두께로 박피되면서 소재의 나머지 부분들로부터 갈라져 나가도록 하는 박피 안내로가 상기 금형로에 연통되어 상기 굴곡부에 형성되는 것을 특징으로 하는 표면 박피가 가능한 전단변형장치가 제공된다. 또한, 상기한 구성에 더하여 굴곡부를 제외한 금형로 부분에서의 마찰을 감소시켜 작은 힘으로 효과적으로 전단변형을 행하기 위한 추가적인 구성들이 제공된다. 이러한 구성으로 되는 본 발명은 전단변형된 소재를 연속적이고 효과적으로 대량생산하는데 사용될 수 있다.

公开(公告)号：KR1020010068779A

公开(公告)日：2001-07-23

申请号：KR1020000000884

申请日：2000-01-10

Applicant: 한국과학기술연구원

Inventor： 석현광 ,  이재철 ,  김병조 ,  신돈수 ,  이호인

IPC: B22F3/115

CPC classification number: B22F5/106 ,  B22F3/115 ,  B22F5/10 ,  B22F2009/084 ,  B22F2998/00 ,  B22F2998/10 ,  B22F2999/00 ,  C23C4/12 ,  C23C4/123 ,  Y10T29/4998 ,  B22F9/082 ,  B22F3/17 ,  B22F3/20 ,  B22F2202/01

Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a tube type spray formed material is provided which reduces additional cost burden due to a separate apparatus and obtains various types of spray formed materials in the same manufacturing line by using an existing apparatus for manufacturing a spray formed material not using a separate apparatus. CONSTITUTION: The method for manufacturing a tube type spray formed material comprises the process of forming the tube type formed material by spraying liquid drop through a sprayer installed at the position that is separated as much as a distance in which the liquid drop is not sprayed on the center part of the rotation plate from the center part of a rotation plate, wherein the method further comprises a tube extruding process in which the tube type formed material is tube extruded, or a ring forging process in which the tube type formed material is ring forged as a following process, a plurality of sprayers each of which are installed at different positions are used as the sprayer, the rotation plate is moved in a direction of a rotation axis, and a vibration type sprayer is used as the sprayer.

Abstract translation: 目的：提供一种用于制造管式喷雾成形材料的方法，其由于单独的装置而降低额外的成本负担，并且通过使用用于制造不使用的喷射成形材料的现有装置获得在同一生产线中的各种类型的喷射成形材料 一个单独的装置。 构成：用于制造管式喷雾成形材料的方法包括通过喷射液滴形成管状成型材料的方法，喷雾器安装在分离在不喷洒液滴的距离的位置上的喷雾器上 旋转板的中心部分是旋转板的中心部分，其中所述方法还包括管挤出过程，其中管型成形材料是管挤出的，或者环形锻造工艺，其中管型成形材料是环 作为后续处理，将各安装在不同位置的多个喷雾器用作喷雾器，旋转板沿旋转轴线方向移动，振动型喷雾器用作喷雾器。