이원소성 화합물의 상분리 현상을 이용한 실리신 제조방법, 이에 의하여 제조된 실리신
    113.
    发明授权
    이원소성 화합물의 상분리 현상을 이용한 실리신 제조방법, 이에 의하여 제조된 실리신 有权
    通过相同方法制造的二元化合物和二氧化硅相分离制备硅的方法

    公开(公告)号:KR101685149B1

    公开(公告)日:2016-12-09

    申请号:KR1020150143603

    申请日:2015-10-14

    Abstract: 본발명의일실시예는실리콘(Si)과 X원소를포함하는이원소성화합물(SiX)을제공하는제1단계, 상기이원소성화합물(SiX)에에너지공급수단에의한용융에너지를공급하는제2단계, 상기용융에너지에의해상기이원소성화합물(SiX)이용융되는제3단계, 상기용융된이원소성화합물(SiX)이실리콘(Si)과 X원소(X)로분리되는제4단계, 상기분리된실리콘(Si)과 X원소(X)에에너지공급수단에의한제거에너지를공급하는제5단계및 상기제거에너지에의해상기용융된 X원소(X)가제거되는제6단계를포함하는이원소성화합물의상분리현상을이용한실리신제조방법및 그방법으로제조된실리신을제공한다.

    유연 전자 소자 제조방법 및 이에 의하여 제조된 유연 메모리 소자
    115.
    发明公开
    유연 전자 소자 제조방법 및 이에 의하여 제조된 유연 메모리 소자 审中-实审
    用于制造柔性电子器件的方法和由其制造的柔性存储器件

    公开(公告)号:KR1020160084511A

    公开(公告)日:2016-07-14

    申请号:KR1020140161559

    申请日:2014-11-19

    Inventor: 이건재 김승준

    CPC classification number: H01L21/20 H01L21/268 Y02E10/548

    Abstract: 유연(flexible) 메모리소자제조방법에있어서, 경질(rigid) 기판상에박리층, 버퍼산화층및 메모리소자를차례로적층하는단계; 상기경질기판의뒷면에레이저조사하여상기경질기판과상기박리층의접착력을약화시켜상기버퍼산화층과상기메모리소자를포함하는소자층을리프트오프(lift off)하는단계; 및상기리프트오프에의하여박리된소자층을유연기판상에전사하는단계를포함하는것을특징으로하는유연메모리소자제조방법이제공된다.

    Abstract translation: 本发明涉及柔性存储电子器件的制造方法,包括以下步骤:在刚性衬底上堆叠剥离层,缓冲氧化物层和存储器件; 通过在刚性基板的后表面中照射激光来降低包括存储器件的器件层,以削弱刚性衬底和剥离层的粘附; 以及在柔性基板上传送通过提起剥离的装置层。

    버퍼층을 이용한 나노제너레이터 분리 방법 및 이를 이용한 플렉서블 나노제너레이터 제조방법
    117.
    发明公开
    버퍼층을 이용한 나노제너레이터 분리 방법 및 이를 이용한 플렉서블 나노제너레이터 제조방법 有权
    分离纳米机的方法和使用其制造纳米机的方法

    公开(公告)号:KR1020150094945A

    公开(公告)日:2015-08-20

    申请号:KR1020140015885

    申请日:2014-02-12

    Abstract: 희생기판 상에 버퍼층을 적층하는 단계; 상기 버퍼층 상에 나노제너레이터를 제조하는 단계; 상기 나노제너레이터 상에 금속층을 적층하는 단계; 및 상기 버퍼층으로부터 상기 나노제너레이터를 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노제너레이터 분리방법이 제공된다.
    본 발명은 종래의 습식 식각 등의 공정을 통하여 희생기판으로부터 나노제너레이터를 분리하는 방식이 아닌, 희생기판과 상기 금속층 사이의 응력 차이를 이용하여 나노제너레이터를 분리한다. 특히 니켈과 같은 금속층에서의 인장 응력과, 하부 실리콘 기판 사이의 압축 응력 차이에 따라 버퍼층인 실리콘 산화물층으로부터 나노제너레이터가 그대로 분리된다. 따라서, 기계적인 방식으로 나노제너레이터를 희생기판으로부터 분리할 수 있으므로, 식각액을 이용한 화학적 분리 방식에 비하여 보다 안전하고, 경제적이다. 더 나아가, 식각액으로 인한 나노제너레이터의 손상을 미리 피할 수 있다는 장점이 있다.

    Abstract translation: 本发明提供一种分离纳米发生器的方法。 该方法包括以下步骤:在牺牲衬底上层叠缓冲层; 在缓冲层上制造纳米发生器; 在纳米发生器上层压金属层; 并将纳米发生器与缓冲层分离。 通过使用牺牲衬底和金属层之间的应力差来分离纳米发生器,这与通过诸如湿式蚀刻的处理从牺牲衬底分离非发生器的现有方法不同。 特别地,通过镍等金属层的拉伸强度和下硅基板的压缩应力之间的差异,将纳米发生器从作为缓冲层的氧化硅层分离而不损坏。 因此,与使用蚀刻溶液的化学分离方式相比,纳米发生器可以以机械方式与牺牲衬底分离,这是更安全和更经济的。 此外,可以防止由蚀刻溶液引起的纳米发生器的损伤。

    패키징 기술을 이용한 플렉서블 소자
    118.
    发明公开
    패키징 기술을 이용한 플렉서블 소자 无效
    灵活的装置采用包装技术

    公开(公告)号:KR1020150031406A

    公开(公告)日:2015-03-24

    申请号:KR1020140155884

    申请日:2014-11-11

    CPC classification number: H01L24/83 H01L2224/83851

    Abstract: 본 발명은 플렉서블 기판; 상기 플렉서블 기판 상에 구비되는 복수 개의 전극라인; 상기 전극라인과 접촉하며, 상기 플렉서블 기판 상에 적층된 이방성 전도성 필름; 상기 이방성 전도성 필름 상에 구비된 복수 개의 범프; 및 상기 복수 개의 범프와 접촉하는 전자 소자가 일면에 구비된 회로 기판;을 포함하며, 상기 이방성 전도성 필름과 상기 회로 기판은 회로 패키징을 위하여 사용되는 전도성 부재인 상기 범프 및 전극라인에 의해 연결되고, 상기 전극라인은 상기 이방성 도전 필름과 접촉한 후, 상기 이방성 도전 필름의 외측으로 연장된 형태인 것을 특징으로 하는 플렉서블 소자를 제공한다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种使用包装技术的柔性装置。 提供了一种柔性装置,包括:柔性基板; 设置在所述柔性基板上的多个电极线; 各向异性导电膜层叠在柔性基板上并与电极线接触; 设置在各向异性导电膜上的多个凸块; 以及具有设置在其一侧并与凸块接触的电子装置的电路板。 各向异性导电膜和电路板连接到作为用于电路封装的导电构件的凸块,并且电极线和电极线与各向异性导电膜接触,然后延伸到各向异性导电膜外部。

    플렉서블 소자 패키징 방법 및 이에 의하여 제조된 플렉서블 소자
    119.
    发明授权
    플렉서블 소자 패키징 방법 및 이에 의하여 제조된 플렉서블 소자 有权
    用于包装柔性装置和由其制造的柔性装置的方法

    公开(公告)号:KR101492335B1

    公开(公告)日:2015-02-12

    申请号:KR1020130110231

    申请日:2013-09-13

    Abstract: 플렉서블 기판; 상기 플렉서블 기판 상에 구비되며, 하기 이방성 전도성 필름과 접촉한 후, 상기 플렉서블 기판의 측면으로 연장된 복수 개의 전극라인; 상기 전극라인과 접촉하며, 상기 플렉서블 기판 상에 적층된 이방성 전도성 필름; 상기 이방성 전도성 필름 상에 구비된 복수 개의 범프; 및 상기 복수 개의 범프와 접촉하는 전자 소자가 일면에 구비된 회로 기판을 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 소자가 제공된다.

    Abstract translation: 提供一种柔性装置,其包括柔性基板,多个电极线,其形成在柔性基板上,并且在电极线与各向异性导电膜接触之后延伸到柔性基板的侧面,各向异性导电膜 其与电极线接触并且堆叠在柔性基板上,形成在各向异性导电膜上的多个凸块和包括与其一侧的凸块接触的电子器件的电路板。

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