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公开(公告)号：KR100849391B1
公开(公告)日：2008-07-31
申请号：KR1020050063670
申请日：2005-07-14
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본 발명은 읽기/쓰기가 가능한 원자력 현미경 캔틸레버에 관한 것으로, 보다 자세하게는 원자력 현미경 캔틸레버에 MOSFET를 내장시켜 정보의 읽기/쓰기가 가능한 원자력 현미경 캔틸레버를 제조하기 위한 것이다.
본 발명의 읽기/쓰기가 가능한 원자력 현미경 캔틸레버는 금속층, 제1 실리콘층, 산화막 및 제2 실리콘층이 순차적으로 적층된 캔틸레버 지지부; 상기 캔틸레버 지지부의 제2 실리콘층만이 연장되어 형성된 캔틸레버 아암부; 상기 캔틸레버 아암부의 제2 실리콘층에 형성된 탐침; 상기 탐침의 하부에 형성된 채널; 상기 탐침의 중심부로부터 소정 거리만큼 이격된 양 측면에 형성된 소스/드레인; 및 상기 소스/드레인 사이에 형성된 게이트로 구성됨에 기술적 특징이 있다.
캔틸레버, 탐침, 읽기/쓰기, MOSFET-
公开(公告)号：KR1020070004158A
公开(公告)日：2007-01-09
申请号：KR1020050059519
申请日：2005-07-04
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G11B7/2433 , G11B7/004
Abstract: A recording medium of a probe type information storing apparatus, a recording method, a reproducing method, and an erasing method are provided to significantly raise the recording density by additively forming a metal-insulator phase change thin film on a phase change thin film. A lower electrode(110) is positioned on a silicon substrate(100). A phase change thin film(120) is positioned on the lower electrode(110), wherein the phase change thin film(120) has a crystalline state. A metal-insulator phase change thin film(130) is positioned on the phase change thin film(120). The lower electrode(110) is formed of any one of Pt, Au, and an amorphous carbon thin film.
Abstract translation: 提供探针型信息存储装置，记录方法，再现方法和擦除方法的记录介质，通过在相变薄膜上相加形成金属 - 绝缘体相变薄膜来显着提高记录密度。 下电极（110）位于硅衬底（100）上。 相变薄膜（120）位于下电极（110）上，其中相变薄膜（120）具有结晶状态。 金属 - 绝缘体相变薄膜（130）位于相变薄膜（120）上。 下电极（110）由Pt，Au和非晶碳薄膜中的任一种形成。
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公开(公告)号：KR100617471B1
公开(公告)日：2006-08-29
申请号：KR1020040059291
申请日：2004-07-28
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본 발명은 고종횡비 탐침을 가지는 압전 액츄에이터 캔틸레버 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 보다 자세하게는 상부면이 평평한 직육면체 형상의 탐침 지지부, 전자빔 유도 증착에 의한 탐침 중간부 및 전자빔 융착에 의한 탄소나노튜브 탐침 첨두부로 구성되는 고종횡비 탐침을 가지는 압전 액츄에이터 캔틸레버 및 그 제조방법에 관한 것이다.
본 발명의 상기 목적은 직육면체 형상의 탐침 지지부를 가지는 실리콘 질화막 캔틸레버를 형성하는 단계, 상기 캔틸레버의 로드부에 2축 구동 압전 액츄에이터를 형성하는 단계, 상기 탐침 지지부에 전자빔 유도 증착법을 통해 탐침 중간부를 형성하는 단계 및 상기 탐침 중간부에 탄소나노튜브를 부착하여 탐침 첨두부를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 고종횡비 탐침을 가지는 압전 액츄에이터 캔틸레버 제조방법에 의해 달성된다.
따라서, 본 발명의 고종횡비 탐침을 가지는 압전 액츄에이터 캔틸레버 및 그 제조방법은 상부면이 평평한 직육면체 형상의 탐침 지지부를 형성함으로써 전자빔유도 증착에 의한 탐침 중간부 형성의 재현성을 높이고 전자빔융착에 의한 탄소나노튜브 부착과 그 각도 조절이 용이할 뿐만 아니라 2축 구동 압전 액츄에이터에 의해 측정시의 왜곡을 감소시킴으로서 보다 정밀하고 신뢰성 있는 측정을 가능하게 하는 효과가 있다.
고종횡비, 캔틸레버, 탐침, 2축 구동 압전 액츄에이터, 탄소나노튜브-
公开(公告)号：KR1020060011234A
公开(公告)日：2006-02-03
申请号：KR1020040059941
申请日：2004-07-29
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G11B9/14
Abstract: 본 발명은 탐침형 정보저장장치에 관한 것으로, 보다 자세하게는 외부 진동에 대한 영향을 최소화할 수 있는 휴대용 정보저장장치에 관한 것이다.
본 발명의 탐침형 정보저장장치는 탐침 어레이, 신호처리부, 매체 및 구동기로 이루어진 탐침형 정보저장장치에 있어서, 상기 탐침 어레이와 신호처리부를 외부 케이스에 연결하기 위한 탐침부 스프링 및 상기 매체와 구동기를 외부 케이스에 연결하기 위한 구동부 스프링으로 이루어짐에 기술적 특징이 있다.
따라서, 본 발명의 탐침형 정보저장장치는 탐침부와 매체부 주위에 스프링을 부가함으로써, 외부 진동에 대한 영향을 최소화할 수 있어 휴대용 정보저장장치로의 사용이 가능하고, 종래의 질량 보상 방법에 비해 기록 면적을 높일 수 있는 장점이 있으며, 탐침부와 매체부 사이의 진동이 줄어들기 때문에 신호대 잡음비가 높아져 고속화 또는 대용량화가 가능한 효과가 있다.
탐침, 스프링, 저장, 매체, 구동-
公开(公告)号：KR100548162B1
公开(公告)日：2006-02-02
申请号：KR1020030098113
申请日：2003-12-27
IPC: H04R19/04
Abstract: 본 발명은 정전용량형 마이크로폰 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 음향 감지 소자와 인쇄회로기판을 플립칩 본딩하고, 상기 음향 감지 소자의 진동판이 케이스의 관통홀에 대향되도록, 플립칩 본딩된 음향 감지 소자와 인쇄회로기판을 케이스에 삽입 및 고정시켜 정전용량형 마이크로폰을 제조한다.
따라서, 본 발명은 마이크로폰의 면적을 줄여 소형시킬 수 있으며, 얇은 간극이 있는 상부 및 하부 전극이 외부로 노출되지 않으므로 먼지 등의 불순물이 침투되지 않아 소자 불량을 줄일 수 있는 효과가 있다.
또한, 캡을 접착시킨 후에 상부 및 하부 전극이 대기에 노출되지 않으므로, 청정도가 낮은 작업장에서도 제조 공정을 수행할 수 있으므로 제조 비용을 낮출 수 있는 효과가 있다.
음향, 플립칩, 케이스, 마이크로폰, 정전용량-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100515734B1
公开(公告)日：2005-09-21
申请号：KR1020030057695
申请日：2003-08-20
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N13/16
Abstract: 본 발명은 전계 효과 트랜지스터가 내장된 원자력 현미경용 캔틸레버의 채널 형성 방법에 관한 것으로, 지지부에서 연장되어 부상된 캔틸레버의 선단에 형성된 탐침과, 상기 캔틸레버의 탐침 하부영역에 형성된 채널과, 채널에 접하여 형성된 소스 및 드레인을 구비한 전계 효과 트랜지스터가 내장된 원자력 현미경용 캔틸레버의 채널 형성 방법에 있어서, 상기 채널은, 상기 채널을 형성할 제 1 전도성 불순물이 도핑된 실리콘층 상부에 상호 이종물질로 이루어진 적어도 둘 이상의 절연막들을 적층하고, 이 적층된 절연막들의 상부에 폴리실리콘층을 형성한 다음, 상기 폴리실리콘층을 제외하고 순차적으로 절연막들의 측면을 식각하여, 상기 실리콘층 상면에 접한 절연막 폭을 줄이는 단계와; 상기 실리콘층 상면에 접한 절연막과 상기 실리콘층에 제 2 전도성 불순물을 주입하고, 상기 실리콘층 상면에 접한 절연막을 제거하여 상기 절연막 하부의 실리콘층에 채널을 형성하는 단계를 수행하여 형성하는 것을 특징으로 한다.
따라서, 본 발명은 전계 효과 트랜지스트를 내장한 원자력 현미경용 캔틸레버의 채널폭을 100㎚ 이하로 줄일 수 있어, 테라 비트급 탐침형 정보 저장기기에 적용할 수 있는 효과를 갖는다.-
公开(公告)号：KR100513424B1
公开(公告)日：2005-09-09
申请号：KR1020020074492
申请日：2002-11-27
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H04R19/04
Abstract: 본 발명은 음향 감지 소자의 제조방법에 관한 것으로, 다층 기판에 음향 감지 소자의 하부전극을 형성하고; 전면을 감싸며 제 1 포토레지스트층을 형성하고 식각하여 상기 하부전극과 이격된 부분에 복수개의 요홈들을 형성하고; 상기 제 1 포토레지스트층과 복수개의 요홈들을 감싸며 금속으로 이루어진 종자층(Seed layer)을 형성하고, 상기 종자층 상부에 제 2 포토레지스트층을 형성하고; 상기 제 2 포토레지스트층의 일부를 제거하여 음향 감지 소자의 지지부를 형성하기 위한 상기 복수개의 요홈 영역을 형성하고, 상기 복수개의 요홈들과 이격된 상기 하부전극 상측에 음향 감지 소자의 공기유입구들을 형성하기 위한 복수개의 작은 요홈들을 형성하고; 상기 복수개의 요홈과 복수개의 작은 요홈들에 금속층을 증착하고; 상기 다층 기판의 하부를 제거하여 상기 하부전극의 하측에 멤브레인(Membrane)을 형성하고; 상기 제 1과 2 포토레지스트층과 종자층 일부를 제거하여 복수개의 공기유입구를 갖으며, 복수개의 지지부에 지지되어 부상되는 상부전극을 형성하여 제조함으로써, 금속층으로 두께가 얇은 상부전극을 형성할 수 있어 제조 비용을 줄일 수 있으며, MEMS(Micro Electro Mechanical System)공정기술로 제조하여 초소형 소자를 구현할 수 있다.
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公开(公告)号：KR100506591B1
公开(公告)日：2005-08-08
申请号：KR1020020074494
申请日：2002-11-27
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H04R31/00
Abstract: 본 발명은 일렉트릿 마이크로폰의 제조방법에 관한 것으로, 다층 기판에 마이크로폰의 하부전극과 일렉트릿 물질막을 형성하고; 전면을 감싸며 제 1 포토레지스트층을 형성하고 식각하여 복수개의 요홈을 형성하고; 상기 제 1 포토레지스트층과 복수개의 요홈들을 감싸며 금속으로 이루어진 종자층(Seed layer)을 형성하고, 상기 종자층 상부에 제 2 포토레지스트층을 형성하고; 상기 제 2 포토레지스트층의 일부를 제거하여 마이크로폰의 지지부를 형성하기 위한 상기 복수개의 요홈 영역을 형성하고, 상기 복수개의 요홈들과 이격된 상기 하부전극 상측에 마이크로폰의 공기유입구들을 형성하기 위한 복수개의 작은 요홈들을 형성하고; 상기 복수개의 요홈과 복수개의 작은 요홈들에 금속층을 증착하고; 상기 다층 기판의 하부를 제거하여 상기 하부전극의 하측에 멤브레인(Membrane)을 형성하고; 상기 제 1과 2 포토레지스트층을 제거하여 복수개의 공기유입구를 갖으며, 복수개의 지지부에 지지되어 부상되는 상부전극을 형성하고, 상기 일렉트릿 물질막에 전하를 주입시켜 소자를 제조함으로서, 일렉트릿 마이크로폰의 구성요소들을 하나의 기판에 제조하게 되어, 제조공정이 단순하고 제조경비도 줄일 수 있는 효과가 발생한다.
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公开(公告)号：KR1020050067668A
公开(公告)日：2005-07-05
申请号：KR1020030098668
申请日：2003-12-29
IPC: H04R23/00
Abstract: 광섬유의 정렬작업 등을 하지 않고, 반도체 제조공정 등으로 간단히 제조할 수 있고, 소형화가 가능하며, 배치공정에 의해 간단히 제조하여 생산비를 절감할 수 있다.
하부기판과, 상기 하부기판에 상호간에 소정의 간격을 두고 형성되는 광원 및 수광부와, 상기 하부기판의 광원과 수광부의 사이에 형성되고 하부가 외부로 노출되어 음파에 의해 진동되는 진동판과, 상기 하부기판의 상부에 부착되고, 상기 광원에서 발생된 광이 상기 진동판에서 반사되어 상기 수광부로 입사되게 하기 위한 반사각을 가지는 반사부가 형성된 상부기판으로 이루어지고, 상기 하부기판에, 상기 수광부가 출력하는 전기적인 신호를 처리하는 신호 처리부가 더 포함되거나, 상기 상부기판에, 상기 수광부가 출력하는 전기적인 신호를 처리하는 신호 처리부가 더 포함되고, 수광부와 신호 처리부가 와이어 본딩으로 연결된다.-
公开(公告)号：KR1020050067667A
公开(公告)日：2005-07-05
申请号：KR1020030098667
申请日：2003-12-29
Abstract: 웨이퍼 레벨의 본딩을 이용하여 마이크로 소자의 미세 구조물을 패키징을 하는 것으로 하부 기판에 형성되는 단자의 위치와 상부기판에 형성되는 하우징 어레이의 형상을 개선하여 마이크로 소자 칩의 수를 증가시킨다.
상부가 밀폐되고, 내부가 중공이며, 하부가 개방된 복수의 하우징이 형성되고, 복수의 하우징들이 만나는 꼭지점 부위에 구멍이 형성된 하우징 어레이와, 상기 하우징에 대향되는 위치에 마이크로 소자의 미세 구조물이 각기 형성되고, 상기 구멍에 대향되는 위치에는 단자가 형성되어 상기 하우징 어레이가 부착될 때 상기 미세 구조물이 밀폐되는 반도체 기판으로 이루어지고, 하우징 어레이의 하우징은, 종방향 및 횡방향으로 연속적으로 형성되고, 상기 하우징 어레이는, 팔각기둥 형상으로 하우징이 형성되어 하우징들이 만나는 꼭지점 부위에 사각기둥 형상으로 구멍이 형성되며, 상기 구멍은, 원기둥 또는 다각기둥으로 형성되고, 또는 상기 구멍은 비등방성 습식 식각을 이용하여 경사지게 형성된다.
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