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公开(公告)号：KR101670773B1
公开(公告)日：2016-11-01
申请号：KR1020140167083
申请日：2014-11-27
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본실시예에따른열전박막의제백계수측정장치는내부공간부에진공도를유지할수 있도록구성되는챔버; 상기챔버에설치되어상기내부공간부의공기를배출하여, 상기챔버내부공간부의진공도를조절하는터보펌프; 상기내부공간부에설치되며, 복수의구조물들의측벽을지지하여위치고정하는지그모듈; 상기지그모듈에의해위치고정되며, 상기내부공간부의바닥면에배치되는히터유닛; 상기히터유닛상측에배치되어상기히터유닛의열을외부로방출하는냉각유닛; 상기히터유닛과냉각유닛사이에개재되는적어도한 쌍의절연유닛; 및상기한 쌍의절연유닛사이에개재되는한 쌍의센싱유닛;을포함하며, 피측정대상인샘플은상기한 쌍의센싱유닛사이에개재될수 있다.
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122.发明授权공기와 표면플라즈마 공명기 사이의 임피던스를 정합시키기 위하여 메타물질에 기반한 무반사코팅을 이용한 적외선 광검출기 有权红外光电检测器使用基于抗反射涂层的元件来匹配空气和SP谐振器之间的阻抗
公开(公告)号：KR101624489B1
公开(公告)日：2016-05-26
申请号：KR1020150084502
申请日：2015-06-15
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01L31/103
CPC classification number: H01L31/02161 , H01L31/02162 , H01L31/02327 , H01L31/035218 , H01L31/035236 , H01L31/09 , H01L31/184 , Y02E10/544
Abstract: 본발명은적외선광검출기및 그제조방법을제공한다. 이적외선광검출기는하부컨택층; 상기하부컨택층상에적층된광 흡수층; 상기광 흡수층상에적층된상부컨택층; 표면플라즈몬공명을유발하고상기상부컨택층상에적층되어복수의구멍을포함하는금속층; 및표면플라즈몬공명주파수에서외부에서입사하는광에대하여무반사조건을충족시키도록상기금속층상에적층된유전체층을포함한다. 상기유전체층은벤조사이틀로부테인(Benzocyclobutene; BCB)이다.
Abstract translation: 本发明提供一种红外光电检测器及其制造方法。 红外光电检测器包括：下接触层; 层叠在下接触层上的光吸收层; 层叠在所述光吸收层上的上接触层; 导致表面等离子体共振的金属层堆叠在上接触层上，并且包括多个孔; 以及层叠在金属层上的电介质层，以满足表面等离子共振频率中从外部透射的光的抗反射条件。 介电层是苯并环丁烯（BCB）。
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公开(公告)号：KR101482856B1
公开(公告)日：2015-01-15
申请号：KR1020130069770
申请日：2013-06-18
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: C23C16/44 , H01L21/205
Abstract: 본 발명에 의한 화학증착소재 실시간 진단장치는 적외선 조사장치; 서로 마주보지 않도록 배치되는 입구와 출구 및 상기 적외선 조사장치에서 조사되는 적외선의 이동 경로상에 서로 마주보게 배치되는 제 1 및 제 2 윈도우를 가지는 진단장치 몸체; 상기 입구를 통해 유입되는 증착 가스를 가열하는 핫 일렉트론 발생기; 상기 진단장치 몸체에 회전 가능하게 배치되는 흡착유닛; 및 상기 적외선 조사장치에서 조사된 적외선을 수광하여 상기 증착 가스의 상태를 판단하는 적외선 감지유닛;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
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公开(公告)号：KR1020140146883A
公开(公告)日：2014-12-29
申请号：KR1020130069770
申请日：2013-06-18
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: C23C16/44 , H01L21/205
Abstract: A real-time diagnosis device for a chemical vapor deposition material according to the present invention comprises an infrared ray irradiation device; a diagnosis device body which has an inlet and an outlet arranged to not face each other, and first and second windows arranged on the moving path of infrared rays emitted from the infrared ray irradiation device to face each other; a hot electron generator which heats deposition gas flowing through the inlet; an adsorption unit which is arranged on the diagnosis device body to be rotated; and an infrared ray sensing unit which determines the state of the deposition gas by collecting the infrared rays emitted from the infrared ray irradiation device.
Abstract translation: 根据本发明的用于化学气相沉积材料的实时诊断装置包括红外线照射装置; 诊断装置主体，其具有不相对配置的入口和出口，以及布置在从红外线照射装置发射的红外线的移动路径上彼此面对的第一和第二窗口; 热电子发生器，其加热流过入口的沉积气体; 吸附单元，布置在诊断装置主体上以便旋转; 以及红外线感测单元，其通过收集从红外线照射装置发射的红外线来确定沉积气体的状态。
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公开(公告)号：KR101414130B1
公开(公告)日：2014-07-01
申请号：KR1020120011255
申请日：2012-02-03
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01L21/205 , H01L21/02
Abstract: 본 발명은 수용된 액상의 전구체가 기화되는 전구체 용기, 상기 전구체 용기로부터 기화된 전구체가 공급되는 샘플링 모듈, 및 상기 전구체 용기로부터 기화된 전구체가 유입되어, 내부에 안착된 웨이퍼에 화학 증착 공정이 수행되는 반응기를 포함하되, 상기 전구체 용기에서 기화된 전구체는 선택적으로 상기 샘플링 용기 또는 상기 반응기로 공급되는 전구체 샘플링 장치를 개시한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101401742B1
公开(公告)日：2014-07-01
申请号：KR1020130011027
申请日：2013-01-31
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: A particle complex characteristic measurement apparatus having a detachable particle focusing unit according to the present invention comprises: the particle focusing unit including an aerodynamic lens; a first chamber arranging a first connection part at one end to be connected to the particle focusing unit, controlling an internal pressure at medium-vacuum (1-10^-3 Torr), and forming a nozzle at the other end to accelerate particles flowing in via the particle focusing unit; a second chamber having one end connected to the nozzle of the first chamber, and installing an electron gun for charging the particles accelerated in the first chamber while controlling an internal pressure at high-vacuum (10^-3-10^-7 Torr); a third chamber having one end connected to the second chamber and installing an electrostatic deflection device for classifying only particles with a specific size among the particles charged to a saturation state by the electron gun and a second connection part having the same standard as the first connection part; one pump connected to the first and the second chamber via a drain flow path and discharging a gas out of the first and the second chamber; and a fourth chamber having one end vertically connected to the third chamber and installing a particle collection device in the inside, wherein the second connection part is arranged coaxially to the part collection device.
Abstract translation: 具有根据本发明的可拆卸颗粒聚焦单元的颗粒复合特征测量装置包括：颗粒聚焦单元，包括空气动力学透镜; 第一室，其一端设置第一连接部分以连接到颗粒聚焦单元，控制中等真空（1-10 ^ -3乇）的内部压力，并在另一端形成喷嘴以加速颗粒流动 通过粒子聚焦单元; 第二室，其一端连接到第一室的喷嘴，并且安装电子枪，用于对加速在第一室中的颗粒进行充电，同时控制高真空（10 -3 -3 -7 -7 Torr）的内部压力， ; 第三室，其一端连接到第二室，并且安装静电偏转装置，用于仅分离由电子枪充电到饱和状态的颗粒中的特定尺寸的颗粒;以及具有与第一连接相同标准的第二连接部 部分; 一个泵经由排水流路连接到第一和第二室，并将气体排出第一和第二室; 以及第四室，其一端垂直连接到所述第三室，并且在所述内部安装颗粒收集装置，其中所述第二连接部与所述部件收集装置同轴布置。
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公开(公告)号：KR101378301B1
公开(公告)日：2014-03-28
申请号：KR1020130011028
申请日：2013-01-31
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: A device for measuring particle complex characteristics having a module for measuring and correcting particle distribution of the present invention comprises: a particle focusing unit including an aerodynamic lens; a first chamber which has one end connecting with the particle focusing unit, controls internal pressure at medium vacuum (1 to 10-3 Torr), and has a nozzle formed at the other end so as to accelerate particles injected through the particle focusing unit; a second chamber having one end connected with the nozzle of the first chamber, and in which an electron gun is installed to control internal pressure at high vacuum (10-3 to 10-7 Torr) and charging the particles accelerated in the first chamber; a third chamber having one end connected with the second chamber, and in which an electrostatic deflecting device is installed to apply a particular voltage therein and select only particles having a particular size among those charged to be saturated in the electron gun; a pump connecting with the first and second chambers through an exhaust flow path and discharging air inside the first and second chambers to the outside; a fourth chamber having one end vertically connected with the third chamber, and which has a particle collecting device installed therein; and a particle sensing unit which is disposed to be capable of moving and tilting in a moving route of the charged particles between the particle collecting device and the electrostatic deflecting device or which is installed instead of the particle collecting device to be capable of moving and tilting on a virtual plane vertical to direction of movement of the charged particles, and which has a smaller diameter than the particle collecting device.
Abstract translation: 用于测量具有用于测量和校正颗粒分布的模块的颗粒复合特性的装置包括：包括空气动力学透镜的颗粒聚焦单元; 具有与粒子聚焦单元连接的一端的第一腔室控制中等真空（1〜10-3乇）的内部压力，并且在另一端形成有喷嘴，以加速通过粒子聚焦单元喷射的颗粒; 第二室，其一端与第一室的喷嘴连接，并且其中安装电子枪以控制高真空（10-3至10-7乇）的内部压力并对在第一室中加速的颗粒进行充电; 第三室，其一端与第二室连接，并且其中安装有静电偏转装置以在其中施加特定电压，并且仅选择在电子枪中被充电为饱和的颗粒中的特定尺寸的颗粒; 泵，其通过排气流路与第一和第二室连接，并将第一和第二室内的空气排出到外部; 第四室，其一端与第三室垂直连接，并且其中安装有颗粒收集装置; 以及粒子感测单元，其设置成能够在颗粒收集装置和静电偏转装置之间的带电粒子的移动路线中移动和倾斜，或者代替颗粒收集装置而安装以能够移动和倾斜 在与带电粒子的运动方向垂直的虚拟平面上，并且具有比颗粒收集装置更小的直径。
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公开(公告)号：KR101360891B1
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：KR1020120039524
申请日：2012-04-17
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01N15/02 , G01N15/14 , G01N23/225 , H01J37/26
Abstract: 본 발명에 의한 입자측정장치는, 전자생성 및 집속이 이루어지며, 내부를 진공으로 유지하는 메인 프레임; 상기 메인 프레임과 결합되는 제 1 챔버; 상기 제 1 챔버의 내부 공간에 설치되는 입자 포집유닛; 상기 제 1 챔버에 상기 입자 포집유닛을 바라보도록 설치되어, 상기 입자 포집유닛에 포집된 입자를 광학적으로 측정 가능한 제 1 검출유닛; 상기 제 1 챔버에 상기 입자 포집유닛을 바라보도록 설치되어, 상기 입자 포집유닛에 입자를 주입하는 제 2 검출유닛;을 포함하며, 상기 입자 포집유닛은, 상기 제 1 검출유닛의 스테이지 역할과, 상기 제 2 검출유닛으로부터 주입된 입자의 포집 역할을 동시에 수행하는 것을 특징으로 한다.
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公开(公告)号：KR101321749B1
公开(公告)日：2013-10-28
申请号：KR1020110146142
申请日：2011-12-29
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 적외선 감지 장치에 적용되는 적외선 영상 센서에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 적외선의 복사 세기뿐만 아니라, 적외선의 파장별 분포에 관한 정보를 감지할 수 있는 다중 파장 적외선 영상 센서 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
본 발명의 적외선 센서는 가시광을 감지하는 사람의 눈(망막, retina)을 모방한 적외선 망막에 관한 기본 착상을 가시화시킨 핵심기술로서, 종래에 단색 적외선 센서로는 관측이 어려웠던 물체의 절대 온도, 토양 및 대기 가스 분포, 특히 초기 유방암 및 피부암 조기 진단 등과 같은 다양한 분야에서 정밀 측정 및 진단에 응용이 가능한 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR1020130116986A
公开(公告)日：2013-10-25
申请号：KR1020120039524
申请日：2012-04-17
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01N15/02 , G01N15/14 , G01N23/225 , H01J37/26
Abstract: PURPOSE: A particle composite property measuring device is provided to enable the correction of the size distribution on a real time by correcting the size of particles grasped by observing images. CONSTITUTION: A particle composite property measuring device includes a main frame (10), a first chamber (30), a particle collection unit (50), a first detection unit (20), and a second detection unit (40). The main frame generates and collects electrons and maintains the vacuum state of the inside. The first chamber is joined to the main frame. The particle collection member is installed inside an internal space (31) of the first chamber. The first detection unit is installed on the first chamber to face the particle collection unit and optically measure the particles collected by the particle collection unit. The second detection unit is installed on the first chamber to face the particle collection unit and injects the particles into the particle collection unit. The particle collection unit performs a function of a stage for the first detection unit and collects the injected articles from the second detection unit.
Abstract translation: 目的：提供一种粒子复合特性测量装置，通过校正通过观察图像掌握的颗粒的尺寸，实时地校正尺寸分布。 构成：颗粒复合材料性质测量装置包括主框架（10），第一室（30），颗粒收集单元（50），第一检测单元（20）和第二检测单元（40）。 主框架产生和收集电子并保持内部的真空状态。 第一个室连接到主框架。 颗粒收集构件安装在第一室的内部空间（31）内。 第一检测单元安装在第一室上以面对颗粒收集单元并且光学地测量由颗粒收集单元收集的颗粒。 第二检测单元安装在第一室上以面对颗粒收集单元并将颗粒注入颗粒收集单元。 粒子收集单元对第一检测单元执行阶段的功能，并从第二检测单元收集注入的物品。
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