公开(公告)号：WO2016085915A1

公开(公告)日：2016-06-02

申请号：PCT/US2015/062298

申请日：2015-11-24

Applicant: CORNING INCORPORATED

Inventor： ANNAMALAI, Sezhian ,  DURAN, Carlos Alberto ,  HRDINA, Kenneth Edward ,  MOORE, Lisa Anne

IPC: C03C3/06 ,  C03C3/089 ,  C03C3/112 ,  C03C3/115 ,  C03C21/00 ,  C03C23/00 ,  C03B5/033

CPC classification number: C03C3/112 ,  C03B5/225 ,  C03B19/02 ,  C03B25/00 ,  C03B25/02 ,  C03B2201/10 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/14 ,  C03B2201/42 ,  C03C3/06 ,  C03C3/089 ,  C03C3/115 ,  C03C21/007 ,  C03C23/007 ,  C03C2201/10 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/14 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/30 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/10 ,  C03C2203/54 ,  G03F1/22

Abstract: A method of forming a doped silica-titania glass is provided. The method includes blending batch materials comprising silica, titania, and at least one dopant. The method also includes heating the batch materials to form a glass melt. The method further includes consolidating the glass melt to form a glass article, and annealing the glass article.

Abstract translation: 提供了形成掺杂二氧化硅 - 二氧化钛玻璃的方法。 该方法包括混合包含二氧化硅，二氧化钛和至少一种掺杂剂的批料。 该方法还包括加热批料以形成玻璃熔体。 该方法还包括固化玻璃熔体以形成玻璃制品，并对玻璃制品进行退火。

公开(公告)号：WO2015200191A1

公开(公告)日：2015-12-30

申请号：PCT/US2015/036930

申请日：2015-06-22

Applicant: CORNING INCORPORATED

Inventor： BOOKBINDER, Dana Craig ,  LI, Ming-Jun ,  MATTHEWS, Hazel Benton III ,  TANDON, Pushkar

IPC: C03C3/06 ,  C03B37/02 ,  C03C13/04 ,  G02B6/036

CPC classification number: G02B6/03627 ,  C03B37/02 ,  C03B37/027 ,  C03B37/02718 ,  C03B37/02727 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/20 ,  C03B2201/31 ,  C03B2203/223 ,  C03B2203/23 ,  C03B2203/24 ,  C03B2205/55 ,  C03B2205/56 ,  C03C3/06 ,  C03C13/045 ,  C03C13/046 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/31 ,  C03C2213/00 ,  G02B6/02014

Abstract: A single mode optical fiber having a core made from silica and less than or equal to about 6.5 weight% germania and having a maximum relative refractive index Δ 1ΜΑΧ . The optical fiber also has an inner cladding surrounding the core and having a minimum relative refractive index Δ 2ΜΙΝ · A difference between a softening point of the core and a softening point of the inner cladding is less than or equal to about 20 °C, and Δ 1ΜΑΧ > Δ 2ΜΑΧ . The single mode optical fiber may also have an outer cladding surrounding the inner cladding made from silica or SiON. The outer cladding has a maximum relative refractive index Δ 3ΜΑΧ , and Δ 3ΜΑΧ > Δ 2ΜΙΝ . A method for manufacturing an optical fiber includes providing a preform to a first furnace, the preform, drawing the optical fiber from the preform, and cooling the drawn optical fiber in a second furnace.

Abstract translation: 一种单模光纤，其具有由二氧化硅制成的核心，并且具有小于或等于约6.5重量％的锗酸盐并且具有最大的相对折射率Δ1MΑ。 光纤还具有围绕芯的内包层，并且具有最小的相对折射率Δ2M·N·N·内芯的软化点和内包层的软化点之间的差小于或等于约20℃，Δ1MΑ >Δ2ΜΑΧ。 单模光纤还可以具有包围由二氧化硅或SiON制成的内包层的外包层。 外包层具有最大相对折射率Δ3MΑ，Δ3MΑχ>Δ2M，N。 一种制造光纤的方法包括：将预成型件提供给第一炉，预型件，从预成型件拉制光纤，并在第二炉中冷却拉制的光纤。

公开(公告)号：WO2014128148A3

公开(公告)日：2014-11-27

申请号：PCT/EP2014053199

申请日：2014-02-19

Applicant: HERAEUS QUARZGLAS ,  SHINETSU QUARTZ PROD

Inventor： KUEHN BODO

IPC: C03C4/00 ,  C03B19/01 ,  C03B19/14 ,  C03B20/00 ,  C03B32/00 ,  C03C3/06 ,  G02B1/00 ,  G02B1/02

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B19/1453 ,  C03B32/00 ,  C03B32/02 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/21 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/24 ,  C03C4/04 ,  C03C2201/11 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/21 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/24 ,  C03C2203/54 ,  C03C2204/00 ,  G02B1/00 ,  G02B1/02 ,  Y02P40/57

Abstract: The invention relates to an optical component made of synthetic quartz glass for use in an ArF excimer laser lithography process with an applied wavelength of 193 nm, comprising a glass structure substantially free of oxygen defect sites, a hydrogen content ranging from 0.1 x 1016 molecules/cm3 to 1.0 x 1018 molecules/cm3, an SiH group content of less than 2 x 1017 molecules/cm3, and a hydroxyl group content ranging from 0.1 to 100 wt. ppm, said glass structure having a fictive temperature of less than 1070 °C. The aim of the invention is to allow a reliable prediction of the compacting behavior when using UV laser radiation with the applied wavelength on the basis of a measurement of the compacting behavior using a measured wavelength of 633 nm. This is achieved by an optical component design in which the component undergoes a laser-induced change in the refractive index in response to irradiation by means of a radiation with a wavelength of 193 nm using 5x109 pulses with a pulse width of 125 ns and a respective energy density of 500 µJ/cm2 at a pulse repetition frequency of 2000 Hz, said change totaling a first measured value M193nm when measured using the applied wavelength of 193 nm and totaling a second measured value M633nm when measured using a measured wavelength of 633 nm, wherein M193nm/M633nm

Abstract translation: 本发明涉及一种用于在ArF准分子激光光刻法使用具有193nm的波长使用的光合成的石英玻璃部件，用玻璃结构基本没有氧缺陷，在0.1×1016分子/立方厘米至1的范围内的氢含量 0×1018分子/厘米3，SiH基团的含量小于2×1017摩尔/厘米3，并且具有羟基的0.1重量和100ppm之间的范围内，其中所述玻璃结构的含量为少的假想温度 具有1070℃ 为了在633测量波长为使得能够与所使用的波长的紫外激光辐射使用时，压实行为的可靠预测从Kompaktierungsverhaltens的测量开始，该光学装置的结构，提出了，这是对照射的193纳米与5×10 9的波长的辐射 用的125毫微秒的脉冲宽度和各500μJ/ cm 2的能量密度和2000Hz的与折射率的激光诱导的变化的脉冲重复频率的脉冲进行反应，所述量在测量用的193nm的第一测量值M193nm和测量与633nm的测定波长使用波长 第二测量值M633nm的产率，其中：M193nm / M633nm <1.7。

公开(公告)号：WO2014178361A1

公开(公告)日：2014-11-06

申请号：PCT/JP2014/061819

申请日：2014-04-28

Applicant: 住友電気工業株式会社

Inventor： 田村　欣章 ,  春名　徹也 ,  平野　正晃

IPC: C03C13/04 ,  G02B6/00 ,  G02B6/036

CPC classification number: C03C15/00 ,  C03C3/06 ,  C03C13/045 ,  C03C2201/11 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/50 ,  C03C2203/40 ,  G02B6/03611

Abstract: 　低損失の光ファイバとなることができる光ファイバ母材を提供する。光ファイバ母材は、カリウム濃度が５０atomic ppm以上である直径ｄ１のカリウム含有領域を含み外直径ｄ２が４×ｄ１以上８×ｄ１以下であるコア部と、コア部を囲みコア部の屈折率より小さい屈折率を有するクラッド部と、を備える。

Abstract translation: 提供了可以形成为低损耗光纤的光纤预制件。 该光纤预制件具有芯部，其包含钾浓度为50原子ppm以上且具有d1的直径（d2）为4×d1〜8的含钾区域 ×D1; 以及围绕芯部的包层部，其折射率比芯部更小。

公开(公告)号：WO2010055696A1

公开(公告)日：2010-05-20

申请号：PCT/JP2009/006136

申请日：2009-11-16

Applicant: 株式会社フジクラ ,  中熊映乃 ,  市井健太郎 ,  谷川庄二

Inventor： 中熊映乃 ,  市井健太郎 ,  谷川庄二

IPC: H01S3/06 ,  G02B6/02 ,  G02B6/024 ,  G02B6/036

CPC classification number: H01S3/06716 ,  C03C3/06 ,  C03C13/045 ,  C03C2201/10 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/14 ,  C03C2201/28 ,  C03C2201/31 ,  C03C2201/3488 ,  C03C2201/36 ,  G02B6/024 ,  G02B6/036 ,  H01S3/06712 ,  H01S3/06729 ,  H01S3/094007 ,  H01S3/1618 ,  H01S3/1691 ,  H01S3/1693

Abstract: 　本発明のイッテルビウム添加光ファイバは、イッテルビウム、アルミニウム及びリンを含有し、かつゲルマニウムを含有しないコアと、このコアを囲むクラッドと、を備え、前記コア中の、前記イッテルビウムの酸化イッテルビウム換算濃度が０．０９～０．６８モル％であり、前記コア中の、前記リンの五酸化二リン換算濃度と前記酸化イッテルビウム換算濃度とのモル比が３～３０であり、前記コア中の、前記アルミニウムの酸化アルミニウム換算濃度と前記酸化イッテルビウム換算濃度とのモル比が３～３２であり、前記酸化アルミニウム換算濃度と前記五酸化二リン換算濃度とのモル比が１～２．５である。

Abstract translation: 公开了一种镱掺杂光纤，其包含芯和围绕芯的包层，其中芯包含镱，铝和磷并且不含锗。 核心中，以镱氧化物含量计，镱的含量为0.09〜0.68mol％，磷的含量（以五氧化二磷含量计）与镱的含量的摩尔比（以镱氧化物计） 含量）为3〜30，铝的含量（以氧化铝含量计）与镱的含量（以氧化镱的含量计）的摩尔比为3〜32，铝的含量的摩尔比 （以氧化铝含量计）与磷含量（以二氧化二磷含量计）为1〜2.5。

公开(公告)号：WO2009084717A1

公开(公告)日：2009-07-09

申请号：PCT/JP2008/073932

申请日：2008-12-25

Applicant: ASAHI GLASS CO., LTD. ,  KOIKE, Akio ,  IWAHASHI, Yasutomi ,  KIKUGAWA, Shinya

Inventor： KOIKE, Akio ,  IWAHASHI, Yasutomi ,  KIKUGAWA, Shinya

IPC: C03C3/06 ,  C03C4/00 ,  C03B19/14

CPC classification number: C03B19/1453 ,  C03B19/1461 ,  C03B32/00 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/42 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/40 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/40 ,  C03C2203/46 ,  C03C2203/54 ,  Y02P40/57

Abstract: The present invention is to provide a TiO 2 -SiO 2 glass having suitable thermal expansion properties as an optical member of an exposure tool for EUVL. The present invention relates to a TiO 2 -containing silica glass having a temperature, at which a coefficient of thermal expansion is 0 ppb/°C, falling within the range of 23 } 4 °C and a temperature width, in which a coefficient of thermal expansion is 0 } 5 ppb/°C, of 5 °C or more.

Abstract translation: 本发明提供具有合适的热膨胀性能的TiO 2 -SiO 2玻璃作为EUVL用曝光工具的光学部件。 本发明涉及热膨胀系数为0ppb /℃的温度为23±4℃的温度范围的含TiO 2的二氧化硅玻璃，其温度范围为 膨胀为0} 5 ppb /℃，为5℃以上。

公开(公告)号：WO2009040287A1

公开(公告)日：2009-04-02

申请号：PCT/EP2008/062410

申请日：2008-09-18

Applicant: HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG ,  INSTITUT FUER PHOTONISCHE TECHNOLOGIEN E.V. ,  LANGNER, Andreas ,  KAYSER, Thomas ,  SCHOETZ, Gerhard ,  SUCH, Mario ,  KIRCHHOF, Johannes ,  GRIMM, Stephan ,  REICHEL, Volker

Inventor： LANGNER, Andreas ,  KAYSER, Thomas ,  SCHOETZ, Gerhard ,  SUCH, Mario ,  KIRCHHOF, Johannes ,  GRIMM, Stephan ,  REICHEL, Volker

IPC: C03B19/06 ,  C03B19/12 ,  C03C3/06

CPC classification number: C03B37/01282 ,  C03B19/06 ,  C03B19/063 ,  C03B19/066 ,  C03B19/1065 ,  C03B19/1095 ,  C03B20/00 ,  C03B2201/10 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/30 ,  C03B2201/34 ,  C03B2201/36 ,  C03B2201/40 ,  C03B2201/54 ,  C03C1/026 ,  C03C3/06 ,  C03C4/0071 ,  C03C4/10 ,  C03C13/045 ,  C03C14/008 ,  C03C23/0075 ,  C03C25/106 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/36 ,  C03C2203/20 ,  C03C2203/34

Abstract: Es wird ein Verfahren angegeben, das die wirtschaftliche Herstellung von dotiertem Quarzglas ermöglicht, insbesondere von laseraktivem Quarzglas, das hinsichtlich der Homogenität der Dotierstoffverteilung verbessert ist, indem eine Suspension bereitgestellt wird, die SiO 2 -Teilchen sowie eine Ausgangsverbindung für mindestens einen Dotierstoff in einer wässrigen Flüssigkeit enthält, die Flüssigkeit unter Bildung eines dotierten Zwischenprodukts, das Teilchen des Dotierstoffs oder Teilchen einer Vorläufersubstanz des Dotierstoffs enthält, entfernt wird, und aus dem dotierten Zwischenprodukt durch Sintern das dotierte Quarzglas gebildet wird, wobei mindestens ein Teil der Teilchen des Dotierstoffs oder der Teilchen der Vorläufersubstanz desselben in der Suspension als Präzipitat einer pH-Wertgesteuerten Fällungsreaktion der Ausgangsverbindung erzeugt wird.

Abstract translation: 本发明提供这使得经济地生产掺杂的石英玻璃，特别是激光活性石英玻璃，这是在掺杂剂的均匀性的方面通过悬浮改进的，提供了一种方法，其SiO 2颗粒和在含水液体中至少一种掺杂剂的输出连接 含有液体含有以形成掺杂剂或掺杂剂的前体的颗粒的颗粒被除去，掺杂的石英玻璃从通过烧结掺杂中间产物，所形成的掺杂的中间体，其中至少所述掺杂剂的颗粒的一部分或所述颗粒 前体在悬浮液中作为起始化合物的pH受控沉淀反应的沉淀物产生。

公开(公告)号：WO2008155951A2

公开(公告)日：2008-12-24

申请号：PCT/JP2008058455

申请日：2008-04-25

Applicant: ASAHI GLASS CO LTD ,  TAMITSUJI CHIKAYA ,  WATANABE KUNIO ,  OKADA KANAME ,  KOBAYASHI DAISUKE

Inventor： TAMITSUJI CHIKAYA ,  WATANABE KUNIO ,  OKADA KANAME ,  KOBAYASHI DAISUKE

IPC: C03C15/00 ,  C03B20/00 ,  C03C3/06 ,  C03C21/00 ,  G02B1/11 ,  G02B3/00 ,  G02B5/18 ,  G02B5/30 ,  G03F1/60 ,  H01L21/027

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03C15/00 ,  C03C21/007 ,  C03C25/607 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/80 ,  Y10T428/24479 ,  Y10T428/249921 ,  Y10T428/24997

Abstract: The present invention is to provide a synthetic quartz glass body having a high light transmittance. The present invention provides a synthetic quartz glass body having pores in a surface part thereof.

Abstract translation: 本发明提供一种具有高透光率的合成石英玻璃体。 本发明提供一种在其表面部分具有孔的合成石英玻璃体。

公开(公告)号：WO2006071936A2

公开(公告)日：2006-07-06

申请号：PCT/US2005047257

申请日：2005-12-28

Applicant: CORNING INC ,  BOOKBINDER DANA C ,  FIACCO RICHARD M ,  HRDINA KENNETH E ,  TANDON PUSHKAR ,  BLEAKING DANIEL J ,  MAXON JOHN E ,  WILBERT KIMBERLY A

Inventor： BOOKBINDER DANA C ,  FIACCO RICHARD M ,  HRDINA KENNETH E ,  TANDON PUSHKAR ,  BLEAKING DANIEL J ,  MAXON JOHN E ,  WILBERT KIMBERLY A

IPC: C03C3/06 ,  C03B19/14 ,  C03C4/00

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/03 ,  C03B2201/04 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/21 ,  C03B2201/23 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/21 ,  C03C2201/23

Abstract: Disclosed are high purity synthetic silica glass material having a high OH concentration homogeneity in a plane perpendicular to the optical axis, and process of making the same. The glass has high refractive index homogeneity. The glass can have high internal transmission of at least 99.65%/cm at 193 nm. The process does not require a post-sintering homogenization step. The controlling factors for high compositional homogeneity, thus high refractive index homogeneity, include high initial local soot density uniformity in the soot preform and slow sintering, notably isothermal treatment during consolidation.

Abstract translation: 公开了在垂直于光轴的平面内具有高OH浓度均匀性的高纯度合成石英玻璃材料及其制造方法。 玻璃具有高折射率均匀性。 该玻璃在193nm下可以具有至少99.65％/ cm的高内部透射率。 该方法不需要烧结后均化步骤。 高成分均匀性因此高折射率均匀性的控制因素包括在烟灰预制棒中的初始局部烟灰密度均匀性和慢速烧结，特别是在固结期间的等温处理。

公开(公告)号：WO2004065315A1

公开(公告)日：2004-08-05

申请号：PCT/JP2004/000467

申请日：2004-01-21

Applicant: 株式会社ニコン ,  神保 宏樹 ,  藤原 誠志 ,  小峯 典男

Inventor： 神保 宏樹 ,  藤原 誠志 ,  小峯 典男

IPC: C03B20/00

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B19/1423 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/21 ,  C03B2207/36 ,  C03C4/0085 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/21 ,  C03C2201/23

Abstract: 　合成石英ガラス部材は、ＯＨ基濃度が１ｐｐｂ～１０ｐｐｍであり、Ｓｉに結合しているＦ濃度が０．５ｗｔ％～３．０ｗｔ％であり、水素分子濃度が１×１０ １６ 個／ｃｍ ３ ～５×１０ １７ 個／ｃｍ ３ である。高い紫外光透過率及び耐紫外線特性を有するとともに、緩和率が小さく、しかも面内分布に優れる。１９０ｎｍ以下の波長領域の紫外線に使用することが好適である。

Abstract translation: OH基浓度为1ppb〜10ppm的合成石英玻璃光学构件，与Si结合的F的浓度为0.5〜3.0重量％，氢分子浓度为1×10 16分子〜5× 10 17分子/ cm 3。 光学构件对于紫外线具有增强的透射率和改善的抗紫外线，并且还可以表现出降低的松弛率和在平面内的优异分布，因此可以适用于波长为190的紫外线 nm以下。