基于镀锡覆膜工艺的厚型气体电子倍增膜板的制作方法

    公开(公告)号:CN105555045A

    公开(公告)日:2016-05-04

    申请号:CN201510906825.4

    申请日:2015-12-09

    Abstract: 本发明公开了一种基于镀锡覆膜工艺的厚型气体电子倍增膜板的制作方法,其包括以下步骤:一、打定位孔;二、曝光、显影;三、酸性清洗;四、微蚀;五、酸泡;六、将电路板浸在镀锡液中,加电,利用电化学反应将电路板镀上纯锡;七、退膜;八、蚀刻极板;九、打矩阵排孔;十、用蚀刻液喷淋电路板,在电路板上蚀刻出rim绝缘环;十一、退锡;十二、清洗、吹干。本发明的有益之处在于:因为电镀锡层可以很好的保护表面铜箔,使蚀刻液仅能从小孔侧向进行腐蚀,所以不仅可以制作出更大的rim绝缘环,而且只要调整好蚀刻速度就可以很好的控制绝缘环大小;rim绝缘环整体均匀性更好,可以制作出更大面积的THGEM。

    电子部件内置模块
    150.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102577643B

    公开(公告)日:2015-11-25

    申请号:CN201080041102.8

    申请日:2010-09-16

    Inventor: 畑濑稔

    Abstract: 本发明提供一种能够增强密封树脂与基板的贴合强度并抑制产生焊瘤等与焊锡相关的缺陷的可能性的电子部件内置模块。本发明为具备基板(1)、形成于基板(1)的至少一面的布线图案(2)、与布线图案(2)电接合并与基板(1)相接合的至少一个以上的电子部件(3)、以及对接合了电子部件(3)的基板(1)的面进行覆盖的密封树脂(4)的电子部件内置模块。布线图案(2)具有与电子部件(3)或者通孔导体(13)电接合的多个焊盘电极(21a、21b)、和连接焊盘电极(21a、21b)间的布线电极(22),在除了焊盘电极(21a)和布线电极(22)的边界之外的布线电极(22)上按照跨越基板(1)与布线电极(22)的至少一个边界的方式形成绝缘树脂(25),使绝缘树脂(25)与密封树脂(4)的附着强度比绝缘树脂(25)与布线图案(2)的附着强度强。

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