OPTICAL METROLOGY OF LITHOGRAPHIC PROCESSES USING ASYMMETRIC SUB-RESOLUTION FEATURES TO ENHANCE MEASUREMENT
    161.
    发明申请
    OPTICAL METROLOGY OF LITHOGRAPHIC PROCESSES USING ASYMMETRIC SUB-RESOLUTION FEATURES TO ENHANCE MEASUREMENT 审中-公开
    用不对称子分辨率特征增强测量的光刻工艺光学计量

    公开(公告)号:WO2017102299A1

    公开(公告)日:2017-06-22

    申请号:PCT/EP2016/079063

    申请日:2016-11-29

    Abstract: Provided is a process of calibrating a model, the process including: obtaining training data including: scattered radiation information from a plurality of structures, individual portions of the scattered radiation information being associated with respective process conditions being characteristics of a patterning process of the individual structures; and calibrating, using one or more processors, a model with the training data by determining a first ratio relating a change in one of the process characteristics to a corresponding change in scattered radiation information.

    Abstract translation: 提供了校准模型的过程,所述过程包括:获得训练数据,所述训练数据包括:来自多个结构的散射辐射信息,散射辐射信息的各个部分与作为特征的各个过程条件相关联 各个结构的图案化过程; 以及使用一个或多个处理器通过确定将一个处理特性中的变化与散射辐射信息中的对应变化相关联的第一比率来校准具有训练数据的模型。

    MESSVORRICHTUNG UND MESSVERFAHREN ZUR DRIFTÜBERWACHUNG VON OPTISCHEN SYSTEMEN
    163.
    发明申请
    MESSVORRICHTUNG UND MESSVERFAHREN ZUR DRIFTÜBERWACHUNG VON OPTISCHEN SYSTEMEN 审中-公开
    测量装置和测量方法的光学系统监测漂移

    公开(公告)号:WO2016207186A1

    公开(公告)日:2016-12-29

    申请号:PCT/EP2016/064352

    申请日:2016-06-22

    Abstract: Vorrichtung und Verfahren zur Trübungsmessung eines partikelbeladenen Abgasstroms, insbesondere Opazimeter, umfassend eine sich entlang einer Messachse (2) erstreckende Messkammer (3), die zur Trübungsmessung von dem Abgasstrom gefüllt und durchströmt ist, einen außerhalb der Messkammer (3) angeordneten Strahlungsdetektor (4), eine außerhalb der Messkammer (3) angeordnete Strahlungsquelle (5), deren Messstrahlung entlang der Messachse (2) durch eine innere Messstrahlöffnung (7) in die Messkammer (3) eintritt, den Abgasstrom in der Messkammer (3) mindestens einmal durchsetzt, durch eine innere Messstrahlöffnung (7) wieder aus der Messkammer (3) austritt und durch den partikelbeladenen Abgasstrom abgeschwächt auf den Strahlungsdetektor (4) trifft, wobei beabstandet von der Messachse (2) ein Driftdetektor (23) vorgesehen ist, der insbesondere als Kalibrierstrahlungsdetektor ausgebildet ist.

    Abstract translation: 装置和方法,用于测量带粒废气流的混浊度,尤其是暗度计包括沿着测量轴(2)延伸的所述测量室(3),它是由在废气流填充至浊度测量和流过,配置在测量室(3)外部的一个,辐射检测器(4) ,设置在测量室的一个(3)外部辐射源(5),由内测量光束孔径(7)在所述测量室(3),在测量室中的废气流量(3)至少一次通过它沿测量轴(2)进入所述测量辐射, 内测量光束孔径(7)从所述测量室背面(3)出现,并且由含有微粒的废气流衰减到放射线检测器(4)为真,其中从所述测量轴的距离(2)一个漂移检测器(23)被提供,其被设计特别是作为Kalibrierstrahlungsdetektor ,

    METHODS AND SYSTEMS FOR BIOLOGICAL INSTRUMENT CALIBRATION
    165.
    发明申请
    METHODS AND SYSTEMS FOR BIOLOGICAL INSTRUMENT CALIBRATION 审中-公开
    生物仪器校准的方法和系统

    公开(公告)号:WO2016127124A2

    公开(公告)日:2016-08-11

    申请号:PCT/US2016/016882

    申请日:2016-02-05

    Abstract: In one exemplary embodiment, a method for calibrating an instrument is provided. The instrument includes an optical system capable of imaging florescence emission from a plurality of reaction sites. The method includes performing a region-of-interest (ROI) calibration to determine reaction site positions in an image. The method further includes performing a pure dye calibration to determine the contribution of a fluorescent dye used in each reaction site by comparing a raw spectrum of the fluorescent dye to a pure spectrum calibration data of the fluorescent dye. The method further includes performing an instrument normalization calibration to determine a filter normalization factor. The method includes performing an RNase P validation to validate the instrument is capable of distinguishing between two different quantities of sample.

    Abstract translation: 在一个示例性实施例中,提供了一种用于校准仪器的方法。 该仪器包括能够成像来自多个反应位点的荧光发射的光学系统。 该方法包括执行感兴趣区域(ROI)校准以确定图像中的反应位置位置。 该方法还包括进行纯染料校准,以通过将荧光染料的原始光谱与荧光染料的纯光谱校准数据进行比较来确定每个反应位点中使用的荧光染料的贡献。 该方法还包括执行仪器归一化校准以确定滤波器归一化因子。 该方法包括执行RNase P验证以验证仪器能够区分两种不同数量的样品。

    細胞計測機構及びそれを有する細胞培養装置並びに細胞計測方法
    166.
    发明申请
    細胞計測機構及びそれを有する細胞培養装置並びに細胞計測方法 审中-公开
    细胞机制,包含其的细胞培养装置和细胞方法

    公开(公告)号:WO2016063364A1

    公开(公告)日:2016-04-28

    申请号:PCT/JP2014/078033

    申请日:2014-10-22

    Abstract:  本発明は、作業者の熟練度に依ることなく、また、培養細胞を染色することなく、細胞生存率等の計測を高精度かつ迅速に実行し得る細胞計測機構及び細胞培養装置、並びに細胞計測方法を提供することにある。細胞計測機構16は、細胞懸濁液を通流させる流路と、流路内の細胞懸濁液を送液する液体駆動部7と、フローセル23内を通流する細胞懸濁液に光源22より照射光を照射し、得られる前方散乱光強度並びに透過率及び/又は側方散乱光強度に基づき、細胞懸濁液中の細胞生存率を求める演算部18を有する。生細胞濃度と前方散乱光強度との関係、死細胞濃度と前記透過率との関係、及び細胞生存率と前記側方散乱光強度との関係を示す各校正曲線を予め格納する校正曲線DB18dを備える。

    Abstract translation: 本发明提供了以不依赖于工人的技术水平并且不必染色的方式快速和高精度地测量细胞存活率等的细胞计算机制,细胞培养装置和细胞计数方法 培养细胞。 细胞计量机构16包括:细胞悬浮液通过其流动的流路; 用于发送流路中的细胞悬浮液的液体驱动单元7; 以及计算单元18,用于照射来自光源22的照射光,流过流动池23的细胞悬浮液,并且基于所得到的前向散射光强度和透射率来求出细胞悬浮液中的细胞存活率 和/或侧向散射光强度。 本发明提供了一种校准曲线数据库18d,其用于预先存储指示活细胞浓度与前向散射光强度之间的关系的校准曲线,死细胞浓度与透射率之间的关系以及细胞存活之间的关系 速率和侧散射光强度。

    DYNAMIC RECONSTRUCTION OF A CALIBRATION STATE OF AN ABSORPTION SPECTROMETER
    168.
    发明申请
    DYNAMIC RECONSTRUCTION OF A CALIBRATION STATE OF AN ABSORPTION SPECTROMETER 审中-公开
    吸收光谱仪校准状态的动态重建

    公开(公告)号:WO2015167961A1

    公开(公告)日:2015-11-05

    申请号:PCT/US2015/027574

    申请日:2015-04-24

    Abstract: A reference harmonic absorption curve of a laser absorption spectrometer can have a reference curve shape derived from a reference signal generated by the detector in response to light passing from the laser light source through a reference gas or gas mixture. The reference gas or gas mixture can include one or more of a target analyte and a background gas expected to be present during analysis of the target analyte. One or more portions of a test harmonic absorption curve having a test curve shape is compared with one or more portions of the reference harmonic absorption curve arising due to absorption of the background gases and not by absorption of the target analyte. Operating and/or analytical parameters of the laser absorption spectrometer are adjusted to correct the test curve shape to reduce the difference between the test curve shape and the reference curve shape.

    Abstract translation: 激光吸收光谱仪的参考谐波吸收曲线可以具有根据由检测器响应于从激光源通过参考气体或气体混合物的光而产生的参考信号导出的参考曲线形状。 参考气体或气体混合物可以包括目标分析物和预期在目标分析物的分析期间存在的背景气体中的一种或多种。 将具有测试曲线形状的测试谐波吸收曲线的一个或多个部分与由于背景气体的吸收而不是通过吸收目标分析物而产生的参考谐波吸收曲线的一个或多个部分进行比较。 调整激光吸收光谱仪的操作和/或分析参数以校正测试曲线形状,以减小测试曲线形状与参考曲线形状之间的差异。

    VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM ERMITTELN EINES KOHLENDIOXIDGEHALTES EINER UMGEBUNGSLUFT
    169.
    发明申请
    VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM ERMITTELN EINES KOHLENDIOXIDGEHALTES EINER UMGEBUNGSLUFT 审中-公开
    方法和设备,用来确定环境空气的二氧化碳含量

    公开(公告)号:WO2015135692A1

    公开(公告)日:2015-09-17

    申请号:PCT/EP2015/052056

    申请日:2015-02-02

    Inventor: KRAUSS, Andreas

    Abstract: Die Anmeldung offenbart ein Verfahren (200) zum Ermitteln eines Kohlendioxidgehaltes einer Umgebungsluft (130). Das Verfahren (200) umfasst einen Schritt des Bereitstellens (210) eines mobilen Datenübertragungsgerätes (110), das einen Sensor (120) zur Erfassung von Kohlendioxid in einer Umgebungsluft (130) aufweist, und einen Schritt des Kalibrierens (215) des Sensors (120), wobei der Schritt des Kalibrierens (215) als ein Messen eines Kohlendioxidgehaltes der Umgebungsluft (130) in einer Referenzsituation (300) erfolgt. Ferner umfasst das Verfahren (200) einen Schritt des Messens (220) eines Kohlendioxidgehalts der Umgebungsluft (130) unter Verwendung des Sensors (120).

    Abstract translation: 该申请公开用于检测环境空气(130)的二氧化碳含量的方法(200)。 的方法(200)包括提供的传感器(120步骤(210),具有用于在环境空气(130)捕获二氧化碳传感器(120)的移动通信设备(110),以及校准的(215)的工序 ),其中,校准的(215)的步骤如在参考的情况(300)一测量环境空气(130)的二氧化碳含量发生。 此外,该方法(200)包括测量(220)使用所述传感器(120)的环境空气(130)的二氧化碳含量的步骤。

Patent Agency Ranking