-
公开(公告)号：KR100586021B1
公开(公告)日：2006-06-08
申请号：KR1020040045619
申请日：2004-06-18
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본 발명은 마이크로 인장 시편 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 기판과; 상기 기판을 관통하여 형성되고, 상호 일정거리 이격되어 있는 제 1과 2 관통홀과;상기 제 1 관통홀과 2 관통홀들을 연결하는 직선상에 위치되고, 상기 제 1 및 2 관통홀과 이격되며, 상기 기판이 관통되어 형성된 제 3 관통홀과; 상기 제 1 관통홀에서 제 2 관통홀까지 연결되는 직선상에 위치되고, 상기 제 3 관통홀의 내측 일측벽에서 타측벽까지 연장되어 있으며, 하부로부터 부상되는 브릿지와; 상기 브릿지 상부에 일정간격 이격되어 형성되는 한 쌍의 마커(Marker)들로 구성된다.
따라서, 본 발명은 미세 소자에 적용되는 막의 인장시편을 제작함으로써, 소자를 제조하지 않고도 막의 기계적인 특성을 측정할 수 있는 효과가 있다.
인장, 시편, 마이크로, 마커, 잉크, 금속-
公开(公告)号：KR100519222B1
公开(公告)日：2005-10-07
申请号：KR1020030085619
申请日：2003-11-28
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L21/60
Abstract: 본 발명은 마이크로 타스칩이 실장된 패키지에 관한 것으로, 상부에서 하부까지 관통된 입구(Inlet)가 형성되어 있고, 상부면에 금속 패턴이 형성되어 있는 기판과; 상기 기판의 금속 패턴 상부에 적어도 2개 이상의 영역에 형성된 UBM(Under Bump Metallurgy)층과; 상기 UBM층의 상부에 본딩된 범프와; 상기 범프의 상부에 구동을 위한 전극패드가 본딩되어 고정된 마이크로 타스칩으로 구성된다.
따라서, 본 발명은 MEMS 공정을 수행하여 제조된 마이크로 타스칩을 와이어를 사용하지 않고, 범프를 이용하여 전기적으로 연결 및 고정시켜 패키지를 형성함으로써, 종래 기술과 대비하여 패키지의 사이즈를 줄일 수 있는 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR100493440B1
公开(公告)日：2005-06-07
申请号：KR1020020065054
申请日：2002-10-24
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G02B6/24
Abstract: 본 발명은 고밀도 광섬유 어레이 블록 및 제작방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 V-홈을 이용한 고밀도 광섬유 어레이 블록에서 유리 덮개와 V-홈 블록의 가운데 부분과 가장자리 부분을 샌드 블래스터 가공방법으로 일정 깊이로 홈을 형성시킴으로써 광섬유 정렬 공정의 안정성 및 고밀도 광섬유 어레이 블록의 내구성을 향상시키기 위한 것이다.
본 발명의 고밀도 광섬유 어레이 블록은 샌드 블래스터 가공방법을 사용하여 가운데 부분과 가장자리 부분을 일정 깊이로 판 유리 덮개; 가장자리 부분이 일정 깊이로 파여지고, KOH 습식식각 방법으로 판 V-홈을 구비한 V-홈 블록 및 상기 유리 덮개와 V-홈 사이에 접착제가 삽입되어 이루어짐에 기술적 특징이 있다.
따라서, 본 발명의 고밀도 광섬유 어레이 블록 및 제작방법은 고밀도 광섬유 어레이 블록에서 광섬유 어레이와 닿는 유리 덮개의 가운데 부분을 샌드 블래스터 가공방법으로 일정 깊이 만큼 가공하여 덮개와 V-홈 블록이 결합할 때 평행 상태에서 벗어나는 것을 최소화 함으로써 광섬유 어레이를 V-홈에 안정적으로 고정시킬 수 있으며, 또한 유리 덮개와 V-홈 블록 사이의 간격을 작게 함으로써 접합에 사용되는 접착제의 양을 줄일 수 있는 장점이 있다.
또한, 유리 덮개와 V-홈 블록의 가장자리 부분의 표면을 샌드 블래스터 가공하여 표면 거칠기를 보다 크게 함으로써 접착제가 단위 면적당 닿는 면적을 증가시켜 유리 덮개와 V-홈 블록 사이의 접착력을 크게하여 외부 충격 또는 진동에 내구성이 보다 큰 고밀도 광섬유 어레이 블록을 제작할 수 있다는 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR1020050051933A
公开(公告)日：2005-06-02
申请号：KR1020030085619
申请日：2003-11-28
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L21/60
Abstract: 본 발명은 마이크로 타스칩이 실장된 패키지에 관한 것으로, 상부에서 하부까지 관통된 입구(Inlet)가 형성되어 있고, 상부면에 금속 패턴이 형성되어 있는 기판과; 상기 기판의 금속 패턴 상부에 적어도 2개 이상의 영역에 형성된 UBM(Under Bump Metallurgy)층과; 상기 UBM층의 상부에 본딩된 범프와; 상기 범프의 상부에 구동을 위한 전극패드가 본딩되어 고정된 마이크로 타스칩으로 구성된다.
따라서, 본 발명은 MEMS 공정을 수행하여 제조된 마이크로 타스칩을 와이어를 사용하지 않고, 범프를 이용하여 전기적으로 연결 및 고정시켜 패키지를 형성함으로써, 종래 기술과 대비하여 패키지의 사이즈를 줄일 수 있는 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR100466639B1
公开(公告)日：2005-01-15
申请号：KR1020020022332
申请日：2002-04-23
Applicant: 전자부품연구원
IPC: B81B7/00
Abstract: PURPOSE: A thermal micro actuator and a method for fabricating the same are provided to amplify displacement of the thermal micro actuator by installing an arch bar at end portions of two arch bars. CONSTITUTION: A thermal micro actuator includes a substrate(50). A first electrode(51), a ground electrode(52) and a second electrode(53) are fixed to the substrate(50) in such a manner that they are parallel spaced by a predetermined distance. A first arch bar(54) extends from the first electrode(51) and the ground electrode(52). A second arch bar(55) extends from the second electrode(53) and the ground electrode(52). A third arch bar(56) extends from end portions of the first and second arch bars(54,55). A front section(58) extends from a center(57) of the third arch bar(56).
Abstract translation: 目的：提供一种热微致动器及其制造方法，以通过在两个拱杆的端部安装拱形杆来放大热微致动器的位移。 构成：热微型致动器包括衬底（50）。 第一电极（51），接地电极（52）和第二电极（53）以平行间隔预定距离的方式固定到基板（50）。 第一拱形条（54）从第一电极（51）和接地电极（52）延伸。 第二拱形条（55）从第二电极（53）和接地电极（52）延伸。 第三拱形杆（56）从第一拱形杆和第二拱形杆（54,55）的端部延伸。 前部（58）从第三拱杆（56）的中心（57）延伸。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020030083931A
公开(公告)日：2003-11-01
申请号：KR1020020022333
申请日：2002-04-23
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G02B26/00
Abstract: PURPOSE: An apparatus for measuring a rotation angle of a micro reflector is provided, which rotates the micro reflector of several micro meter at an initial location accurately and simply. CONSTITUTION: A light source(360) generates a light. A collimator lens(370) converts the light of the light source into a parallel light. A beam splitter(340) splits the light passing through the collimator lens into two. A micro reflector(310) reflects one light incident by being split by the beam splitter. An actuator(320) generates rotation displacement at the micro reflector. A 3-axis driving table(300) moves the micro reflector to X-axis, Y-axis and Z-axis. An object lens(330) is comprised between the beam splitter and the micro reflector, and makes one light split in the beam splitter be incident on the micro reflector and makes the reflected light pass through the beam splitter. And an optical sensor array(350) detects the light and converts it into an electrical signal.
Abstract translation: 目的：提供一种用于测量微反射器的旋转角度的装置，其在初始位置处精确且简单地旋转几微米的微反射器。 构成：光源（360）产生光。 准直透镜（370）将光源的光转换为平行光。 分束器（340）将通过准直透镜的光分成两部分。 微反射器（310）通过被分束器分离而反射入射的一个光。 致动器（320）在微反射器处产生旋转位移。 3轴驱动台（300）将微反射器移动到X轴，Y轴和Z轴。 物镜（330）包括在分束器和微反射器之间，并使分束器中的一个光分离器入射到微反射器上并使反射光通过分束器。 并且光学传感器阵列（350）检测光并将其转换成电信号。
-
公开(公告)号：KR1020030005559A
公开(公告)日：2003-01-23
申请号：KR1020010040905
申请日：2001-07-09
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G02B27/01
Abstract: PURPOSE: A portable micro display module is provided to improve image quality and magnification by using a front lighter method for all micro display elements. CONSTITUTION: A liquid crystal screen(23) reflects light of a light emitting diode(21) according to an image signal of an image processor. A lens(25) projects and focuses the light from the liquid crystal screen(23). A part of the lights from the lens(25) is permeated through a splitter(27) and the other part of lights from the lens(25) is reflected from the splitter(27). A reflecting mirror(29) is installed at a location to which the reflected light of the splitter(27) is incident. The reflecting mirror(29) has a predetermined curvature radius. The reflecting mirror(29) functions as a concave mirror for the light of the splitter(27). An image of the liquid crystal screen(23) is provided to a naked eye through the splitter(27).
Abstract translation: 目的：提供便携式微型显示模块，通过对所有微型显示元件使用前置打火机来提高图像质量和放大倍率。 构成：根据图像处理器的图像信号，液晶屏（23）反射发光二极管（21）的光。 透镜（25）将来自液晶屏（23）的光投射并聚焦。 来自透镜（25）的光的一部分透过分流器（27），来自透镜（25）的另一部分光从分离器（27）反射。 反射镜（29）安装在分离器（27）的反射光入射的位置。 反射镜（29）具有预定的曲率半径。 反射镜（29）用作分束器（27）的光的凹面镜。 通过分离器（27）将液晶屏（23）的图像提供给肉眼。
-
公开(公告)号：KR100321134B1
公开(公告)日：2002-03-18
申请号：KR1019990027428
申请日：1999-07-08
Applicant: 전자부품연구원
IPC: B29D11/00
Abstract: 본발명은 X-선사진식각(X-ray lithography)기술을이용한마이크로렌즈제조방법을개시한다. 본발명은기판위에 PMMA 또는감광막을일정두께로형성시키는단계와, X-선마스크와기판을정렬하는단계와, X-선마스크를이용해기판을노광하고현상액을이용하여노광된 PMMA 또는감광막을제거하여단계와, X-선마스크와기판의회전축을정렬하는단계와, X-선마스크는고정하고기판은회전하면서노광하여 X-선마스크의흡수체형상및 회전축의위치에따라기하학적형상으로노광하는단계와, 현상액을이용하여노광된 PMMA 또는감광막을제거하여기하학적형상으로현상하는단계로이루어져기존의기계가공방법이나 UV 사진식각공정으로제작하기어려운고정밀의마이크로렌즈를손쉽게제작할수 있으며, 사출성형용금형을제작할수 있어마이크로렌즈의대량생산에유리하다.
-
公开(公告)号：KR1020010060633A
公开(公告)日：2001-07-07
申请号：KR1019990063038
申请日：1999-12-27
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70091 , G03F7/162 , G03F7/3021 , G03F7/707 , G03F7/70775 , G03F9/7084
Abstract: PURPOSE: Provided are an exposure apparatus and a process for producing a three-dimensional structure by rotating an exposure sample by using the exposure apparatus. CONSTITUTION: The exposure apparatus comprises: a sample holder(10) rotated around a rotary shaft(31); a mask holder(20) on which an exposure mask is laid, which is laid on the sample holder(10); a rotating part(30) for rotating the sample holder(10). And the process for producing the three-dimensional structure comprises the steps of: putting the exposure sample on the sample holder(10) and lining the exposure sample and the rotary shaft(31) of the sample holder(10); putting the exposure mask on the mask holder(20) and lining the exposure mask and the exposure sample; rotating the sample holder(10) and applying X-rays to the exposure mask to expose the exposure sample; developing the exposure sample.
Abstract translation: 目的：提供通过使用曝光装置旋转曝光样品的曝光装置和制造三维结构的方法。 构成：曝光装置包括：围绕旋转轴（31）旋转的样品保持器（10）; 放置在样品架（10）上的掩模支架（20），放置有曝光掩模; 用于旋转样品架（10）的旋转部件（30）。 并且制造三维结构的方法包括以下步骤：将曝光样品放置在样品架（10）上并对曝光样品和样品架（10）的旋转轴（31）进行衬里; 将曝光掩模放在掩模支架（20）上，并对曝光掩模和曝光样品进行衬里; 旋转样品架（10）并向曝光掩模施加X射线以暴露曝光样品; 开发曝光样品。
-
公开(公告)号：KR1020010045525A
公开(公告)日：2001-06-05
申请号：KR1019990048845
申请日：1999-11-05
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a low temperature sintering piezoelectric composition is provided to improve a physical property of a piezoelectric material composed of a substituted piezoelectric composition and to decrease a sintering temperature. CONSTITUTION: Mass regarding a composition of either a substituted low temperature sintering PZT-based piezoelectric material or composite 3-component low temperature sintering PZT-based piezoelectric material, is measured. The low temperature sintering PZT-based piezoelectric compositions of which mass is measured, are mixed while calcined. Mass of BaO-CuO as a low temperature sintering agent is measured and mixed with the calcined low temperature sintering PZT-based piezoelectric composition. The low temperature piezoelectric composition is heated to a predetermined temperature and sintered. An electrode is formed on the sintered low temperature piezoelectric material, and an electric field is applied to perform a polarization process. Power is applied to the electrode to determine a physical property of the low temperature piezoelectric material.
Abstract translation: 目的：提供一种制造低温烧结压电组合物的方法，以改善由取代的压电组合物构成的压电材料的物理性能并降低烧结温度。 组成：测量取代的低温烧结PZT基压电材料或复合三组分低温烧结PZT基压电材料的组成的质量。 测量质量的低温烧结PZT基压电组合物在煅烧时混合。 测量作为低温烧结剂的BaO-CuO的质量，并与煅烧的低温烧结PZT基压电组合物混合。 将低温压电组合物加热到预定温度并烧结。 在烧结的低温压电材料上形成电极，施加电场以进行极化处理。 对电极施加功率以确定低温压电材料的物理性质。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
223
records
(took 0.025 seconds)
